公开(公告)号：CN107621674A

公开(公告)日：2018-01-23

申请号：CN201710964074.0

申请日：2017-10-17

Applicant: 中北大学

Inventor： 闫树斌 ,  文丰 ,  韵力宇 ,  李国洪 ,  冯登超 ,  张彦军 ,  李云超 ,  崔建功 ,  张志东

IPC: G02B6/122 ,  G02B6/138

Abstract: 本发明属于光学领域和微光机电系统领域，尤其涉及一种应用于加速度计的光波导设计及制造，具体为一种应用于加速度计的SU-8柔性光波导及其制备方法。一种应用于加速度计的SU-8柔性光波导，包括硅基底；硅基底上设有一层以聚合物NOA73为材料的下包层，下包层上设置有矩形SU-8芯层，下包层上还设置有将矩形SU-8芯层覆盖的以聚合物NOA73为材料的上包层，上包层上镀有Al掩膜。本发明所提出的柔性材料光波导加速度计，简化了制备工艺并降低成本，提高光学系统集成度，并且具有很好的抗震、抗干扰性能，适合于批量生产，可广泛的应用于军民领域。

公开(公告)号：CN108279320B

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN201810133315.1

申请日：2018-02-09

Applicant: 中北大学

Inventor： 闫树斌 ,  张彦军 ,  韵力宇 ,  李云超 ,  张志东 ,  崔建功 ,  李国洪 ,  冯登超 ,  胡旭文

IPC: G01P15/02

Abstract: 本发明涉及一种基于Fano共振纳米光波导加速度计原理及制造工艺，具体属于光学领域和微光机电系统领域，具体为一种基于Fano共振纳米光波导加速度计制备方法。本发明提供了一种基于Fano共振纳米光波导加速度计制备方法，本发明以SOI材料作为敏感元件和基底材料，基于高Q光学微环腔高灵敏的特点，以及SOI材料高折射率、光学限制能力强、传输损耗小、易集成等优点，采用集成纳米光波导工艺，提出基于Fano共振的纳米光波导加速度计，通过力‑光耦合效应实现具有高灵敏抗冲击特性的光学加速度计。

公开(公告)号：CN108279320A

公开(公告)日：2018-07-13

申请号：CN201810133315.1

申请日：2018-02-09

Applicant: 中北大学

Inventor： 闫树斌 ,  张彦军 ,  韵力宇 ,  李云超 ,  张志东 ,  崔建功 ,  李国洪 ,  冯登超 ,  胡旭文

IPC: G01P15/02

Abstract: 本发明涉及一种基于Fano共振纳米光波导加速度计原理及制造工艺，具体属于光学领域和微光机电系统领域，具体为一种基于Fano共振纳米光波导加速度计制备方法。本发明提供了一种基于Fano共振纳米光波导加速度计制备方法，本发明以SOI材料作为敏感元件和基底材料，基于高Q光学微环腔高灵敏的特点，以及SOI材料高折射率、光学限制能力强、传输损耗小、易集成等优点，采用集成纳米光波导工艺，提出基于Fano共振的纳米光波导加速度计，通过力-光耦合效应实现具有高灵敏抗冲击特性的光学加速度计。