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公开(公告)号：CN117592854B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202311592852.X
申请日：2023-11-27
申请人： 中国电子工程设计院股份有限公司 , 世源科技工程有限公司
IPC分类号： G06Q10/0639 , G06Q50/04
摘要： 本发明公开了半导体生产线布局中环境要素评价方法及装置，方法具体包括如下步骤：采集半导体的生产工艺流程以及半导体生产线的布局信息；给出各个生产设备的位置信息；获取影响半导体生产线布局的各个环境要素；基于距离指标，给出各个环境要素的影响度区域；结合每个生产设备对各个环境要素的抗干扰度及每个生产设备的位置信息，得到每个生产设备的环境要素评价体系，实现半导体生产线布局的各个生产设备的环境要素评价。本发明针对环境要素，结合距离、影响权重及抗干扰度等指标，以生产设备为单位，给出半导体生产线布局中环境评价结果，既能确保半导体产品的高品质和高良品率，也能指导半导体生产线布局的优化。
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公开(公告)号：CN117592854A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311592852.X
申请日：2023-11-27
申请人： 中国电子工程设计院股份有限公司 , 世源科技工程有限公司
IPC分类号： G06Q10/0639 , G06Q50/04
摘要： 本发明公开了半导体生产线布局中环境要素评价方法及装置，方法具体包括如下步骤：采集半导体的生产工艺流程以及半导体生产线的布局信息；给出各个生产设备的位置信息；获取影响半导体生产线布局的各个环境要素；基于距离指标，给出各个环境要素的影响度区域；结合每个生产设备对各个环境要素的抗干扰度及每个生产设备的位置信息，得到每个生产设备的环境要素评价体系，实现半导体生产线布局的各个生产设备的环境要素评价。本发明针对环境要素，结合距离、影响权重及抗干扰度等指标，以生产设备为单位，给出半导体生产线布局中环境评价结果，既能确保半导体产品的高品质和高良品率，也能指导半导体生产线布局的优化。
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公开(公告)号：CN117314263A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311593620.6
申请日：2023-11-27
申请人： 中国电子工程设计院股份有限公司 , 世源科技工程有限公司
IPC分类号： G06Q10/0639 , G06Q50/04
摘要： 本发明公开了一种电子工厂生产线布局的评价方法及装置，方法具体包括如下步骤：采集电子产品的生产工艺信息以及电子工厂生产线的布局信息；解析布局信息，获取布局中的建筑信息及电子工厂生产线中的各个生产设备信息；基于布局中的建筑信息，给出电子工厂生产线的生产区域信息；结合生产区域信息，匹配对应的各个生产设备；根据各个生产设备信息，结合电子产品的生产工艺信息，重构每个生产设备的工艺数据，得到每个生产设备的评价指标；对各个生产设备的每个评价指标进行分析，获取电子工厂生产线布局的评价结果。本发明针对电子工厂生产线布局的评价，结合物理布局、逻辑布局及工艺布局，实现对布局质量的准确、快速评估。
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公开(公告)号：CN103630382B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201310015092.6
申请日：2013-01-16
申请人： 世源科技工程有限公司
摘要： 目前化学过滤器在IC，TFT，OLED，PDP等电子厂房普遍采用。但化学过滤器的寿命目前还没合适的现场测试的办法。目前常用的检查方法是分别对化学过滤器的进风口和出风口进行化学气氛的采样，然后对采样的样本拿到实验室进行分析。如果分析的结果显示进风口和出风口的化学气氛的浓度基本上没变化了，就说明该达到了化学过滤器的使用寿命。但是，这种检测方式不能进行在线检测，并且检测成本高、周期长并且需要使用昂贵的实验分析仪器。本发明的目的就在于针对现有技术中的不足，提供一种检测成本低、实时性好、使用便捷、操作简单的化学过滤器寿命检测设备以及使用该设备的检测方法。
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公开(公告)号：CN117724432B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410173232.0
申请日：2024-02-07
申请人： 中国电子工程设计院股份有限公司 , 世源科技工程有限公司
IPC分类号： G05B19/418
摘要： 本发明公开了一种半导体自动物料搬运系统布局的生成方法及装置，生成方法具体包括如下步骤：对获取的用于半导体生产的设备布局信息进行解析，给出对应的物料搬运信息；分析设备布局信息及物料搬运信息，生成自动物料搬运系统的初始布局，其中，自动物料搬运系统包括轨道及存储设施；结合设备布局信息，通过物流仿真模型，对初始布局进行物流仿真验证；根据物流仿真验证的结果，优化初始布局，实现针对半导体的自动物料搬运系统布局。本发明给出的方案能快速、高效的给出适用半导体生产的自动物料搬运系统的布局，并且结合物流仿真模型验证并优化布局方案，提升半导体生产中物流运转效率，减少物流方面的投资成本。
