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公开(公告)号：CN114563113A
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202210204742.0
申请日：2022-03-03
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
IPC: G01L1/10
Abstract: 本发明公开了一种空心谐振式应力组件及应力计，空心谐振式应力组件设计成了空心球式谐振敏感结构，可以感应所受外应力的大小；并将空心谐振式应力组件预埋入灌封体，通过交流电磁铁激励，激光测振仪进行响应测试，可实现对灌封体内部应力的无线无源测试；应力计结构响应输出采用光学激光测振方法进行测试，避免其它电学类结构响应测试传感器(如压电加速度传感器、电容位移类传感器等)易受电磁铁磁场干扰的问题；信号发生器扫频输入参考信号与激光测振仪输出信号进行锁相分析，可避免干扰，提高测试信噪比。
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公开(公告)号：CN109900414A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201910242931.5
申请日：2019-03-28
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
Abstract: 本发明公开了弯矩传感器，在弹性体的底部设置有与支撑板连接固定的安装法兰，在弹性体顶部设置有用于将导向筒受到的弯矩传导到弹性体上的安装固定面结构；在悬臂梁的正反两面均开设有凹槽，凹槽的底面为弯曲应力感应面，在弯曲应力感应面上贴有用于测量悬臂梁在弯矩作用下的拉、压应力的应变计；上部双悬臂梁结构的四个应变计通过引线组桥后与信号变换器连接；下部双悬臂梁结构的四个应变计通过引线组桥后与信号变换器连接。本发明通过弯矩传感器的独特结构设计，特别地是双悬臂梁结构之间的搭配组合、安装固定面结构的设计，以及应变计的数量、布设位置、可以直接用于控制棒导向筒所受弯矩测量的空间环境，实现两轴弯矩检测。
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公开(公告)号：CN109827705A
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201910276753.8
申请日：2019-04-08
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于弯矩传感器性能检测的标定装置，弯矩传感器竖直安装，标定装置包括竖直设置的标定杆、用于在标定过程中，测量弯矩传感器在不同弯矩载荷下的变形量的刻度盘、用于对标定杆施加不同大小水平力的力加载机构。标定杆的上端与弯矩传感器固定连接；标定杆的下端用于在刻度盘上指示，测量弯矩传感器在不同弯矩载荷下的变形量；本发明通过力加载机构对标定杆的不同水平作用力，然后标定杆与刻度盘的搭配可以模拟不同的弯矩载荷，并得到不同弯矩载荷下弯矩传感器的输出值，从而实现对弯矩传感器的性能标定；刻度盘及标定杆可方便的测量加载过程中的传感器变形量，以修正传感器的标定系数。
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公开(公告)号：CN119687994A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411619806.9
申请日：2024-11-13
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于测量动态温度和压力的复合传感器及其制备方法，复合传感器包括传感器基座、温度测量单元、压力测量单元；温度测量单元包括金属壳体、陶瓷基热电偶测温单元，金属壳体内设置有第一安装孔，传感器基座内设置有第二安装孔，陶瓷基热电偶测温单元安装在第一安装孔内，电偶测温单元的测量端凸出传感器基座的第一端面设置。本发明中高温气流可通过引压孔同时作用在温度测量单元的薄膜热电偶敏感体和压力测量单元的压力敏感体上，以实现动态温度和气体压力的同步测量；将电偶测温单元的测量端凸出传感器基座的第一端面设置，电偶测温单元的测量端暴露在气流中，实现对气流温度的瞬态感知，更加容易实现对瞬态温度和压力同步测量。
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公开(公告)号：CN115522163A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202211228512.4
申请日：2022-10-09
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种三维异面结构陶瓷基薄膜热电偶的保护层制备方法，属于薄膜制备技术领域；包括如下步骤：S1采用磁控溅射沉积法，在三维异面立体陶瓷基薄膜热电偶的表面沉积第一氧化铝薄膜层；S2采用溶胶‑凝胶法，在所述第一氧化铝薄膜层表面镀制第二氧化铝薄膜层；所述保护层由所述第一氧化铝薄膜层和所述第二氧化铝薄膜层组成；所述三维异面立体陶瓷基薄膜热电偶为沉积热电薄膜层后的陶瓷基底；本发明的制备方法是在基于三维异面立体陶瓷基结构上制备的保护层，具有高温抗氧化性能，同时具有更好的抗热挥发性能和较低的热应力，能够在高温下对对三维异面结构上面沉积的热电薄膜层进行有效保护。
