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公开(公告)号：CN106975349A
公开(公告)日：2017-07-25
申请号：CN201710261082.9
申请日：2017-04-20
申请人： 中国工程物理研究院材料研究所
发明人： 黄强 , 张笛宇 , 王东平 , 阿尔特·威廉姆·柯莱恩
摘要： 本发明公开了一种射频等离子体—催化剂协同作用反应装置，包括非平衡等离子反应室，带有冷却通道的空心管状金属螺旋线圈，带有催化剂的催化体，进气封闭端头和进气端密封法兰，排气封闭端头和排气端密封法兰，以及电磁屏蔽罩等部件。本发明是针对电感耦合射频等离子体与催化剂协同作用设置的反应装置，采用石英制成的非平衡等离子反应室作为气体反应通道，利用金属螺旋线圈使相应其他产生非平衡等离子体在通道内与催化剂协同作用驱动完成化学反应，以便后续进行反应后气体的成分分析，进而实现化工合成、温室效应气体回收利用兼可再生能源高效储存方面的应用，具有反应选择性强、能量利用效率高等优点。
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公开(公告)号：CN105764227A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610334319.7
申请日：2016-05-19
申请人： 中国工程物理研究院材料研究所
IPC分类号： H05H1/50
CPC分类号： H05H1/50
摘要： 本发明公开一种高束流直流空心阴极等离子体源，包括密封管、空心电极、阴极板、连接板、第一阳极板、第二阳极板、引弧隔套和控制电源；空心电极安装在阴极板上；密封管与阴极板连接并将空心电极套入其中；密封管顶部设有用于将气体输入至空心电极中的气体导入口；连接板用于实现阴极板和第一阳极板的密封连接，并使二者之间形成电势差；第二阳极板与空心电极之间形成高密度等离子体束流；引弧隔套设在空心电极与第二阳极板之间；控制电源具有正极、负极和引弧极，正极连接第二阳极板，负极连接阴极板，引弧极连接第一阳极板。本发明可以满足多种气体的使用，并可以产生高离化率的等离子体束流，从而有效提高了能量的转化效率。
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公开(公告)号：CN106975349B
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201710261082.9
申请日：2017-04-20
申请人： 中国工程物理研究院材料研究所
发明人： 黄强 , 张笛宇 , 王东平 , 阿尔特·威廉姆·柯莱恩
摘要： 本发明公开了一种射频等离子体—催化剂协同作用反应装置，包括非平衡等离子反应室，带有冷却通道的空心管状金属螺旋线圈，带有催化剂的催化体，进气封闭端头和进气端密封法兰，排气封闭端头和排气端密封法兰，以及电磁屏蔽罩等部件。本发明是针对电感耦合射频等离子体与催化剂协同作用设置的反应装置，采用石英制成的非平衡等离子反应室作为气体反应通道，利用金属螺旋线圈使相应其他产生非平衡等离子体在通道内与催化剂协同作用驱动完成化学反应，以便后续进行反应后气体的成分分析，进而实现化工合成、温室效应气体回收利用兼可再生能源高效储存方面的应用，具有反应选择性强、能量利用效率高等优点。
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公开(公告)号：CN105848396B
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201610333435.7
申请日：2016-05-19
申请人： 中国工程物理研究院材料研究所
IPC分类号： H05H1/24
摘要： 本发明公开了一种利用空心阴极调节离子能量的装置，包括密封管、空心阴极管、阴极板、连接板、辅助阳极板、真空腔室、环状阳极板、样品放置架、磁场线圈和控制电源，空心阴极管安装在阴极板上；密封管与阴极板连接，并将空心阴极管套入其中，该密封管顶部设有气体导入口；辅助阳极板上设有绝缘隔板；连接板用于使阴极板和辅助阳极板之间形成电势差；环状阳极板和样品放置架均位于真空腔室内；真空腔室与绝缘隔板连接；磁场线圈包裹在真空腔室外部；控制电源分别连接阴极板、辅助阳极板、环状阳极板和样品放置架。本发明具有离子能量容易控制、效果明显、调节范围大的特点，很好地满足了工业和科研应用。
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公开(公告)号：CN105764225B
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201610333540.0
申请日：2016-05-19
申请人： 中国工程物理研究院材料研究所
摘要： 本发明公开了一种紧凑型大功率空心阴极放电装置，包括密封管、空心阴极管、阴极板、第一绝缘板、辅助阳极板、绝缘管、永磁体、环状阳极板、第三水冷通道和控制电源，空心阴极管安装在阴极板上；密封管与阴极板连接，并将空心阴极管套入其中；该密封管顶部还设有气体导入口；第一绝缘板用于实现阴极板和辅助阳极板的绝缘；绝缘管设置在第一绝缘板上；永磁体和第三水冷通道均设置在辅助阳极板外部；环状阳极板与辅助阳极板底部间隔30～50厘米；控制电源分别与阴极板、辅助阳极板和环状阳极板连接。本发明结构简单、功率大，等离子体的参数区间宽，可以应用到更宽广的科研和工业应用中。