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公开(公告)号：CN116702301B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310974734.9
申请日：2023-08-04
申请人： 中国电子工程设计院有限公司 , 世源科技工程有限公司
摘要： 本发明公开了一种集成电路产线多级仿真布局的生成方法及装置，方法包括如下步骤：获取集成电路产线布局的需求设备，形成待布局设备清单；按照工艺区域、生产单元和设备的模块层级，对待布局设备清单中的待布局设备进行标签化处理，获得包含模块层级信息的集成电路产线布局数据清单；基于集成电路产线布局数据清单，结合多级布局策略，完成集成电路产线多级仿真布局。本发明结合智能多模块层级的方法，针对超大规模的集成电路生产线，实现快速、精准的产线布局。
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公开(公告)号：CN115371686B
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211315053.3
申请日：2022-10-26
申请人： 世源科技工程有限公司
摘要： 本申请公开了一种机器人即时定位的方法及相关装置，相关技术中巡检机器人存在即时定位、地图构建以及路径规划的准确性以及可靠性较低的问题。通过向机器人发送启动指令，指示机器人获取初始环境信息并根据初始环境信息中的初始环境特征信息进行定位和建图，并通过图像采集设备周期获取包含机器人的第一环境图像，基于第一环境图像确定机器人的第一位置以及预设边界线组成的预设区域，通过判断机器人的位置是否位于预设边界线组成的预设区域外，若确定机器人的位置位于预设边界线组成的预设区域外，则向机器人发送路线修正指令，使得机器人停止移动并重新进行定位和建图，实现不断修正规划的路线。
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公开(公告)号：CN114254961A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202210186697.0
申请日：2022-02-28
申请人： 世源科技工程有限公司
摘要： 本发明实施例提供了一种环境状态变化影响关系确定方法、装置、设备及存储介质，包括：根据各目标位置对应的运动轨迹和运动轨迹对应的环境参数，确定运动轨迹上的位置的环境变化影响关系和重点环境位置的范围；其中，通过下列过程确定各运动轨迹和对应的环境参数：将目标位置作为参考位置，移动到参考位置，并确定检测方位；将自身调整至检测方位后，进行环境检测得到各检测方位的环境参数；根据预设选择规则选择环境参数；若不满足结束条件，则基于选择的环境参数对应的检测方位更新参考位置，并返回移动到参考位置的步骤；若满足结束条件，则将在各参考位置进行移动的轨迹作为运动轨迹，以及进行环境检测得到的环境参数作为对应的环境参数。
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公开(公告)号：CN110556317A
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201910743777.X
申请日：2019-08-13
申请人： 世源科技工程有限公司 , 中国电子工程设计院有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明公开一种半导体加工系统，以提高半导体生产厂房中的洁净空间的利用率。该半导体加工系统，包括：多个半导体加工组，相邻的两个半导体加工组之间设置有操作通道，半导体加工组包括搬运装置，搬运装置运动轨道，以及两排工艺设备，工艺设备包括装载接口，其中：针对每个半导体加工组，两排工艺设备相对交错设置，且装载接口的朝向相反；搬运装置运动轨道设置于工艺设备上方，搬运装置可沿搬运装置运动轨道运动，并将搬运的电子器件在制品输送到对应的装载接口。
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公开(公告)号：CN110469159A
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201910739471.7
申请日：2019-08-12
申请人： 世源科技工程有限公司 , 中国电子工程设计院有限公司
摘要： 本发明提供了一种洁净厂房，该洁净厂房包括并排排列且间隔设置的至少两个洁净室，每个洁净室包括依次层叠的回风层、中间层、静压箱，以及用于连通回风层与静压箱的回风夹道。中间层具有带孔楼板与回风层连通，其上部则通过安装在吊顶上的风机过滤单元与静压箱连通；静压箱用于给中间层输送洁净空气保证中间层形成符合要求的洁净区，回风层用于回收洁净区内的空气。洁净厂房还包括设置在任意相邻的两个洁净室之间且用于容纳净化空调机组的共用支持室，净化空调机组用于将室外空气处理为洁净空气，并将洁净空气送至静压箱。通过设置至少两个并排排列且间隔设置的洁净室，以减少洁净厂房的占地面积，扩大单个洁净厂房的洁净区面积。
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