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公开(公告)号：CN114743918B
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202210446129.X
申请日：2022-04-26
Applicant: 中南大学
IPC: H01L21/683 , H01L21/687
Abstract: 本发明涉及半导体设备技术领域，具体为一种含气体保护的晶圆真空吸附旋转装置，包括外壳和固定在外壳内部的凸台，所述外壳内装配有无刷直流电机、真空吸附机构、带传动机构以及吹气机构组成，真空吸附机构包括吸附组件及固定在吸附组件底部的抽气组件，所述无刷直流电机通过带传动机构与抽气组件连动。本发明通过带传动方式将电机与中空轴连接，避免了电机处于真空吸盘正下方，加上凸起与吸盘挡圈配合隔绝化学液体，同时进行氮气吹扫以及在真空吸盘上安装O形密封圈，保证晶圆高速旋转的同时，避免化学液接触电机造成电机腐蚀，具有结构简单，成本较低，性能优良，应用范围广等优点。
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公开(公告)号：CN114839769A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202210447180.2
申请日：2022-04-26
Applicant: 中南大学
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明涉及滤光片膜系技术领域，具体为一种滤光片膜系自动化设计方法，所述滤光片膜系自动化设计方法包括以下步骤：S1、确定求解空间，S2、中心波长调整，S3、结构参数编码，S4、生成初始种群，S5、计算光学特性，S6、计算带宽及通带波纹，S7、适应算子过程，S8、计算适应度值，S9、选择算子过程，S10、交叉算子过程，S11、变异算子过程，S12、循环迭代优化，通过使用本发明中滤光膜系自动化设计方法，使得滤光片的膜系设计工作具有全局优化、易于编程实现、计算量较小、优化效果好、自动化设计、操作简便的优点。
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公开(公告)号：CN114839769B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202210447180.2
申请日：2022-04-26
Applicant: 中南大学
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明涉及滤光片膜系技术领域，具体为一种滤光片膜系自动化设计方法，所述滤光片膜系自动化设计方法包括以下步骤：S1、确定求解空间，S2、中心波长调整，S3、结构参数编码，S4、生成初始种群，S5、计算光学特性，S6、计算带宽及通带波纹，S7、适应算子过程，S8、计算适应度值，S9、选择算子过程，S10、交叉算子过程，S11、变异算子过程，S12、循环迭代优化，通过使用本发明中滤光膜系自动化设计方法，使得滤光片的膜系设计工作具有全局优化、易于编程实现、计算量较小、优化效果好、自动化设计、操作简便的优点。
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公开(公告)号：CN114743918A
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202210446129.X
申请日：2022-04-26
Applicant: 中南大学
IPC: H01L21/683 , H01L21/687
Abstract: 本发明涉及半导体设备技术领域，具体为一种含气体保护的晶圆真空吸附旋转装置，包括外壳和固定在外壳内部的凸台，所述外壳内装配有无刷直流电机、真空吸附机构、带传动机构以及吹气机构组成，真空吸附机构包括吸附组件及固定在吸附组件底部的抽气组件，所述无刷直流电机通过带传动机构与抽气组件连动。本发明通过带传动方式将电机与中空轴连接，避免了电机处于真空吸盘正下方，加上凸起与吸盘挡圈配合隔绝化学液体，同时进行氮气吹扫以及在真空吸盘上安装O形密封圈，保证晶圆高速旋转的同时，避免化学液接触电机造成电机腐蚀，具有结构简单，成本较低，性能优良，应用范围广等优点。
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