一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法

    公开(公告)号:CN104316578A

    公开(公告)日:2015-01-28

    申请号:CN201410606852.5

    申请日:2014-10-31

    IPC分类号: G01N27/18

    CPC分类号: G01N27/18

    摘要: 一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法,适用于煤矿检测使用。特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器及其甲烷检测方法。该传感器以普通单晶硅作为加热元件的材料,加热元件同时作为敏感元件,且不需催化剂载体及催化剂材料;加工工艺与CMOS工艺兼容,加热元件的释放采用双向同时刻蚀的湿法硅刻蚀技术。该传感器具有成本低、灵敏度高、功耗低、灵敏度高、测量不受氧气浓度影响、不受积碳、中毒影响的优点。

    一种基于单个加热元件的甲烷传感器及制备方法和应用

    公开(公告)号:CN104316574A

    公开(公告)日:2015-01-28

    申请号:CN201410605995.4

    申请日:2014-10-31

    IPC分类号: G01N27/14

    CPC分类号: G01N27/16

    摘要: 一种基于单个加热元件的甲烷传感器及制备方法和应用,适用于工矿企业中使用。该甲烷传感器包括加热元件、测量元件、环境温度测量元件。该甲烷传感器的加热元件的加热器和测量元件的测量构件通过支撑臂悬置于空气中,加热元件单独加热到高温工作状态,测量元件单独用于检测瓦斯气体浓度,环境温度测量元件检测片上温度用于温度补偿。该甲烷传感器加工工艺与CMOS工艺兼容。该传感器的优点为:结构简单、功耗低、灵敏度高、抗干扰性好、成本低。

    一种基于单个加热元件的甲烷传感器及制备方法和应用

    公开(公告)号:CN104316574B

    公开(公告)日:2017-06-16

    申请号:CN201410605995.4

    申请日:2014-10-31

    IPC分类号: G01N27/14

    CPC分类号: G01N27/16

    摘要: 一种基于单个加热元件的甲烷传感器及制备方法和应用,适用于工矿企业中使用。该甲烷传感器包括加热元件、测量元件、环境温度测量元件。该甲烷传感器的加热元件的加热器和测量元件的测量构件通过支撑臂悬置于空气中,加热元件单独加热到高温工作状态,测量元件单独用于检测瓦斯气体浓度,环境温度测量元件检测片上温度用于温度补偿。该甲烷传感器加工工艺与CMOS工艺兼容。该传感器的优点为:结构简单、功耗低、灵敏度高、抗干扰性好、成本低。

    一种基于倒装焊封装的甲烷传感器及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN104316577B

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201410607349.1

    申请日:2014-10-31

    IPC分类号: G01N27/14 G01K7/16

    CPC分类号: G01K7/16 G01N27/14

    摘要: 一种基于倒装焊封装的微型甲烷传感器及其制备方法,属于MEMS甲烷传感器及其制备方法。该甲烷传感器首先采用MEMS技术加工制备单片高温加热器与单片甲烷气体检测器与环境温度检测器,然后通过倒装焊封装技术将单片高温加热器与单片甲烷气体检测器形成一个整体的叠层结构形式的微型甲烷传感器。其中的单片高温加热器独立加热至500℃以上高温;单片甲烷气体检测器独立检测因甲烷出现及浓度变化造成的温度下降,其测量电路与单片高温加热器的电路相互独立,互不影响。该传感器的制备工艺与CMOS工艺兼容,该甲烷传感器功耗低、灵敏度高、使用寿命长。

    低功耗无线瓦斯检测装置

    公开(公告)号:CN101532986B

    公开(公告)日:2013-08-21

    申请号:CN200910030457.6

    申请日:2009-04-10

    IPC分类号: G01N27/414

    摘要: 一种低功耗无线瓦斯检测装置,包括电源电路,瓦斯催化元件,与瓦斯催化元件相连接的检测电路,与检测电路相连接的微处理器,所述微处理器的输出端分别连接有显示瓦斯检测结果的显示电路、无线通信电路和电压控制电路,电压控制电路的输出端与检测电路相连接,以控制瓦斯催化元件的工作电压;所述的电源电路由提供3.6V电压的三节镍氢电池、电池保护芯片、稳压电源芯片及电容组成。采用无线通信技术、恒温瓦斯检测技术及瓦斯催化元件工作电压的智能控制,使瓦斯检测具有灵活、快速、抗干扰性强、稳定可靠、低功耗、体积小的优点,成本低,使用方便。