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公开(公告)号：CN111778559B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202010823206.X
申请日：2020-08-17
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
IPC: H01L21/677 , C30B29/40 , C30B25/18 , C30B25/02
Abstract: 本发明公开了石墨盘翻转式GaN单晶衬底激光预剥离集成腔，采用包含相变材料的保温托盘实现石墨圆盘的保温，在一定时间内可使保温托盘维700℃以上高温，将显著降低GaN单晶衬底片因温度突变或温度过低导致生长质量问题的概率，提高GaN单晶生长质量；采用集成腔室与HVPE设备连接，腔室内部可实现一定真空度或充填惰性气体，并具有加热保温功能，可以保证GaN单晶衬底片在整个中转过程中的环境氛围，确保后续工艺中的GaN单晶衬底生长质量；采用具有保温功能的中转托盘在集成腔中全盘转接保温托盘中的GaN单晶衬底片，使所有GaN单晶片的蓝宝石衬底面朝上，这样，既可以取消伯努利吸附传输方式，还可以显著提高GaN单晶衬底片的激光预剥离效率。
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公开(公告)号：CN113155345B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202110311847.1
申请日：2021-03-24
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性压阻阵列和磁铁线圈阵列的柔性触觉传感器，包括弹性体、永磁铁、柔性压阻阵列、导电线圈阵列；永磁铁安装在弹性体内部；弹性体的底部与柔性压阻阵列的作用端连接；导电线圈阵列置于柔性压阻阵列的下方；本申请通过弹性体、永磁铁、柔性压阻阵列、导电线圈阵列的设置及其连接，有效的将柔性压阻单元阵列和磁铁线圈阵列两种敏感单元有机结合，基于压阻效应和电磁感应原理，能够实现柔性接触面上的三维力(即正压力和二维摩擦力)和滑动的检测，可以分辨滑动的二维方向，兼顾力与滑动检测的静态性能和动态性能，并且具有制作成本低的特点。
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公开(公告)号：CN112643591B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202110035387.4
申请日：2021-01-12
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于微型加速度传感器的装配工装，包括多向调节机构、压头、夹具、顶针；压头与多向调节机构的调节端连接；压头的第一端用于与夹具的第一端配合进行加速度传感器的安装；夹具的安装方向与第二方向平行；加速度传感器的零部件定位安放在夹具的第一端上；压头内部形成有用于顶针移动的通道；顶针可移动的置于该通道内，且顶针的第一端与夹具的第一端配合进行加速度传感器的安装。本发明中，夹具可更换，可适用于多种类型的传感器装配；在不更换夹具的情况下，可以实现内外锥环、压电片及定位环的装配，保证装配效率和产品一致性；通过竖直微调平台可以精确控制内外锥环之间轴向装配尺寸，从而有效控制压电片的预紧力。
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公开(公告)号：CN113451955B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202110773690.4
申请日：2021-07-08
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
Abstract: 本发明公开了传感器引线在狭窄空间的护线安装装置及方法，采用连接工装，实现了传感器引线在密集传热管束中，可以任意选择传热管束的管壁表面的固定位置和防水冲刷防护，实现了传感器引线在任意设置的管壁表面转换空间方向布线及出线；使得传感器引线可以最大程度的做到防水冲刷；采用牵引编织带，将多股软的传感器引线牵引编制为按设置规律排布的多股扁平引线组，实现了传感器引线局部硬度的改变，改变了引线的柔韧性，提高了引线的可塑性和牢固性；使得其能够按照既定的方位进行安装，避免其悬空晃动受到水的冲刷破坏。
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公开(公告)号：CN113451955A
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN202110773690.4
申请日：2021-07-08
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
Abstract: 本发明公开了传感器引线在狭窄空间的护线安装装置及方法，采用连接工装，实现了传感器引线在密集传热管束中，可以任意选择传热管束的管壁表面的固定位置和防水冲刷防护，实现了传感器引线在任意设置的管壁表面转换空间方向布线及出线；使得传感器引线可以最大程度的做到防水冲刷；采用牵引编织带，将多股软的传感器引线牵引编制为按设置规律排布的多股扁平引线组，实现了传感器引线局部硬度的改变，改变了引线的柔韧性，提高了引线的可塑性和牢固性；使得其能够按照既定的方位进行安装，避免其悬空晃动受到水的冲刷破坏。
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