一种集成超导器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN113257987B

    公开(公告)日:2022-12-23

    申请号:CN202110525255.X

    申请日:2021-05-08

    Abstract: 本发明提供一种集成超导器件及其制备方法,该集成超导器件包括衬底及位于衬底上的超导纳米线单光子探测器与超导单磁通量子电路,其中,超导纳米线单光子探测器包括超导曲折纳米线;超导单磁通量子电路包括电感层、约瑟夫森结及电阻层,电感层及电阻层均与约瑟夫森结电连接,且电感层与超导曲折纳米线在水平面上的投影部分重叠以形成互感,用于传递光子产生的脉冲信号。本发明将两种超导器件集成到同一个芯片上,无需进行跨芯片的信号传输,从而消减了噪声和系统复杂性,同时也为使用两种器件的片上系统(SOC)的构建提供了方便。

    一种集成超导器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN113257987A

    公开(公告)日:2021-08-13

    申请号:CN202110525255.X

    申请日:2021-05-08

    Abstract: 本发明提供一种集成超导器件及其制备方法,该集成超导器件包括衬底及位于衬底上的超导纳米线单光子探测器与超导单磁通量子电路,其中,超导纳米线单光子探测器包括超导曲折纳米线;超导单磁通量子电路包括电感层、约瑟夫森结及电阻层,电感层及电阻层均与约瑟夫森结电连接,且电感层与超导曲折纳米线在水平面上的投影部分重叠以形成互感,用于传递光子产生的脉冲信号。本发明将两种超导器件集成到同一个芯片上,无需进行跨芯片的信号传输,从而消减了噪声和系统复杂性,同时也为使用两种器件的片上系统(SOC)的构建提供了方便。

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