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公开(公告)号：CN116183444A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310146098.0
申请日：2023-02-22
申请人： 中国工程物理研究院材料研究所
IPC分类号： G01N13/00
摘要： 本发明提供了一种氮化钛薄膜抑氢扩散性能的检测方法，涉及氮化钛材料技术领域。本发明将氮化钛薄膜制备成三明治复合结构；所述三明治复合结构包括硅基底和依次层叠于所述硅基底上的金属钛薄膜和氮化钛薄膜；将所述三明治复合结构在氘气气氛中进行第一加热，氘气穿透所述三明治复合结构的氮化钛薄膜扩散进入金属钛薄膜，得到吸附氘气的复合结构；将所述吸附氘气的复合结构在真空条件下进行第二加热，将氘气完全脱附；通过检测氘气的脱附量得到氮化钛薄膜抑氢扩散性能。本发明提供的是基于温度驱动氘粒子输运的氮化钛薄膜抑氢扩散检测方法，不会破坏氮化钛薄膜，且能够真实、高灵敏度的反映氮化钛薄膜抑氢扩散性能。
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公开(公告)号：CN105764225A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610333540.0
申请日：2016-05-19
申请人： 中国工程物理研究院材料研究所
CPC分类号： H05H1/24 , H01J37/32541 , H01J37/32596
摘要： 本发明公开了一种紧凑型大功率空心阴极放电装置，包括密封管、空心阴极管、阴极板、第一绝缘板、辅助阳极板、绝缘管、永磁体、环状阳极板、第三水冷通道和控制电源，空心阴极管安装在阴极板上；密封管与阴极板连接，并将空心阴极管套入其中；该密封管顶部还设有气体导入口；第一绝缘板用于实现阴极板和辅助阳极板的绝缘；绝缘管设置在第一绝缘板上；永磁体和第三水冷通道均设置在辅助阳极板外部；环状阳极板与辅助阳极板底部间隔30～50厘米；控制电源分别与阴极板、辅助阳极板和环状阳极板连接。本发明结构简单、功率大，等离子体的参数区间宽，可以应用到更宽广的科研和工业应用中。
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公开(公告)号：CN105764227B
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201610334319.7
申请日：2016-05-19
申请人： 中国工程物理研究院材料研究所
IPC分类号： H05H1/50
摘要： 本发明公开一种高束流直流空心阴极等离子体源，包括密封管、空心电极、阴极板、连接板、第一阳极板、第二阳极板、引弧隔套和控制电源；空心电极安装在阴极板上；密封管与阴极板连接并将空心电极套入其中；密封管顶部设有用于将气体输入至空心电极中的气体导入口；连接板用于实现阴极板和第一阳极板的密封连接，并使二者之间形成电势差；第二阳极板与空心电极之间形成高密度等离子体束流；引弧隔套设在空心电极与第二阳极板之间；控制电源具有正极、负极和引弧极，正极连接第二阳极板，负极连接阴极板，引弧极连接第一阳极板。本发明可以满足多种气体的使用，并可以产生高离化率的等离子体束流，从而有效提高了能量的转化效率。
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公开(公告)号：CN105848396A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610333435.7
申请日：2016-05-19
申请人： 中国工程物理研究院材料研究所
IPC分类号： H05H1/24
CPC分类号： H05H1/24
摘要： 本发明公开了一种利用空心阴极调节离子能量的装置，包括密封管、空心阴极管、阴极板、连接板、辅助阳极板、真空腔室、环状阳极板、样品放置架、磁场线圈和控制电源，空心阴极管安装在阴极板上；密封管与阴极板连接，并将空心阴极管套入其中，该密封管顶部设有气体导入口；辅助阳极板上设有绝缘隔板；连接板用于使阴极板和辅助阳极板之间形成电势差；环状阳极板和样品放置架均位于真空腔室内；真空腔室与绝缘隔板连接；磁场线圈包裹在真空腔室外部；控制电源分别连接阴极板、辅助阳极板、环状阳极板和样品放置架。本发明具有离子能量容易控制、效果明显、调节范围大的特点，很好地满足了工业和科研应用。
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公开(公告)号：CN205667005U
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201620457557.2
申请日：2016-05-19
申请人： 中国工程物理研究院材料研究所
IPC分类号： H05H1/24
摘要： 本实用新型公开了一种利用空心阴极调节离子能量的装置，包括密封管、空心阴极管、阴极板、连接板、辅助阳极板、真空腔室、环状阳极板、样品放置架、磁场线圈和控制电源，空心阴极管安装在阴极板上；密封管与阴极板连接，并将空心阴极管套入其中，该密封管顶部设有气体导入口；辅助阳极板上设有绝缘隔板；连接板用于使阴极板和辅助阳极板之间形成电势差；环状阳极板和样品放置架均位于真空腔室内；真空腔室与绝缘隔板连接；磁场线圈包裹在真空腔室外部；控制电源分别连接阴极板、辅助阳极板、环状阳极板和样品放置架。本实用新型具有离子能量容易控制、效果明显、调节范围大的特点，很好地满足了工业和科研应用。
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