公开(公告)号：CN108181350B

公开(公告)日：2020-07-03

申请号：CN201711474771.4

申请日：2017-12-29

Applicant: 中国矿业大学

Inventor： 马洪宇 ,  刘正杰 ,  丁恩杰 ,  胡延军 ,  王刚

IPC: G01N27/00

Abstract: 一种MEMS甲烷传感器的电阻匹配调整方法，包括MEMS甲烷硅传感元件电阻特性测试步骤、MEMS甲烷硅传感元件电阻的比较步骤、MEMS甲烷硅传感元件的匹配以及阻值调整匹配步骤，适用于MEMS甲烷传感器在使用过程中构成惠斯通电桥时电阻不同的阻值调整。通过对用作敏感元件或补偿元件的MEMS甲烷硅传感元件施加电压或者通以电流进行阻值调整，利用计算误差以及计算机控制实现对MEMS甲烷传感器电阻的匹配。该方法具有使用设备简单、容易操作、调整速度快、电阻匹配程度高的优点，可有效提升MEMS甲烷传感器检测性能。

公开(公告)号：CN104316578B

公开(公告)日：2018-03-02

申请号：CN201410606852.5

申请日：2014-10-31

Applicant: 中国矿业大学

Inventor： 马洪宇 ,  丁恩杰 ,  刘正杰 ,  刘晓文 ,  赵小虎

IPC: G01N27/18

CPC classification number: G01N27/18

Abstract: 一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法，适用于煤矿检测使用。特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器及其甲烷检测方法。该传感器以普通单晶硅作为加热元件的材料，加热元件同时作为敏感元件，且不需催化剂载体及催化剂材料；加工工艺与CMOS工艺兼容，加热元件的释放采用双向同时刻蚀的湿法硅刻蚀技术。该传感器具有成本低、灵敏度高、功耗低、灵敏度高、测量不受氧气浓度影响、不受积碳、中毒影响的优点。

公开(公告)号：CN108181350A

公开(公告)日：2018-06-19

申请号：CN201711474771.4

申请日：2017-12-29

Applicant: 中国矿业大学

Inventor： 马洪宇 ,  刘正杰 ,  丁恩杰 ,  胡延军 ,  王刚

IPC: G01N27/00

Abstract: 一种MEMS甲烷传感器的电阻匹配调整方法，包括MEMS甲烷硅传感元件电阻特性测试步骤、MEMS甲烷硅传感元件电阻的比较步骤、MEMS甲烷硅传感元件的匹配以及阻值调整匹配步骤，适用于MEMS甲烷传感器在使用过程中构成惠斯通电桥时电阻不同的阻值调整。通过对用作敏感元件或补偿元件的MEMS甲烷硅传感元件施加电压或者通以电流进行阻值调整，利用计算误差以及计算机控制实现对MEMS甲烷传感器电阻的匹配。该方法具有使用设备简单、容易操作、调整速度快、电阻匹配程度高的优点，可有效提升MEMS甲烷传感器检测性能。