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公开(公告)号：CN117178352A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202180093048.X
申请日：2021-12-24
申请人： 东和株式会社
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 本发明是减少加工装置的占据面积的装置，且包括：加工机构4，对密封完毕基板W进行加工；分类机构20，将经加工的密封完毕基板W分类至托盘21a～托盘21c；以及托盘移动机构24，使托盘21a～托盘21c移动，托盘移动机构24具有载置托盘21a～托盘21c的三个以上的托盘载置部241a～241c，且构成为三个以上的托盘载置部241a～241c配置成一列，并且能够沿着所述一列的方向相互独立地移动至基于分类机构20的分类位置X1。
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公开(公告)号：CN117678055A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202280047979.0
申请日：2022-03-22
申请人： 东和株式会社
IPC分类号： H01L21/301 , H01L21/683 , H01L21/68 , B24B49/12 , B24B41/06 , B24B27/00
摘要： 本发明不需要使加工台移动的移动机构，并且将经单片化的加工对象物收容于筒状容器，包括：加工台，保持加工对象物；第一保持机构，为了将所述加工对象物搬送至所述加工台而保持所述加工对象物；加工机构，将保持于所述加工台的所述加工对象物切断而单片化；移载台，移动通过所述加工机构而单片化的所述加工对象物；第二保持机构，为了将所述经单片化的所述加工对象物自所述加工台搬送至所述移载台而保持所述经单片化的所述加工对象物；搬送用移动机构，具有沿着所述加工台及所述移载台的排列方向延伸且用以使所述第一保持机构及所述第二保持机构移动的共用的传递轴；加工用移动机构，使所述加工机构在水平面上在沿着所述传递轴的第一方向及与所述第一方向正交的第二方向上分别移动；容器设置部，用来设置自一端开口部收容所述经单片化的所述加工对象物的筒状容器；以及搬送收容机构，将所述经单片化的所述加工对象物自所述移载台搬送至设置于所述容器设置部上的所述筒状容器来收容。
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公开(公告)号：CN116963871A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202180095325.0
申请日：2021-09-29
申请人： 东和株式会社
IPC分类号： B24B41/06
摘要： 本发明自动更换用以保持加工对象物的保持用板，包括：加工机构4，对密封完毕基板W进行加工；板收容部24，收容用以保持密封完毕基板W的保持用板M1；保持基部M2，可装卸地安装有保持用板M1，使用保持用板M1来保持密封完毕基板W；以及板搬送机构25，在板收容部24及保持基部M2之间搬送保持用板M1，板搬送机构25将自保持基部M2卸除的保持用板M1搬送至板收容部24，并将位于板收容部24的保持用板M1搬送至保持基部M2。
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公开(公告)号：CN116940442A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202180093623.6
申请日：2021-12-23
申请人： 东和株式会社
IPC分类号： B24B45/00
摘要： 本发明简化具有刀片更换机构的加工装置的装置结构，并且减少占据面积，且本发明包括：切断用工作台2A、切断用工作台2B，通过切断机构4将密封完毕基板W进行加工；切断用移动机构8，使切断机构4在水平面上在相互正交的第一方向及第二方向移动；以及刀片更换机构24，更换切断机构4的刀片41A、刀片41B，切断用移动机构8具有：沿着第一方向夹持切断用工作台2A、切断用工作台2B而设置的一对第一导轨811；以及支撑体812，沿着一对第一导轨811移动并且对切断机构4以能够沿着第二方向移动的方式予以支撑，刀片更换机构24具有：第一吸附部241a，吸附刀片41A、刀片41B；以及臂移动机构242，使第一吸附部241a在第二方向移动。
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公开(公告)号：CN117581335A
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202280044313.X
申请日：2022-03-08
申请人： 东和株式会社
IPC分类号： H01L21/301
