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公开(公告)号：CN111778559B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202010823206.X
申请日：2020-08-17
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
IPC: H01L21/677 , C30B29/40 , C30B25/18 , C30B25/02
Abstract: 本发明公开了石墨盘翻转式GaN单晶衬底激光预剥离集成腔，采用包含相变材料的保温托盘实现石墨圆盘的保温，在一定时间内可使保温托盘维700℃以上高温，将显著降低GaN单晶衬底片因温度突变或温度过低导致生长质量问题的概率，提高GaN单晶生长质量；采用集成腔室与HVPE设备连接，腔室内部可实现一定真空度或充填惰性气体，并具有加热保温功能，可以保证GaN单晶衬底片在整个中转过程中的环境氛围，确保后续工艺中的GaN单晶衬底生长质量；采用具有保温功能的中转托盘在集成腔中全盘转接保温托盘中的GaN单晶衬底片，使所有GaN单晶片的蓝宝石衬底面朝上，这样，既可以取消伯努利吸附传输方式，还可以显著提高GaN单晶衬底片的激光预剥离效率。
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公开(公告)号：CN112643591B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202110035387.4
申请日：2021-01-12
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于微型加速度传感器的装配工装，包括多向调节机构、压头、夹具、顶针；压头与多向调节机构的调节端连接；压头的第一端用于与夹具的第一端配合进行加速度传感器的安装；夹具的安装方向与第二方向平行；加速度传感器的零部件定位安放在夹具的第一端上；压头内部形成有用于顶针移动的通道；顶针可移动的置于该通道内，且顶针的第一端与夹具的第一端配合进行加速度传感器的安装。本发明中，夹具可更换，可适用于多种类型的传感器装配；在不更换夹具的情况下，可以实现内外锥环、压电片及定位环的装配，保证装配效率和产品一致性；通过竖直微调平台可以精确控制内外锥环之间轴向装配尺寸，从而有效控制压电片的预紧力。
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公开(公告)号：CN106017208A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610557585.6
申请日：2016-07-15
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种一体式重型空气炮发射装置，包括炮管、气室和支撑台，管状的气室的后端与支撑台连接，气室的中前段外径大于后段外径且在中前段与后段之间形成台阶，炮管的前端封闭且后端开口，气室的中前段套装于炮管内且位于炮管的中后段，气室的前段外周上设有密封圈，密封圈的表面涂敷有润滑油，气室的前段与炮管的内壁之间通过密封圈密封，炮管的底部安装有滚轮，炮管的前端用于与试验物体接触。本发明通过将传统的炮管和弹丸合二为一形成新的外置式炮管，利用炮管直接推动试验物体实现高速发射的目的，避免了炮管的边界条件对试验物体的体积约束，尤其适用于大质量、大体积的重型试验物体的发射。
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公开(公告)号：CN117889989A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410099970.5
申请日：2024-01-24
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
Abstract: 本发明公开了差动式全石英谐振式压力传感器芯片，涉及传感器领域，包括第一封装板、第二封装板和差动组件，第一封装板和第二封装板均设置有盖合腔，差动组件的两侧均设置有腔室，腔室内均设置有谐振件，差动组件位于第一封装板和第二封装板之间，差动组件两侧的腔室分别与盖合腔形成谐振腔，谐振器和腔室均以差动组件的中心轴线镜像对称设置；两个谐振腔以及两组谐振件在芯片差动组件的两侧设置完全对称的差动输出结构，两个谐振器的边界条件一致，提高传感器芯片的精度。芯片形成了两个谐振腔，实现了MEMS芯片级的真空密封封装，保证了谐振器振动气氛环境，且可以对芯片进行次级真空密封，降低真空环境泄露的可能性，提高了芯片的长期稳定性。
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公开(公告)号：CN109900414B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN201910242931.5
申请日：2019-03-28
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
Abstract: 本发明公开了弯矩传感器，在弹性体的底部设置有与支撑板连接固定的安装法兰，在弹性体顶部设置有用于将导向筒受到的弯矩传导到弹性体上的安装固定面结构；在悬臂梁的正反两面均开设有凹槽，凹槽的底面为弯曲应力感应面，在弯曲应力感应面上贴有用于测量悬臂梁在弯矩作用下的拉、压应力的应变计；上部双悬臂梁结构的四个应变计通过引线组桥后与信号变换器连接；下部双悬臂梁结构的四个应变计通过引线组桥后与信号变换器连接。本发明通过弯矩传感器的独特结构设计，特别地是双悬臂梁结构之间的搭配组合、安装固定面结构的设计，以及应变计的数量、布设位置、可以直接用于控制棒导向筒所受弯矩测量的空间环境，实现两轴弯矩检测。(56)对比文件张玉叶.基于应变全桥的铁质悬臂梁传感器的设计与实现.电子设计工程.2018,(14),全文.商恩义;韩刚;柳惠君;张毅.正碰中假人小腿y向弯矩与x向剪切力间的关联性研究.汽车技术.2018,(03),全文.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113358268A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202110633255.1
