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公开(公告)号：CN114955980B
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202210612658.2
申请日：2022-06-01
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种基于PDMS‑硅纳米膜的柔性心音传感器，属于半导体技术领域。该传感器由硅纳米膜和柔性基底PDMS组成，硅纳米膜包括压阻区、欧姆接触区和合金区，合金区的材质为铬和金的合金。制备时在SOI片的上方形成氧化层，经过浓硼扩散后形成欧姆接触区，刻蚀顶层硅后形成压阻区，溅射、腐蚀金属并退火后形成合金区，刻蚀并腐蚀埋氧层后形成屋檐结构，钻蚀埋氧层后形成悬空的硅纳米膜结构，最终将硅纳米膜转印到柔性基底PDMS上。该传感器具有较高的灵敏度，同时由于柔性基底PDMS，增加了传感器的适应性和便捷性。
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公开(公告)号：CN118817829A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202411296038.8
申请日：2024-09-18
IPC: G01N29/024
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，公开了一种基于CMUT的茶多酚浓度测量装置及方法；其中，所述茶多酚浓度测量装置包括：超声波探头模块、电源模块以及信号获取计算模块；其中，超声波探头模块包括发射端CMUT和接收端CMUT；电源模块包括信号发生器和直流电压源；信号获取计算模块用于获取发射端CMUT、接收端CMUT之间的距离以及超声飞行时间并计算获得待测茶多酚溶液的声速，与已标定茶多酚浓度的茶多酚溶液中的声速对比，得到待测茶多酚溶液的茶多酚浓度。本发明公开的技术方案，具有精度高、稳定性好、成本低、小型化、可靠性高、操作简单等优点，在茶多酚浓度检测领域具有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN118787384A
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202410866200.9
申请日：2024-07-01
Applicant: 中北大学
Abstract: 公开了一种乳腺超声CT成像系统及方法，包括：超声探头，其设置在容纳超声耦合液体介质的水箱内，上有检测孔以及在围绕检测孔圆周面布置的超声传感器阵列，超声传感器阵列包含若干用于产生超声波的阵元，一层阵元对应一层水平切片；位移定位台，用于带动超声探头沿着轴线做轴向运动以及绕轴线旋转；以及电脑，用于对采集到的超声信号进行重建成像。超声探头对乳腺做电子扫描，位移定位台调整超声探头扫描位置以覆盖阵元的间隙，这种通过电子扫描与机械扫描相结合的方式，降低了高精度断层扫描成像对CMUT超声探头的传感器密度要求。使用分时复用的方法，在降低设备硬件制造成本的同时，提高了超声成像的精度，实现了对乳腺的高精度三维立体成像。
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公开(公告)号：CN114838806B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202210357558.X
申请日：2022-04-07
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于尾流探测技术领域，具体为一种MEMS尾流探测传感器，解决了背景技术中的技术问题，其包括纤毛式MEMS矢量水听器、中间连接体、仿鱼类侧线保护罩和保护筒体；仿鱼类侧线保护罩将纤毛式MEMS矢量水听器罩设其中且与中间连接体的顶端固定连接；仿鱼类侧线保护罩的顶部开有四个侧线孔；保护筒体由内到外依次包括固定连接的内筒体、减振橡胶套筒和外筒体，保护筒体的顶端与中间连接体的底端密封连接。本申请将仿鱼类侧线系统和纤毛式MEMS矢量水听器结合，组合成了能够测量湍流尾流的传感器，仿鱼类侧线保护罩减少了纤毛‑十字梁换能微结构被异物碰撞的几率，同时降低了海水冲击的影响，提高了传感器探测尾流信号的准确性。
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公开(公告)号：CN115265754A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202211028088.9
申请日：2022-08-25
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种MEMS同振型三维组合水听器，属于水声传感器技术领域。该水听器包括圆球状封装舱，圆球状封装舱内设有控制电路板，控制电路板上集成有一支构成矢量通道的MEMS电容式三轴加速度计以及一支构成声压通道的MEMS电容式全向性麦克风，控制电路板上连接有输出信号缆和输入信号缆，圆球状封装舱内还设有上下对称设置的气体密封腔。该水听器集成了一款MEMS电容式三轴加速度计作为矢量通道、集成了一款MEMES全向性麦克风作为声压通道，大大减小了MEMS同振型三维组合水听器的体积，增加了MEMS同振型三维组合水听器的灵敏度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113731779B
