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公开(公告)号：CN115239571A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202110443477.7
申请日：2021-04-23
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: G06T5/00 , G06V10/762
Abstract: 本发明提供了一种图像对比度增强方法、系统、设备及存储介质，图像对比度增强方法包括：对待处理图像进行迭代聚类，处理得到多个区块；针对每个区块：根据目标灰度范围，处理得到所有像元的有效灰度跨度值和最优灰度跨度值；根据有效灰度跨度值，构建灰度对比度增量重分配函数；根据灰度对比度增量重分配函数和最优灰度跨度值，对所有像元进行重映射；基于重映射后的像元的灰度响应值得到各个区块的融合灰度响应值。本发明基于待处理图像的灰度分布类型，先归类，再增强，最后融合，处理过程中的参数设置较简单，表征能力好；灰度重映射过程具有有效的理论支撑；且具有较好的适应性，最终得到的对比度增强图像较清晰。
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公开(公告)号：CN115222759A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202110418345.9
申请日：2021-04-19
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明提供了一种目标轮廓提取方法、系统、设备及存储介质，涉及图像处理技术领域，其中，目标轮廓提取方法包括：获取目标图像，处理得到感兴趣区域；在感兴趣区域内，处理得到像素的梯度及梯度的强度场和方向场；根据像素的强度场和方向场，提取得到多个起始点；根据起始点，处理得到多个轮廓点，并根据轮廓点得到目标图像的目标轮廓。本发明有效的避免了现有方法中在没有先验几何规则约束条件下难以取得良好轮廓检测结果的问题，同时考虑了梯度垂直方向上的三个斜对角像素，梯度正方向上的三个像素和梯度反方向的三个像素，使得最终提取出的图像轮廓更准确，在使用时具有较高的灵活性和适应性。
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公开(公告)号：CN114878593A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210690874.9
申请日：2022-06-17
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种晶圆表面缺陷检测装置和方法，激光器的光源出射激光，通过光源调制组件的调制以后，聚焦到检测晶圆表面待测位置；聚焦光斑的散射光进入散射测量通道，经过散射调制组件调制以后汇聚到PMT探测器，进行散射能量探测；聚焦光斑的反射光进入反射测量通道，经过反射调制组件调制以后汇聚到四象限探测器；检测晶圆吸附于扫描运动机构上方，扫描运动机构与升降台上端连接；解决点散射能量法缺陷探测时离焦问题，增加反射功率测量通道；整套系统结构简单，光源和反射测量通道都复用到了缺陷探测和离焦测量中；缺陷探测和离焦测量系统共用一套光源系统，测量中，避免了缺陷探测光源和离焦测量系统光源相互干扰，保证二者测量的是同一位置。
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公开(公告)号：CN113055566A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202110202881.5
申请日：2021-02-23
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于分时法的快速偏振成像装置及方法，该装置包括镜头模块、偏振片、角度旋转模块、高速相机成像模块；偏振片设置在高速相机成像模块前，角度旋转模块带动偏振片绕自身光轴匀速旋转，外部光线经过光学镜头会聚再经过偏振片入射到高速相机成像模块内，高速相机成像模块用于在偏振片匀速旋转过程中曝光多次，测量目标场景在不同偏振角度下的光强图像，并使用拍取的光强图像求解偏振图像。本发明能提高分时法偏振成像的成像帧频，实现对一定运动目标的跟踪拍摄，并改善分时法的实时性，从而能在一定程度上缓解分时法快速偏振成像帧频提升与偏振信息真实性保证两者之间相互制约的矛盾。
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公开(公告)号：CN105300521B
公开(公告)日：2019-11-08
申请号：CN201510752532.5
申请日：2015-11-06
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种一维成像外差光谱仪视场光阑装调结构及视场检测方法，装调结构由柱面镜组件、工作波段滤光片、光谱维视场光阑、准直镜头、干涉仪组件、成像镜头及空间维视场光阑构成；装调结构及视场检测方法涉及的设备有星点板、监视波段滤光片、平行光管、活动分划板和高斯目镜构成；本发明采用监视波段下光谱维视场光阑的装调和视场检测，通过修切隔圈厚度工作波段下光谱维视场光阑在光轴方向上的定位，通过修正公式，获得光谱维视场大小。利用一维成像空间外差光谱仪成像特征，通过改变平行光管实像面处星点位置，使光谱仪成像在空间维视场光阑不同位置，通过理论计算得到空间维视场大小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106918393B
