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公开(公告)号：CN100537886C
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200610027140.3
申请日：2006-05-31
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海增尔适科技发展有限公司
摘要： 一种织物引导线跟踪器，由照明系统、光电探测系统和信号处理系统组成，所述的照明系统与光电探测系统同光轴，在同一光轴上依次是照明系统的红外光源、准直镜和矩形光阑，光电探测系统的滤光片和光电探测器阵列，所述的信号处理系统由信号调理电路、模数转换电路、单片机和信号输出电路串连而成，所述的光电探测器阵列的输出端接信号调理电路的输入端，该信号输出电路的输出端与PLC控制系统相连，所述的矩形光阑和滤光片之间供具有待测布缝的布匹放置。本发明具有探测精度高、探测范围大、抗干扰能力强、响应速度快和操作简单的特点。
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公开(公告)号：CN1851106A
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN200610027140.3
申请日：2006-05-31
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海增尔适科技发展有限公司
摘要： 一种织物引导线跟踪器，由照明系统、光电探测系统和信号处理系统组成，所述的照明系统与光电探测系统同光轴，在同一光轴上依次是照明系统的红外光源、准直镜和矩形光阑，光电探测系统的滤光片和光电探测器阵列，所述的信号处理系统由信号调理电路、模数转换电路、单片机和信号输出电路串连而成，所述的光电探测器阵列的输出端接信号调理电路的输入端，该信号输出电路的输出端与PLC控制系统相连，所述的矩形光阑和滤光片之间供具有待测布缝的布匹放置。本发明具有探测精度高、探测范围大、抗干扰能力强、响应速度快和操作简单的特点。
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公开(公告)号：CN200961214Y
公开(公告)日：2007-10-17
申请号：CN200620042295.X
申请日：2006-05-31
申请人： 上海增尔适科技发展有限公司 , 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种光电布缝探测器，由照明系统、光电探测系统和信号处理系统组成，所述的照明系统与光电探测系统同光轴，在同一光轴上依次是照明系统的红外光源、准直镜和矩形光阑，光电探测系统的滤光片和光电探测器阵列，该光电探测器阵列的输出端接信号处理系统的信号调理电路，经模数转换电路、单片机至信号输出电路，该信号输出电路的输出端与PLC控制系统相连，所述的矩形光阑和滤光片之间供具有待测布缝的布匹放置。本实用新型具有探测精度高、探测范围大、抗干扰能力强、响应速度快和操作简单的特点。
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公开(公告)号：CN103149809A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201310096136.2
申请日：2013-03-22
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种光刻机设备用离轴照明装置，其特点在于该装置包括照明单元、衍射光学元件单元、变焦准直镜组、四分之一波片、负轴锥镜、45°旋光片和正轴锥镜；所述的照明单元由准分子激光器和扩束准直镜组组成。本发明对光刻机可实现双环照明，双二极照明，双四极照明。
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公开(公告)号：CN103149809B
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201310096136.2
申请日：2013-03-22
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种光刻机设备用离轴照明装置，其特点在于该装置包括照明单元、衍射光学元件单元、变焦准直镜组、四分之一波片、负轴锥镜、45°旋光片和正轴锥镜；所述的照明单元由准分子激光器和扩束准直镜组组成。本发明对光刻机可实现双环照明，双二极照明，双四极照明。
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公开(公告)号：CN103309175B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201310227449.7
申请日：2013-06-07
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法，该装置的构成包括平行光光源、光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元，上述部件的位置关系如下：沿平行光光源发射的平行光束的前进方向依次是同光轴的光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元,所述的对准台供待对准的级联微透镜阵列放置，所述的对准台具有垂直于所述的光轴平移的机构。本发明容易实现，不仅可以用于级联微球面透镜的对准，也可以用于级联微柱面透镜的对准。
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