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公开(公告)号:CN113823738A
公开(公告)日:2021-12-21
申请号:CN202111106202.0
申请日:2021-09-22
申请人: 中国人民解放军国防科技大学
IPC分类号: H01L45/00
摘要: 本发明实施例公开了一种选通器件及其制备方法,所述选通器件包括制备在衬底上的第一电极层、中间介质层和第二电极层;所述中间介质层设置在所述第一电极层和所述第二电极层之间,其中,所述第一电极层为惰性电极,所述第二电极层为惰性电极,所述中间介质层包括奇数个绝缘的介质层,且相邻介质层均为不同硫系化合物结构层,在实际应用中,中间介质层层数的增加,以及锑、碲元素的掺杂共同提升了选通器件的稳定性、耐久性及可靠性。