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201710201146.6
申请日：2017-03-30
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种双通道空间外差光谱仪，包括有前置准直系统，准直系统的前方光路上设置有分光束元件，分光束元件的反射和透射光路上分别依次设有反射镜组件、第一扩视场棱镜、透射光栅、第二扩视场棱镜、集光束元件、滤光片、成像组件、焦面组件，所述分光束元件和集光束元件的分光/集光面上均为50：50半反半透的消偏振分光膜。本发明相比传统的空间外差光谱仪可保证其光谱分辨率和不变的前提下，有效利用输入能量，将传统空间外差光谱仪中50%反射至前置准直系统内的杂散光有效利用。本发明在空间外差光谱仪高稳定性、高光谱分辨率的基础上，利用双通道输出可以进行波段扩展或信噪比提升。
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公开(公告)号：CN119756598A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411906128.4
申请日：2024-12-23
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本申请涉及一种星载大面阵高帧频短波红外探测器数据采集系统，采用1024*512的大面阵短波红外探测器，并针对1024*512大面阵探测器的8路输出，设计专用采集电路，先是通过模拟前端电路对探测器输出的8路信号进行调理，调理后经3个模数采样芯片进行8路信号的同步采样，以同步输入至FPGA电路，使FPGA电路快速生成帧图像。即，通过选用3只支持3通道采样的模数采样芯片、FPGA电路作为主控芯片完成1024*512大面阵探测器的8通道同时读出，在提升象元数、增大帧频的同时，减小了星载超光谱成像仪数据传输链路的体积、重量和功耗，有效地保证了图像传输的质量。
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公开(公告)号：CN111537455B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202010380795.9
申请日：2020-05-08
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明涉及基于空间外差干涉光谱测量技术的大气CO2卫星观测反演方法，与现有技术相比解决了大气CO2卫星观测无法适用于无连续谱的窄带光谱的缺陷。本发明包括以下步骤：卫星观测光谱数据的获取；光谱数据的信息挖掘；观测向量的构建；模拟向量的计算；大气CO2卫星观测反演计算结果的获得。本发明通过挖掘窄带光谱内的信息，选择出用于大气CO2反演的信息谱以及用于背景扣除的参考谱替代连续谱，无需完整波长范围的卫星观测光谱，不仅具备现有技术的缓变背景扣除功能，解决窄带光谱在大气CO2卫星观测中的应用问题，而且受大气温度和湿度的影响小，有较高的稳定性。
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公开(公告)号：CN113588081B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202110856503.9
申请日：2021-07-28
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种宽幅成像与超光谱协同预警系统及方法，涉及遥感光电探测和预警技术领域，包括：一次成像系统、数字微镜阵列、以及第一准直系统、第二准直系统、第一反射镜、第二反射镜、宽幅成像滤光片、窄带滤光片、宽幅成像仪和超光谱干涉仪。本发明可实现宽幅成像普查与精细光谱同步探测，功能多、虚警率低；精细光谱识别目标空间分辨率可调，微控单元翻转方案操作简单，实现迅速调节；适应性强，对于辐射强度过低或者过强的被测目标，自适应调节相应微控单元的翻转时间，有效提升超光谱干涉仪和宽幅成像仪的动态范围。
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公开(公告)号：CN116190301A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310176388.X
申请日：2023-02-28
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: H01L21/683 , H01L21/66
Abstract: 本发明提供了一种晶圆缺陷检测装置的承片系统，其中：真空吸附气路分别经对应的气管接至承载台与调整台；承载台包括同轴组装的Z轴升降台、转台和固定吸附台；固定吸附台依靠真空吸附气路提供吸附力吸附固定待检测的晶圆，能够随转台绕中轴线同步回转，并可由Z轴升降台驱动与转台同步升降；调整台包括调整吸附台和XYZ三轴平台；调整吸附台能够依靠真空吸附气路提供吸附力相适配地吸附在被固定的晶圆外缘底部；XYZ三轴平台通过驱动调整吸附台运动带动晶圆位移。本发明集成真空吸附、高速旋转、Z向辅助调焦、晶圆自动对准等多种关键功能，能够满足晶圆缺陷检测过程中绝大部分承片需求。
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