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202110868102.5
申请日：2021-07-30
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种基于SOI埋氧层牺牲释放技术的电容式微机械超声换能器及其制备方法，属于MEMS技术领域。该换能器包括圆形的SOI片，SOI片的正面沉积有金属上电极、背面沉积有金属下电极，SOI片的器件层和埋氧层部分设有SiC边缘支撑，SOI片的埋氧层上设有密封真空电容腔，SOI片正面的金属上电极上沉积有Parylene‑C密封层。本发明换能器的空腔结构形状规则，空腔边缘和高度均匀可控，其具有尺寸小、功耗低以及与周围介质具有固有的阻抗匹配等优点，通过沉积Parylene‑C封装起到防水的作用且具有较好的透声能力。
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公开(公告)号：CN111870275B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202010720086.0
申请日：2020-07-24
Applicant: 中北大学
IPC: A61B7/04
Abstract: 本发明为一种基于MEMS技术的磁感式电子听诊器探头，解决了目前心音传感器存在灵敏度和信噪比相互制约的问题。本发明电子听诊器探头包括依次榫卯嵌套在一起的负压囊、心音探头壳体、连接体、芯片封装壳体、MEMS声传感器微结构和感应薄膜，感应薄膜上设置有磁体。本发明电子听诊器探头将心音信号从外界环境振动噪声中转化分离出来，进行专一性检测，降低了环境噪声对心音信号检测的影响，提高了其抗干扰能力，使得心音检测精准性提高。同时，由于传感器获取到的心音信号为原始信号，从而降低了后端信号处理电路和消噪算法的难度。
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公开(公告)号：CN113331863A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110701358.7
申请日：2021-06-24
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明为一种基于拍型仿生纤毛的高灵敏度MEMS心音心电一体化检测传感器，其包括主要由探头壳体、MEMS声传感器微结构、心音心电一体化电路和信号采集卡组成，MEMS声传感器微结构上设置有拍型仿生纤毛用于检测心音信号，探头壳体上的心电电极用于检测心电信号，二者将检测到的信号传输给心音心电一体化电路进行处理，处理后再传输给信号采集卡。本发明具有设计科学、结构合理、操作简便、携带方便、检测灵敏、成本低、可批量加工、心音心电同步检测等优点，和传统传感器探头相比检测心音与心电信号更加准确、快速和方便。
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公开(公告)号：CN105759326B
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201610324517.5
申请日：2016-05-17
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种实现全光二极管功能的结构设计。更具体地，是一种基于金属‑介质‑金属（MIM）波导的表面等离极化激元全光二极管结构。其包括正向入射波导/反向出射波导、增益谐振腔、损耗谐振腔以及正向出射波导/反向入射波导。两环形谐振腔内填充能够对表面等离极化激元（SPPs）实现增益和耗散的电介质材料。波导与增益环形谐振腔、损耗环形谐振腔之间有一定宽度的间隔用于SPPs的耦合。本发明是在金属银薄膜上设计一个波导环形腔耦合结构的基于SPPs全光二极管器件，意在突破传统电子二极管能耗高、速度低等瓶颈问题。同时通过设计不同结构尺寸或者在谐振腔内填充不同介电常数的电介质，可以实现任意波长光波的单向导通。
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公开(公告)号：CN106406074A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610979861.8
申请日：2016-11-08
Applicant: 中北大学
IPC: G04F5/14
CPC classification number: G04F5/14
Abstract: 本发明公开了一种垂直耦合纳米光波导双光路芯片级原子钟，包括激光器，所述激光器出射的光束通过垂直耦合光栅Ⅰ耦合进入Y波导分束器，其中一束光经过相位调制单元后输出，另外一束光经调节补偿后输出，两路光束再分别经过垂直耦合光栅Ⅰ和垂直耦合光栅Ⅱ输出，依次经过偏振片、衰减片、波片、准直、聚焦之后进入铷原子气室，出射后，两束光经过探测单元转化为电信号后经过减法器输入集成电路芯片，所述集成电路芯片对激光器和相位调制单元进行调控。该方案通过双光路共模抑制可以大大减小光功率起伏和频率起伏噪声的影响，有效提高CPT原子钟的信噪比，从而可以大大提高芯片级原子钟的短期稳定度。
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