摘要： 本发明简化装置结构，减少占据面积，并且使经单片化的加工对象物的收容空间小型化，且包括：加工台2A、加工台2B，保持密封完毕基板W；第一保持机构3，为了将密封完毕基板W搬送至加工台2A、加工台2B而保持密封完毕基板W；加工机构4，将保持于加工台2A、加工台2B的密封完毕基板W切断而单片化；收容箱5，将通过加工机构4而单片化的密封完毕基板W落下并收容；第二保持机构6，为了将制品P自加工台2A、加工台2B搬送至收容箱5而保持制品P；搬送用移动机构7，具有沿着加工台2A、加工台2B及收容箱5的排列方向延伸且用以使第一保持机构3及第二保持机构6移动的共用的传递轴71；以及加工用移动机构8，使加工机构4在水平面上在沿着传递轴71的第一方向及与所述第一方向正交的第二方向上分别移动。
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公开(公告)号：CN117941051A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202280059817.9
申请日：2022-08-04
申请人： 东和株式会社
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/301
摘要： 本发明是加工装置100，其自动更换用以保持加工对象物的保持用板，且将密封完毕基板W保持于加工用工作台2A、加工用工作台2B上，使加工用工作台2A、加工用工作台2B移动的同时，通过加工机构4对密封完毕基板W进行加工，所述加工装置100包括：板收容部24，收容用以保持密封完毕基板W的保持用板M1；保持基部M2，以能够装卸的方式安装有保持用板M1，使用保持用板M1来保持密封完毕基板W；以及板搬送机构25，在板收容部24与保持基部M2之间搬送保持用板M1，板搬送机构25将自保持基部M2卸除的保持用板M1搬送至板收容部24，并将位于板收容部24的保持用板M1搬送至保持基部M2。
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公开(公告)号：CN116868314A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202180093604.3
申请日：2021-12-23
申请人： 东和株式会社
IPC分类号： H01L21/301
摘要： 本发明是减少加工装置的占据面积的装置，包括：基板收容部111，收容密封完毕基板W；切断用工作台2A、切断用工作台2B，通过切断机构4加工密封完毕基板W；接收台115，自基板收容部111接收密封完毕基板W；台移动机构117，具有用以使接收台115移动至搬送位置的移动轨道117a；第一保持机构3，为了将密封完毕基板W搬送至切断用工作台2A、切断用工作台2B而保持；以及搬送用移动机构7，具有用以使第一保持机构3在位于搬送位置的接收台115与切断用工作台2A、切断用工作台2B之间移动的传递轴71，传递轴71与移动轨道117a在平面视时相互正交。
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公开(公告)号：CN116745042A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202180090166.5
申请日：2021-12-23
申请人： 东和株式会社
IPC分类号： B08B3/02
摘要： 本发明使装置结构简化并且减少占据面积，本发明包括：加工台2A、加工台2B，保持密封完毕基板W；第一保持机构3，为了将密封完毕基板W搬送至加工台2A、加工台2B而保持密封完毕基板W；加工机构4，对保持于加工台2A、加工台2B的密封完毕基板W进行加工；移载台5，移动多个制品P；第二保持机构6，为了将多个制品P自加工台2A、加工台2B搬送至移载台5而保持多个制品P；搬送用移动机构7，具有沿着加工台2A、加工台2B及移载台5的排列方向延伸且用于使第一保持机构3及第二保持机构6移动的共用的传递轴71；以及加工用移动机构8，使加工机构4在水平面上在沿着传递轴71的X方向及与X方向正交的Y方向分别移动。
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公开(公告)号：CN108206147A
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201710958335.8
申请日：2017-10-16
申请人： 东和株式会社
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明提供一种切断装置。该切断装置通过在清洗部与干燥部之间设置中间室而抑制水滴下落到切断物上。切断装置(1)具备：切断机构(11a，11b)，用于对切断对象(2)进行切断；工作台(9)，用于载置利用切断机构(11a，11b)对切断对象(2)进行切断后的切断物(13)；清洗部(15)，用于清洗工作台(9)上的切断物(13)；干燥部(16)，用于对从清洗部(15)移动来的工作台(9)上的切断物(13)进行干燥；和中间室(17)，被设置在清洗部(15)与干燥部(16)之间。
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