公开(公告)号：CN115605067A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211247676.1

申请日：2022-10-12

申请人： 中冶赛迪工程技术股份有限公司(CN) ,  中冶赛迪技术研究中心有限公司(CN)

发明人： 冯科 ,  杨玉 ,  漆锐 ,  谭庆 ,  邓惠丹 ,  段青松 ,  陈南菲

IPC分类号： H10N10/17 ,  H10N10/01 ,  G01K7/02 ,  B82Y40/00 ,  B82Y15/00

摘要： 本发明涉及一种基于金属衬底的耐高温微纳米薄膜温度传感器及制作方法，属于传感器技术领域。传感器主要包括金属基底、粘结层、第一绝缘层、第二绝缘层、第一极传感层、第二极传感层、第三绝缘层、第四绝缘层、导电种子层、保护层和导线。制作步骤为：1)在金属基底上沉积粘结层；在粘结层表面上沉积第一绝缘层和第二绝缘层。2)制作第一极传感层和第二极传感器。3)沉积第三绝缘层和第四绝缘层。4)在第四绝缘层表面依次沉积粘结层和导电种子层。5)在种子层上沉积保护层，从而形成三明治层状封装结构。本发明适用于1000℃高温环境下的局部多点动态温度检测，较之传统的丝状热电偶，具有尺寸小、响应快、精度高、防护好等显着技术特点。

公开(公告)号：CN115597746A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211235427.0

申请日：2022-10-10

申请人： 中冶赛迪工程技术股份有限公司(CN)

发明人： 杨玉 ,  漆锐 ,  陈南菲 ,  冯科

IPC分类号： G01K15/00 ,  B81C99/00

摘要： 本发明属于传感器标定技术领域，涉及一种微纳薄膜热学传感器的静态标定装置及其使用方法，静态标定装置包括固定管套、转动定位卡盘、以及用于放置传感器的传感器测试管；转动定位卡盘上设有贯通其内部的开孔，传感器测试管设于开孔中，并穿过开孔延伸至固定管套内；外定位标尺盘上设有手柄，用于转动并调整传感器测试管的位置。本发明中微纳薄膜热学传感器静态标定装置，不仅适用于非标、标准温度传感器的静态标定，也可以作为干式检定炉测试检定的夹具使用，能够获取干式炉或者恒温槽有效温场内轴向、径向的温度均匀性，有利于评估干式炉或者恒温槽的温场稳定性，以提高恒温设备对传感器测试标定的精度并提升测试的便利性。

公开(公告)号：CN115597735A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211247446.5

申请日：2022-10-12

申请人： 中冶赛迪工程技术股份有限公司(CN) ,  中冶赛迪技术研究中心有限公司(CN)

发明人： 冯科 ,  王水根 ,  谭庆 ,  陈南菲 ,  漆锐 ,  邓惠丹 ,  杨玉 ,  段青松

IPC分类号： G01K7/02 ,  G01K1/08 ,  G01K1/12

摘要： 本发明涉及一种金属嵌入式微纳米薄膜温度传感器制作方法，属于传感器技术领域。传感器包括保护层I、保护层II、导电种子层I、导电种子层II、粘结层I、粘结层II、绝缘层I、绝缘层II、传感层和环氧树脂。制作方法为：通过电镀、旋涂、光刻、磁控溅射、电子束蒸发、低压化学气相沉积、等离子增强化学气相沉积等工艺步骤逐层沉积粘结层、绝缘层、传感层、阻挡层、种子层和保护层。本发明能有效保障传感器在恶劣工业环境中的使用效果，并有助于大幅提升其使用寿命。