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公开(公告)号：CN101379592A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200780005002.8
申请日：2007-02-07
Applicant: 东洋炭素株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F17D1/04 , C01B7/19 , F17C2250/032 , F17C2270/0518 , H01L21/67017 , H01L21/67276
Abstract: 氟气发生装置与半导体制造装置(3a～3e)经由气体供给系统(2)连接，该气体供给系统(2)具有能够贮藏规定量的由现场氟气发生装置(1a～1e)发生的氟气的贮藏罐(12)，当现场氟气发生装置(1a～1e)中1个以上停止时，通过从贮藏有规定量的氟气的贮藏罐(12)向半导体制造装置(3a～3e)供给氟气，从而维持半导体制造装置(3a～3e)的运用。由此，能够安全稳定地将在氟气发生装置发生的氟气向半导体制造装置供给，并且获得在半导体制造中价格性能比也优越的半导体制造设备。
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公开(公告)号：CN101379592B
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN200780005002.8
申请日：2007-02-07
Applicant: 东洋炭素株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F17D1/04 , C01B7/19 , F17C2250/032 , F17C2270/0518 , H01L21/67017 , H01L21/67276
Abstract: 氟气发生装置与半导体制造装置(3a～3e)经由气体供给系统(2)连接，该气体供给系统(2)具有能够贮藏规定量的由现场氟气发生装置(1a～1e)发生的氟气的贮藏罐(12)，当现场氟气发生装置(1a～1e)中1个以上停止时，通过从贮藏有规定量的氟气的贮藏罐(12)向半导体制造装置(3a～3e)供给氟气，从而维持半导体制造装置(3a～3e)的运用。由此，能够安全稳定地将在氟气发生装置发生的氟气向半导体制造装置供给，并且获得在半导体制造中价格性能比也优越的半导体制造设备。
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公开(公告)号：CN100384514C
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN03822278.7
申请日：2003-09-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 霓佳斯株式会社
CPC classification number: F24F3/1423 , B01D53/06 , B01D53/261 , B01D2253/108 , B01D2253/25 , B01D2253/3425 , B01D2257/70 , B01D2257/80 , B01D2259/40007 , B01D2259/40052 , B01D2259/4009 , F24F2203/1032 , F24F2203/1056 , F24F2203/1072 , F24F2203/1084 , F24F2203/1088 , F24F2203/1096
Abstract: 内装有担载吸附剂的蜂窝结构体(25)的二个转子(18a、18b)由共同的马达(19)驱动转动。隔离部件(17)依靠该隔离部件(17)与对应该隔离部件(17)的转子之间的转动位置关系，在该转子上划分出吸附区域(S)、再生区域(U)。在吸附区域(S)，吸附剂从通过其中的空气中除去水分及有机物。在再生区域(U)，使用加热后的干燥空气进行吸附了水分及有机物而老化的吸收剂的再生。从处理装置(1)的传送空间(10)吸引的空气经过循环路径(20)，依次通过两转子的吸附区域，之后返回前述目标空间。通过两转子的吸附区域后的清洁干燥空气的一部分导入排气路径(21)，利用加热器加热并通过两转子的再生区域。
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公开(公告)号：CN1681576A
公开(公告)日：2005-10-12
申请号：CN03822278.7
申请日：2003-09-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 霓佳斯株式会社
CPC classification number: F24F3/1423 , B01D53/06 , B01D53/261 , B01D2253/108 , B01D2253/25 , B01D2253/3425 , B01D2257/70 , B01D2257/80 , B01D2259/40007 , B01D2259/40052 , B01D2259/4009 , F24F2203/1032 , F24F2203/1056 , F24F2203/1072 , F24F2203/1084 , F24F2203/1088 , F24F2203/1096
Abstract: 内装有担载吸附剂的蜂窝结构体(25)的二个转子(18a、18b)由共同的马达(19)驱动转动。隔离部件(17)依靠该隔离部件(17)与对应该隔离部件(17)的转子之间的转动位置关系，在该转子上划分出吸附区域(S)、再生区域(U)。在吸附区域(S)，吸附剂从通过其中的空气中除去水分及有机物。在再生区域(U)，使用加热后的干燥空气进行吸附了水分及有机物而老化的吸收剂的再生。从处理装置(1)的传送空间(10)吸引的空气经过循环路径(20)，依次通过两转子的吸附区域，之后返回前述目标空间。通过两转子的吸附区域后的清洁干燥空气的一部分导入排气路径(21)，利用加热器加热并通过两转子的再生区域。
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