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公开(公告)号：CN104111144A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201410345441.5
申请日：2014-07-18
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 江苏申达净化设备有限公司
IPC分类号： G01M3/02
摘要： 一种高效空气过滤器扫描检漏装置及检漏方法，该装置包括风管系统、气流转换装置、检测台、二维扫描机构、检测系统和控制系统。本发明的特点是能准确快速地定位漏点，并实时地以三维图形显示漏点分布，且符合标准要求。
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公开(公告)号：CN105080241B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201510279646.2
申请日：2015-05-28
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 江苏申达净化设备有限公司
摘要： 一种高效过滤器多探头检漏装置，包括上游采样探头、下游采样探头组、粒子计数器组、粒子计数器同步采集卡和工业控制计算机。该装置工作过程中，下游采样探头组由二维扫描机构驱动匀速在被测过滤器下游扫描，粒子计数器同步采集卡按预先设定的采样间隔和采样次数实时地将所有粒子计数器采集的粒子计数上传到工业控制计算机。工业控制计算机对数据实时处理，得出被测过滤器各点的透过率，进而判断被测高效过滤器是否存在漏点以及漏点的具体坐标。该装置能够快速有效地对被测过滤器进行扫描检漏，为高效过滤器的批量在线检测提供基础保障。
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公开(公告)号：CN105080241A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510279646.2
申请日：2015-05-28
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 江苏申达净化设备有限公司
摘要： 一种高效过滤器多探头检漏装置，包括上游采样探头、下游采样探头组、粒子计数器组、粒子计数器同步采集卡和工业控制计算机。该装置工作过程中，下游采样探头组由二维扫描机构驱动匀速在被测过滤器下游扫描，粒子计数器同步采集卡按预先设定的采样间隔和采样次数实时地将所有粒子计数器采集的粒子计数上传到工业控制计算机。工业控制计算机对数据实时处理，得出被测过滤器各点的透过率，进而判断被测高效过滤器是否存在漏点以及漏点的具体坐标。该装置能够快速有效地对被测过滤器进行扫描检漏，为高效过滤器的批量在线检测提供基础保障。
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公开(公告)号：CN104111144B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201410345441.5
申请日：2014-07-18
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 江苏申达净化设备有限公司
IPC分类号： G01M3/02
摘要： 一种高效空气过滤器扫描检漏装置及检漏方法，该装置包括风管系统、气流转换装置、检测台、二维扫描机构、检测系统和控制系统。本发明的特点是能准确快速地定位漏点，并实时地以三维图形显示漏点分布，且符合标准要求。
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公开(公告)号：CN118605017A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410603875.4
申请日：2024-05-15
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种基于遗传算法的随机相位板的设计方法，适用于光刻照明系统能量匀化单元，该光刻照明系统能量匀化单元至少包括沿光路依次放置的第一排微透镜阵列、第二排微透镜阵列和聚光镜组，其特点是：在基于双排微透镜阵列进行匀光的能量匀化单元中加入采用遗传算法设计的随机相位板。激光经过扩束和微透镜阵列，获得阵列子光束，子光束经过聚光镜组在后焦面上叠加获得匀化光场，激光的相干性对应匀化光场的干涉效果。根据激光的相干性以及能量匀化单元的结构参数来设计随机相位板，随机相位板给每个子光束增加一个相位，从而改变子光束在后焦面部分相干叠加时的角谱分布，达到消除干涉图案，提高光场均匀性的效果。
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公开(公告)号：CN117872582A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202410109732.8
申请日：2024-01-26
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 本发明公开了一种航天发动机内窥镜的嵌套式冷却装置，涉及高温冷却领域。该装置主要由内层保护套筒，气冷保护套筒，水冷保护套筒，进水接头，出水接头，进气接头，法兰盘，外层保护罩组成。通过使用液冷、气冷膜冷却双冷却系统的方式对内窥镜进行降温，整体结构使用镍合金材料，喷涂氧化锆涂层。能够实现外界环境1800℃高温条件下，内窥镜处于低于250℃的环境下工作。使用嵌套结构，可实现一个冷却装置适配多个不同需求的内窥镜测量要求。
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公开(公告)号：CN117088328A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202311090280.5
申请日：2023-08-28
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 本发明公开了一种用于光刻机照明系统的二维静电式MEMS微镜结构，包括镜面、单悬臂、第一电极、第二电极和锚。镜面通过单悬臂固定在锚上，第一电极和第二电极对称地固定排布于镜面下方，镜面与电极间的板间气隙提供充足的自由转动空间。MEMS微镜的旋转由静电驱动，驱动时微镜表面接地，两个电极上灵活配置驱动电压以实现三种工作模式的切换。通过单悬臂结构，只需两个电极即能实现二维旋转，极大地简化了驱动电路，同时省去了外框结构，减少了结构的尺寸和质量，为光刻机照明系统中微反射镜阵列的设计制造提供可能。
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公开(公告)号：CN116973936A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310874965.2
申请日：2023-07-17
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种具有稀疏孔径透镜的激光雷达光学系统，包括发射模块、分光元件、扫描模块和接收模块；发射模块发出的激光到达扫描模块后，随着扫描模块角度改变，反射出射角度改变；扫描模块由扫描振镜及稀疏孔径透镜组成，从扫描振镜表面出射的探测光经稀疏孔径透镜以更大偏转角辐照在物体表面，同时更多从物体表面漫反射出的激光经稀疏孔径透镜会聚至扫描振镜表面，最后到达接收模块。该增加了稀疏孔径透镜的扫描振镜较之前拥有更大的系统孔径，因此在空间上保持整个系统的视场角不变时，可仅由单个扫描振镜实现所需的系统孔径角，同时也可以减少单个振镜的扫描行程，提高扫描模块的结构稳定性，增加车规测试时的可靠性，降低成本。
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公开(公告)号：CN111947892B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202010689303.4
申请日：2020-07-17
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种深紫外退偏器检测装置及检测方法。高端光刻机工作波长位于深紫外波段，可选用光学材料非常稀少，许多其他波段常用的偏振器件难以加工，这给退偏器的性能检测带来了困难。本装置中，单色光源发出的光依次通过布儒斯特起偏镜、待测退偏器和布儒斯特检偏系统。布儒斯特检偏系统包含布儒斯特检偏镜和探测器，由探测器记录出射强度。起偏和检偏镜的表面为平面，光以布儒斯特角入射，获得线偏反射光。由记录的出射光强度的最大值和最小值，可得到退偏光的偏振度，从而反映了退偏器的退偏性能。本发明提供的一种深紫外退偏器检测装置及检测方法具有结构稳定、光路简洁、元部件易生产制造等特点，满足了深紫外退偏器的检测需要。
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公开(公告)号：CN113866141A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202111060138.7
申请日：2021-09-10
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种基于激光诱导荧光技术的水下重金属原位检测装置，包括具有防水腔体、光学系统、重金属膜和信号处理与控制单元；所述的防水腔体为一密封结构，上方设置有防水接口，用于供光纤与信号线穿过，下方设置有通光窗口；所述的重金属膜贴附在该通光窗口的外表面；所述的光学系统置于所述的防水腔体内，包括激光二极管、激发光准直聚焦镜组、激发光光陷阱、荧光准直镜、滤光片、荧光聚焦镜和光纤。本发明通过将激光诱导荧光技术与重金属膜结合，避免了取样运输再检测的中间过程，实现了水下重金属的原位检测，提高了荧光信号的信噪比，实现了地下水重金属的高灵敏度检测。
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