申请日：2021-06-07
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
Abstract: 本发明公开了压力传感器，涉及传感器领域，包括接嘴基座、弹性体、连接电缆线、应变计组件和电桥转接板，弹性体固定安装在接嘴基座的上端，应变计组件安装在弹性体内，安装压力传感器时，接嘴基座焊接在被测产品的容器上，连接电缆线的信号输入端与电桥转接板的信号输出端连接；安装压力传感器时，将接嘴基座直接焊接在被测产品的容器上，取消了传统结构中的螺套和接嘴，降低压力传感器的高度，降低了压力传感器对使用空间的限制，保证了传感器在使用空间有限的情况下照样可以正常使用。
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公开(公告)号：CN112643591A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202110035387.4
申请日：2021-01-12
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种用于微型加速度传感器的装配工装，包括多向调节机构、压头、夹具、顶针；压头与多向调节机构的调节端连接；压头的第一端用于与夹具的第一端配合进行加速度传感器的安装；夹具的安装方向与第二方向平行；加速度传感器的零部件定位安放在夹具的第一端上；压头内部形成有用于顶针移动的通道；顶针可移动的置于该通道内，且顶针的第一端与夹具的第一端配合进行加速度传感器的安装。本发明中，夹具可更换，可适用于多种类型的传感器装配；在不更换夹具的情况下，可以实现内外锥环、压电片及定位环的装配，保证装配效率和产品一致性；通过竖直微调平台可以精确控制内外锥环之间轴向装配尺寸，从而有效控制压电片的预紧力。
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公开(公告)号：CN109833982A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201910276811.7
申请日：2019-04-08
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种土工鼓式离心机装置，包括外轴、内轴；外轴为空心轴，外轴用于驱动模型槽转动；内轴安装在外轴内部，内轴由内轴电机驱动，内轴用于驱动作动器平台转动；外轴与内轴不接触，外轴与内轴同轴心设置；外轴电机为直驱电机，外轴穿过外轴电机并由外轴电机驱动；外轴和内轴通过交叉耦合控制方法实现其同步或异步运动。本发明采用直驱电机直接驱动外轴，具有启动迅速，转速控制精度高，运行平稳等特点；本申请外轴和内轴通过交叉耦合控制方法实现其同步或异步运动，可避免由机械连接(离合器)实现同步带来的振动影响。
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公开(公告)号：CN118884054A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202410885827.9
申请日：2024-07-03
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
Abstract: 本发明涉及一种多通道电容信号调理及采集装置，包括数据采集板、通信盒以及上位机，数据采集板包括多个信号调理板、一个控制器和一个数据收发器，控制器与信号调理板和数据收发器连接，数据收发器与通信盒连接；信号调理板包括正弦激励信号生成电路、传感器、自平衡电桥电路、滤波及放大电路和检波及信号采集电路；控制器连接正弦激励信号生成电路，正弦激励信号生成电路连接传感器，自平衡电桥电路连接传感器和滤波放大电路，滤波放大电路连接检波及信号采集电路。本发明通过生成不同频率的激励信号，并对传感器感应的正弦信号经滤波放大，检波处理，将正弦信号转换为呈线性比例的直流信号，实现了多通道电容信号的调理及采集。
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公开(公告)号：CN109900414A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201910242931.5
申请日：2019-03-28
Applicant: 中国工程物理研究院总体工程研究所
Abstract: 本发明公开了弯矩传感器，在弹性体的底部设置有与支撑板连接固定的安装法兰，在弹性体顶部设置有用于将导向筒受到的弯矩传导到弹性体上的安装固定面结构；在悬臂梁的正反两面均开设有凹槽，凹槽的底面为弯曲应力感应面，在弯曲应力感应面上贴有用于测量悬臂梁在弯矩作用下的拉、压应力的应变计；上部双悬臂梁结构的四个应变计通过引线组桥后与信号变换器连接；下部双悬臂梁结构的四个应变计通过引线组桥后与信号变换器连接。本发明通过弯矩传感器的独特结构设计，特别地是双悬臂梁结构之间的搭配组合、安装固定面结构的设计，以及应变计的数量、布设位置、可以直接用于控制棒导向筒所受弯矩测量的空间环境，实现两轴弯矩检测。
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