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公开(公告)号：CN119756598A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411906128.4
申请日：2024-12-23
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本申请涉及一种星载大面阵高帧频短波红外探测器数据采集系统，采用1024*512的大面阵短波红外探测器，并针对1024*512大面阵探测器的8路输出，设计专用采集电路，先是通过模拟前端电路对探测器输出的8路信号进行调理，调理后经3个模数采样芯片进行8路信号的同步采样，以同步输入至FPGA电路，使FPGA电路快速生成帧图像。即，通过选用3只支持3通道采样的模数采样芯片、FPGA电路作为主控芯片完成1024*512大面阵探测器的8通道同时读出，在提升象元数、增大帧频的同时，减小了星载超光谱成像仪数据传输链路的体积、重量和功耗，有效地保证了图像传输的质量。
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公开(公告)号：CN111537455B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202010380795.9
申请日：2020-05-08
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明涉及基于空间外差干涉光谱测量技术的大气CO2卫星观测反演方法，与现有技术相比解决了大气CO2卫星观测无法适用于无连续谱的窄带光谱的缺陷。本发明包括以下步骤：卫星观测光谱数据的获取；光谱数据的信息挖掘；观测向量的构建；模拟向量的计算；大气CO2卫星观测反演计算结果的获得。本发明通过挖掘窄带光谱内的信息，选择出用于大气CO2反演的信息谱以及用于背景扣除的参考谱替代连续谱，无需完整波长范围的卫星观测光谱，不仅具备现有技术的缓变背景扣除功能，解决窄带光谱在大气CO2卫星观测中的应用问题，而且受大气温度和湿度的影响小，有较高的稳定性。
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公开(公告)号：CN113588081B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202110856503.9
申请日：2021-07-28
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种宽幅成像与超光谱协同预警系统及方法，涉及遥感光电探测和预警技术领域，包括：一次成像系统、数字微镜阵列、以及第一准直系统、第二准直系统、第一反射镜、第二反射镜、宽幅成像滤光片、窄带滤光片、宽幅成像仪和超光谱干涉仪。本发明可实现宽幅成像普查与精细光谱同步探测，功能多、虚警率低；精细光谱识别目标空间分辨率可调，微控单元翻转方案操作简单，实现迅速调节；适应性强，对于辐射强度过低或者过强的被测目标，自适应调节相应微控单元的翻转时间，有效提升超光谱干涉仪和宽幅成像仪的动态范围。
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公开(公告)号：CN116190301A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310176388.X
申请日：2023-02-28
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: H01L21/683 , H01L21/66
Abstract: 本发明提供了一种晶圆缺陷检测装置的承片系统，其中：真空吸附气路分别经对应的气管接至承载台与调整台；承载台包括同轴组装的Z轴升降台、转台和固定吸附台；固定吸附台依靠真空吸附气路提供吸附力吸附固定待检测的晶圆，能够随转台绕中轴线同步回转，并可由Z轴升降台驱动与转台同步升降；调整台包括调整吸附台和XYZ三轴平台；调整吸附台能够依靠真空吸附气路提供吸附力相适配地吸附在被固定的晶圆外缘底部；XYZ三轴平台通过驱动调整吸附台运动带动晶圆位移。本发明集成真空吸附、高速旋转、Z向辅助调焦、晶圆自动对准等多种关键功能，能够满足晶圆缺陷检测过程中绝大部分承片需求。
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公开(公告)号：CN116046800A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211728412.8
申请日：2022-12-30
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明实施例提供一种晶圆检测装置、方法、计算机可读储存介质以及电子设备，属于光学检测技术领域。晶圆检测装置，包括测量组件、检测电路以及扫描台，测量组件包括照明单元以及反射测量单元，照明单元用于为晶圆探测区域提供照明聚焦光，反射测量单元用于接收晶圆表面的反射光，并将反射光划分为第一检测光以及第二检测光；检测电路用于根据测量组件的反射光检测晶圆表面缺陷以及膜厚，检测电路包括加法器以及除法器，加法器用于将第一检测光的模拟信号与第二检测光的模拟信号相加，除法器用于将第一检测光的模拟信号与第二检测光的模拟信号相除；扫描台用于放置晶圆。该晶圆检测装置能够快速且同时完成晶圆表面缺陷检测以及膜厚检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113588081A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110856503.9
