公开(公告)号：CN108279320B

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN201810133315.1

申请日：2018-02-09

Applicant: 中北大学

Inventor： 闫树斌 ,  张彦军 ,  韵力宇 ,  李云超 ,  张志东 ,  崔建功 ,  李国洪 ,  冯登超 ,  胡旭文

IPC: G01P15/02

Abstract: 本发明涉及一种基于Fano共振纳米光波导加速度计原理及制造工艺，具体属于光学领域和微光机电系统领域，具体为一种基于Fano共振纳米光波导加速度计制备方法。本发明提供了一种基于Fano共振纳米光波导加速度计制备方法，本发明以SOI材料作为敏感元件和基底材料，基于高Q光学微环腔高灵敏的特点，以及SOI材料高折射率、光学限制能力强、传输损耗小、易集成等优点，采用集成纳米光波导工艺，提出基于Fano共振的纳米光波导加速度计，通过力‑光耦合效应实现具有高灵敏抗冲击特性的光学加速度计。

公开(公告)号：CN108279320A

公开(公告)日：2018-07-13

申请号：CN201810133315.1

申请日：2018-02-09

Applicant: 中北大学

Inventor： 闫树斌 ,  张彦军 ,  韵力宇 ,  李云超 ,  张志东 ,  崔建功 ,  李国洪 ,  冯登超 ,  胡旭文

IPC: G01P15/02

Abstract: 本发明涉及一种基于Fano共振纳米光波导加速度计原理及制造工艺，具体属于光学领域和微光机电系统领域，具体为一种基于Fano共振纳米光波导加速度计制备方法。本发明提供了一种基于Fano共振纳米光波导加速度计制备方法，本发明以SOI材料作为敏感元件和基底材料，基于高Q光学微环腔高灵敏的特点，以及SOI材料高折射率、光学限制能力强、传输损耗小、易集成等优点，采用集成纳米光波导工艺，提出基于Fano共振的纳米光波导加速度计，通过力-光耦合效应实现具有高灵敏抗冲击特性的光学加速度计。