    一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法

    公开(公告)号:CN104316578B

    公开(公告)日:2018-03-02

    申请号:CN201410606852.5

    申请日:2014-10-31

    IPC分类号: G01N27/18

    CPC分类号: G01N27/18

    摘要: 一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法,适用于煤矿检测使用。特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器及其甲烷检测方法。该传感器以普通单晶硅作为加热元件的材料,加热元件同时作为敏感元件,且不需催化剂载体及催化剂材料;加工工艺与CMOS工艺兼容,加热元件的释放采用双向同时刻蚀的湿法硅刻蚀技术。该传感器具有成本低、灵敏度高、功耗低、灵敏度高、测量不受氧气浓度影响、不受积碳、中毒影响的优点。

    一种煤层瓦斯压力和煤壁应力的检测装置及方法

    公开(公告)号:CN101446193B

    公开(公告)日:2012-10-24

    申请号:CN200810244152.0

    申请日:2008-12-12

    摘要: 一种煤层瓦斯压力和煤壁应力检测装置及方法,其检测装置是由穿过岩层置入煤壁钻孔内的压力检测器、应力检测器和设在煤壁钻孔外部的模数转换器、单片机和显示器构成,其检测方法是在煤层上钻孔,将压力检测器和应力检测器送入钻孔内部,两种检测器分别监测煤层内部的瓦斯压力和煤壁应力,压力检测器将检测信息转化成标准电流信号,应力检测器将检测信息转化成电压信号并进行放大,电流和电压信号通过导线传送到钻孔外,经模数转换器转换为数字信号;再经单片机程序运算和处理后,即可在显示屏上显示出煤层瓦斯压力和煤壁应力的数值,不仅可以大幅缩短煤层内瓦斯压力测量时间,而且降低了封孔的技术要求,节约成本。

    低功耗无线瓦斯检测装置

    公开(公告)号:CN101532986A

    公开(公告)日:2009-09-16

    申请号:CN200910030457.6

    申请日:2009-04-10

    IPC分类号: G01N27/414

    摘要: 一种低功耗无线瓦斯检测装置,包括电源电路,瓦斯催化元件,与瓦斯催化元件相连接的检测电路,与检测电路相连接的微处理器,所述微处理器的输出端分别连接有显示瓦斯检测结果的显示电路、无线通信电路和电压控制电路,电压控制电路的输出端与检测电路相连接,以控制瓦斯催化元件的工作电压;所述的电源电路由提供3.6V电压的三节镍氢电池、电池保护芯片、稳压电源芯片及电容组成。采用无线通信技术、恒温瓦斯检测技术及瓦斯催化元件工作电压的智能控制,使瓦斯检测具有灵活、快速、抗干扰性强、稳定可靠、低功耗、体积小的优点,成本低,使用方便。

    一种次声波检测装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101403635A

    公开(公告)日:2009-04-08

    申请号:CN200810194880.5

    申请日:2008-10-22

    IPC分类号: G01H11/06

    摘要: 一种次声波检测装置,由分别与电池连接的次声传感器、低通滤波器、模数转换器、单片机和液晶屏构成,其中:次声传感器的输出端与低通滤波器的输入端连接,低通滤波器输出端与模数转换器的输入端连接,模数转换器的输出端与单片机的输入端连接,单片机的输出端连接液晶屏。利用调幅原理测量换能用电容传声器的慢变化,将次声传感器中的声顺元件作为电容电桥的一臂,输入端接一等幅高频电压,当次声波作用于膜片上时,膜片随着声压的变化而产生位移,引起平板电容器电容量的变化,从而改变了电容电桥的平衡,输出端即可得到受电容变化调制的调幅波,调幅波经电压放大后送入调制解调器,就可得到低频电信号,实现对次声波的检测。