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公开(公告)号：CN104111144A
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201410345441.5
申请日：2014-07-18
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 江苏申达净化设备有限公司
IPC分类号： G01M3/02
摘要： 一种高效空气过滤器扫描检漏装置及检漏方法，该装置包括风管系统、气流转换装置、检测台、二维扫描机构、检测系统和控制系统。本发明的特点是能准确快速地定位漏点，并实时地以三维图形显示漏点分布，且符合标准要求。
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公开(公告)号：CN104111144B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201410345441.5
申请日：2014-07-18
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 江苏申达净化设备有限公司
IPC分类号： G01M3/02
摘要： 一种高效空气过滤器扫描检漏装置及检漏方法，该装置包括风管系统、气流转换装置、检测台、二维扫描机构、检测系统和控制系统。本发明的特点是能准确快速地定位漏点，并实时地以三维图形显示漏点分布，且符合标准要求。
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公开(公告)号：CN105080241B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201510279646.2
申请日：2015-05-28
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 江苏申达净化设备有限公司
摘要： 一种高效过滤器多探头检漏装置，包括上游采样探头、下游采样探头组、粒子计数器组、粒子计数器同步采集卡和工业控制计算机。该装置工作过程中，下游采样探头组由二维扫描机构驱动匀速在被测过滤器下游扫描，粒子计数器同步采集卡按预先设定的采样间隔和采样次数实时地将所有粒子计数器采集的粒子计数上传到工业控制计算机。工业控制计算机对数据实时处理，得出被测过滤器各点的透过率，进而判断被测高效过滤器是否存在漏点以及漏点的具体坐标。该装置能够快速有效地对被测过滤器进行扫描检漏，为高效过滤器的批量在线检测提供基础保障。
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公开(公告)号：CN105080241A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510279646.2
申请日：2015-05-28
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 江苏申达净化设备有限公司
摘要： 一种高效过滤器多探头检漏装置，包括上游采样探头、下游采样探头组、粒子计数器组、粒子计数器同步采集卡和工业控制计算机。该装置工作过程中，下游采样探头组由二维扫描机构驱动匀速在被测过滤器下游扫描，粒子计数器同步采集卡按预先设定的采样间隔和采样次数实时地将所有粒子计数器采集的粒子计数上传到工业控制计算机。工业控制计算机对数据实时处理，得出被测过滤器各点的透过率，进而判断被测高效过滤器是否存在漏点以及漏点的具体坐标。该装置能够快速有效地对被测过滤器进行扫描检漏，为高效过滤器的批量在线检测提供基础保障。
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公开(公告)号：CN101858847A
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN201010177954.1
申请日：2010-05-20
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种双通道实时生物气溶胶监测方法与装置，其特点在于该方法包括下列步骤：①大气气溶胶粒子富集；②双通道紫外光诱导荧光检测；③数据处理；④对粒子富集板进行表面清洁与再生；⑤重复进行新一轮循环检测。装置包括气溶胶粒子富集单元、双通道紫外光诱导荧光检测单元、粒子富集板再生机构、旋转平台与控制系统。本发明可实时测量环境大气中细菌、孢子、病毒等生物粒子的浓度及其变化，实现对大气中生物气溶胶含量的预警功能。
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公开(公告)号：CN108279553A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810090765.7
申请日：2018-01-30
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/7085
摘要： 本发明公开了一种光刻机照明控制测试系统及方法，控制测试系统包括功能控制模块、性能测试与处理模块、报告生成模块和安全监测模块；测试方法包括对光场性能和光瞳性能进行测试及处理，并将处理结果传输给控制中心模块；根据性能测试与处理结果，生成测试报告，并传输给控制中心模块；对气压信号和互锁信号进行监测，并传输给控制中心模块；接收控制中心模块的指令并执行等步骤。本发明能够快速高效地完成照明系统性能指标测试，并同时自动化给出测试报告，极大提高了集成装调过程的迭代速度。
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公开(公告)号：CN104459966A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410620550.3
申请日：2014-11-06
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC分类号： G02B21/02 , G02B1/00 , G02B13/0015
摘要： 一种用于可见-紫外检测显微镜的成像光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、…、直到第十八透镜，其中第一透镜至第四透镜组成第一镜组G1，其组合焦距为200mm，第五透镜至第十八透镜组成第二镜组G2，其组合焦距为4mm，物面到像面的放大倍率为1/50倍，物方视场半径为10mm，实现像方数值孔径为0.85。本发明全部采用高透过率的i线玻璃，成像质量接近完善成像，并且结构紧凑，完全可满足用于可见-紫外检测显微镜的技术要求。
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公开(公告)号：CN101539572B
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN200910044926.X
申请日：2009-01-06
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01N33/558 , G01N21/64 , G01N33/53 , G01N35/00
摘要： 一种上转换磷光生物检测仪及对样品试纸条的检测方法，上转换磷光生物检测仪由光学系统、光电探测器、控制系统、驱动模块、步进电机和供放置试纸条的扫描平台组成，所述的控制系统包括微处理器、光电探测器接口、信号采集电路、驱动模块接口、液晶显示模块、矩阵键盘、射频识别模块、数字/模拟转换器、储存器、安全数码卡和微型打印机，所述的试纸条由安装在试纸条外壳内的试纸和射频识别卡构成，所述的试纸含有一个样品垫、一个检测带、一个质控带，所述的射频识别卡中的信息包括试纸ID、检测物、判定值、参数A和参数B。本发明具有设计简单、调试方便的控制系统，能快速、准确地进行生物免疫检测。
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公开(公告)号：CN101008649B
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200710036880.8
申请日：2007-01-26
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种基于相关检测的多探头光纤倏逝波生物检测仪，包括光学系统、光电探测器、样品流路、数据采集与信号处理系统、一维扫描平台、步进电机和多根光纤，其特点是还包括：相关检测电路，控制样品池温度的温度控制系统，所述的数据采集与信号处理系统由嵌入式微处理器芯片及其外围控制部分。本发明进一步降低了系统噪声，提高了系统的检测效率和灵敏度，仪器具有小型一体化的特点。
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公开(公告)号：CN108279553B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201810090765.7
申请日：2018-01-30
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种光刻机照明控制测试系统及方法，控制测试系统包括功能控制模块、性能测试与处理模块、报告生成模块和安全监测模块；测试方法包括对光场性能和光瞳性能进行测试及处理，并将处理结果传输给控制中心模块；根据性能测试与处理结果，生成测试报告，并传输给控制中心模块；对气压信号和互锁信号进行监测，并传输给控制中心模块；接收控制中心模块的指令并执行等步骤。本发明能够快速高效地完成照明系统性能指标测试，并同时自动化给出测试报告，极大提高了集成装调过程的迭代速度。
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