公开(公告)号：CN114723650A

公开(公告)日：2022-07-08

申请号：CN202011519208.6

申请日：2020-12-21

申请人： 东方晶源微电子科技(北京)有限公司

发明人： 马卫民 ,  韩春营 ,  俞宗强 ,  蒋俊海 ,  黄守艳 ,  乔静 ,  任耀辉

IPC分类号： G06T7/00

摘要： 本申请公开了一种晶圆缺陷检测方法，该晶圆缺陷检测方法包括获取检测图像和参考图像，依据检测图像和参考图像进行缺陷检测得到检测图像的缺陷区域，基于缺陷区域进行再次检测得到最终的检测结果。以使初次所得到的缺陷又进行一次复查，降低了误检率。

公开(公告)号：CN116432266A

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN202310294316.5

申请日：2023-03-23

申请人： 东方晶源微电子科技(北京)有限公司

发明人： 乔静 ,  张荣佳 ,  鄢昌莲 ,  甘远 ,  韩春营 ,  施文伟 ,  毛礼

IPC分类号： G06F30/12 ,  G06F30/20

摘要： 本发明提供一种量测点的配方文件的生成方法、装置、设备及存储介质。该方法包括：获取测量参数和所述测量参数对应的输入量；在包含所述测量参数的测量参数模板中填入所述输入量；结合量测点和填入所述输入量后的所述测量参数模板进行分析，得到所述量测点的量测配置文件；根据所述量测点的量测配置文件和设计版图，生成量测点的配方文件。本发明可根据用户对测量参数的需求，灵活且准确的选择具备该些测量参数的量测配置模板，从而高效准确的生成相应的配方文件。