一种频率选择型射频电源及柔性变频控制方法

    公开(公告)号:CN116722751B

    公开(公告)日:2024-11-05

    申请号:CN202310756243.7

    申请日:2023-06-26

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本发明公开了一种频率选择型射频电源及柔性变频控制方法,本发明中的频率选择型射频电源主要包括经过改进的射频电源主电路拓扑及与其配套的柔性调频控制技术;射频电源主电路拓扑包括AC/DC整流模块,DC/DC高频隔离模块,DC/AC逆变模块和控制模块,柔性调频控制方法是通过对锁相环的输入输出控制实现射频电源的柔性调频以及多个射频电源的一定同步关系构建。本申请一方面解决了射频电源偏离额定工作点处产生的输出特性恶化问题,另一方面也可方便的实现对多个射频电源同步输出的控制,扩展了等离子体射频电源的射频输出范围和应用范围,能够在一定程度上降低工艺制造的成本。

    E类逆变器级联谐振驱动结构及设计方法

    公开(公告)号:CN115589134B

    公开(公告)日:2023-05-23

    申请号:CN202211228429.7

    申请日:2022-10-08

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本发明公开了一种E类逆变器级联谐振驱动结构和设计方法,属于射频功率放大器的技术领域。本发明提出的结构包括:第一级E类逆变器和第二级E类逆变器,其中第一级E类逆变器的输出与第二级E类逆变器MOS管的漏源极连接。第一级E类逆变器通过输入阻抗匹配电路完成负载的匹配并实现驱动,第二级E类逆变器通过输出阻抗匹配电路完成负载的匹配并实现射频输出。为了优化电路结构的性能,提出了E类逆变器级联谐振驱动结构的设计方法,使该电路可以稳定运行,并提高了电路的效率。

    E类逆变器级联谐振驱动结构及设计方法

    公开(公告)号:CN115589134A

    公开(公告)日:2023-01-10

    申请号:CN202211228429.7

    申请日:2022-10-08

    Applicant: 中南大学

    Abstract: 本发明公开了一种E类逆变器级联谐振驱动结构和设计方法,属于射频功率放大器的技术领域。本发明提出的结构包括:第一级E类逆变器和第二级E类逆变器,其中第一级E类逆变器的输出与第二级E类逆变器MOS管的漏源极连接。第一级E类逆变器通过输入阻抗匹配电路完成负载的匹配并实现驱动,第二级E类逆变器通过输出阻抗匹配电路完成负载的匹配并实现射频输出。为了优化电路结构的性能,提出了E类逆变器级联谐振驱动结构的设计方法,使该电路可以稳定运行,并提高了电路的效率。

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