申请日：2021-07-28
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种宽幅成像与超光谱协同预警系统及方法，涉及遥感光电探测和预警技术领域，包括：一次成像系统、数字微镜阵列、以及第一准直系统、第二准直系统、第一反射镜、第二反射镜、宽幅成像滤光片、窄带滤光片、宽幅成像仪和超光谱干涉仪。本发明可实现宽幅成像普查与精细光谱同步探测，功能多、虚警率低；精细光谱识别目标空间分辨率可调，微控单元翻转方案操作简单，实现迅速调节；适应性强，对于辐射强度过低或者过强的被测目标，自适应调节相应微控单元的翻转时间，有效提升超光谱干涉仪和宽幅成像仪的动态范围。
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公开(公告)号：CN109374550A
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201811366179.7
申请日：2018-11-16
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于透过率光谱的超分辨光谱仪光谱定标方法，利用无背景稳定均匀辐射源分别通过真空和有目标气体的吸收池，利用超分辨率光谱仪分别测量吸收光谱和真空背景光谱，二者之比获取实测透过率光谱；通过吸收池温度、气体压力和程长，结合Hitran数据库计算理论透过率光谱；采用高斯拟合获取透过率光谱精度定位的峰谷光谱点和对应波长（波数）值，通过最小二乘拟合得到光谱定标系数，对理论峰谷波长（波数）值不确定度、高斯拟合不确定度和最小二乘拟合不确定度进行合成得到光谱定标精度。采用本发明进行实际测量，得到了光谱定标系数和光谱定标不确定度。
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公开(公告)号：CN105300521A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510752532.5
申请日：2015-11-06
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种一维成像外差光谱仪视场光阑装调结构及视场检测方法，装调结构由柱面镜组件、工作波段滤光片、光谱维视场光阑、准直镜头、干涉仪组件、成像镜头及空间维视场光阑构成；装调结构及视场检测方法涉及的设备有星点板、监视波段滤光片、平行光管、活动分划板和高斯目镜构成；本发明采用监视波段下光谱维视场光阑的装调和视场检测，通过修切隔圈厚度工作波段下光谱维视场光阑在光轴方向上的定位，通过修正公式，获得光谱维视场大小。利用一维成像空间外差光谱仪成像特征，通过改变平行光管实像面处星点位置，使光谱仪成像在空间维视场光阑不同位置，通过理论计算得到空间维视场大小。
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公开(公告)号：CN113551787B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202110824775.0
申请日：2021-07-21
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: G01J11/00
Abstract: 本发明提供一种用于评估大气对主动遥感探测方式影响的模拟装置，其包括：模拟腔、湍流效应模拟系统、气溶胶效应模拟系统、检测装置及控制系统。模拟腔内设置有传输信道，传输信道的两端设置有光学窗口；湍流效应模拟系统包括加热器和制冷机，加热器和制冷机的加热输出端和制冷输出端分别设置在传输信道两侧；气溶胶效应模拟系统包括气溶胶发生器及衰减片，气溶胶发生器向模拟腔内输入气溶胶颗粒物，衰减片设置在模拟腔外并位于靠近激光发射端一侧的传输信道上；检测装置设置在模拟腔远离激光发射端一侧的光学窗口外侧。本发明可在米级模拟腔内模拟真实气溶胶和湍流分布，评估高能激光在大气中长距离传输后受大气调制形成的衰减和畸变影响。
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公开(公告)号：CN114878593A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210690874.9
申请日：2022-06-17
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种晶圆表面缺陷检测装置和方法，激光器的光源出射激光，通过光源调制组件的调制以后，聚焦到检测晶圆表面待测位置；聚焦光斑的散射光进入散射测量通道，经过散射调制组件调制以后汇聚到PMT探测器，进行散射能量探测；聚焦光斑的反射光进入反射测量通道，经过反射调制组件调制以后汇聚到四象限探测器；检测晶圆吸附于扫描运动机构上方，扫描运动机构与升降台上端连接；解决点散射能量法缺陷探测时离焦问题，增加反射功率测量通道；整套系统结构简单，光源和反射测量通道都复用到了缺陷探测和离焦测量中；缺陷探测和离焦测量系统共用一套光源系统，测量中，避免了缺陷探测光源和离焦测量系统光源相互干扰，保证二者测量的是同一位置。
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