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发明公开
高隔离度低启动电压串联接触式双臂悬梁MEMS开关审中-实审

公开(公告)号：CN115662846A

公开(公告)日：2023-01-31

申请号：CN202211378948.1

申请日：2022-11-04

申请人： 中国人民解放军国防科技大学

发明人： 陈柏池 , 林铭团 , 郭岳儒 , 龙世新 , 袁博秋 , 查淞

IPC分类号： H01H59/00

摘要： 本发明公开了一种高隔离度低启动电压串联接触式双臂悬梁MEMS开关，包括衬底、及第一CPW传输线、第二CPW传输线、第三CPW传输线、第一悬臂开关结构与第二悬臂开关结构，第三CPW传输线设在衬底上且位于第一CPW传输线与第二CPW传输线之间的位置；第一悬臂开关结构的一端与第一CPW传输线相连，另一端与第三CPW传输线的一端相连；第二悬臂开关结构的一端与第二CPW传输线相连，另一端与第三CPW传输线的另一端相连。本发明应用于微电子机械领域，通过降低上电极和驱动电极的间隙有效降低驱动电压的同时，还通过串联单悬臂开关两级级联的方式实现了高隔离度，使MEMS开关能更好地支撑射频系统的应用。