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实用新型
一种量程可达20万m/s2的微机械加速度传感器失效

公开(公告)号：CN2503487Y

公开(公告)日：2002-07-31

申请号：CN01238754.1

申请日：2001-04-06

申请人： 中国科学院上海冶金研究所

发明人： 黄全平 , 陆德仁

IPC分类号： G01P15/09

摘要： 本实用新型涉及一种量程可达20万m/s2的微机械加速度传感器,属于微电子机械系统领域,其特征在于它是由芯片和厚度比它稍厚的矩形框构成,芯片封装在框架中,并用玻璃盖板上下与其键合而成。芯片采用薄板－岛结构,主要由锚区、支撑质量块的悬空薄板、质量块、敏感电阻构成的。起弹性梁作用的薄板为单晶硅薄层,其厚度与量程有关;敏感电阻设计成单一直线状,长度可接近薄板宽。