公开(公告)号：CN103619591B

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201280018588.2

申请日：2012-04-13

Applicant: 东洋纺株式会社

Inventor： 玉田政宏 ,  土屋俊之 ,  奥山哲雄 ,  应矢量之 ,  前田乡司

IPC: B32B38/00 ,  B32B27/34

CPC classification number: B29C33/3842 ,  B29C39/02 ,  B32B38/0008 ,  B32B38/10 ,  B32B2379/08 ,  B81C1/0038 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L27/1218 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/03923 ,  H01L31/03925 ,  Y02E10/50 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明的课题在于提供一种耐热性优异的膜器件、以及提供一种该膜器件制作用的耐热性树脂层和无机物层的层叠体。解决手段为至少由无机层和树脂膜构成的层叠体及利用该层叠体的膜器件的制造方法，本发明的层叠体的制造方法，其特征在于，其包括下述(1)～(3)的工序，即，(1)对无机层的至少单面的表面实施偶联剂处理的工序；(2)对经上述偶联剂处理的无机层的至少单面，按照预先决定的图案进行UV照射处理，由此设置无机层与树脂层之间的剥离强度不同的部分的工序；及(3)在该图案化后的无机层的偶联剂处理面上涂布树脂溶液或树脂前体溶液，将所得的涂布溶液层干燥并实施热处理，形成上述树脂层的工序。另外，利用在使用该层叠体制作器件后按照预先决定的图案进行UV曝光的工序，将对基板的粘接剥离强度较弱的部分从上述无机基板剥离，从而实现膜器件的制作。

公开(公告)号：CN103619591A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201280018588.2

申请日：2012-04-13

Applicant: 东洋纺株式会社

Inventor： 玉田政宏 ,  土屋俊之 ,  奥山哲雄 ,  应矢量之 ,  前田乡司

IPC: B32B38/00 ,  B32B27/34

CPC classification number: B29C33/3842 ,  B29C39/02 ,  B32B38/0008 ,  B32B38/10 ,  B32B2379/08 ,  B81C1/0038 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L27/1218 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/03923 ,  H01L31/03925 ,  Y02E10/50 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明的课题在于提供一种耐热性优异的膜器件、以及提供一种该膜器件制作用的耐热性树脂层和无机物层的层叠体。解决手段为至少由无机层和树脂膜构成的层叠体及利用该层叠体的膜器件的制造方法，本发明的层叠体的制造方法，其特征在于，其包括下述(1)～(3)的工序，即，(1)对无机层的至少单面的表面实施偶联剂处理的工序；(2)对经上述偶联剂处理的无机层的至少单面，按照预先决定的图案进行UV照射处理，由此设置无机层与树脂层之间的剥离强度不同的部分的工序；及(3)在该图案化后的无机层的偶联剂处理面上涂布树脂溶液或树脂前体溶液，将所得的涂布溶液层干燥并实施热处理，形成上述树脂层的工序。另外，利用在使用该层叠体制作器件后按照预先决定的图案进行UV曝光的工序，将对基板的粘接剥离强度较弱的部分从上述无机基板剥离，从而实现膜器件的制作。