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公开(公告)号：CN108131274A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201711130898.4
申请日：2017-11-15
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
摘要： 本发明公开了一种真空抽气系统，包括有等离子体腔室、等离子驱动源、真空泵和多段连接管道，真空泵的进气管与被抽工件之间通过真空管道连接，且真空管道上设置等离子体腔室，等离子体腔室内在等离子体驱动源的激励作用下产生等离子体，其产生的等离子体裂解真空管道内的大分子物质,并通过真空泵抽出形成抑制返油的真空抽气系统，等离子驱动源为微波发生器或射频电源或微波发生器与射频电源的组合，等离子体腔室与微波发生器之间通过波导管连接，与射频电源之间通过驱动电路连接，与微波发生器和射频电源的组合之间通过二者的组合连接。本发明利用等离子体发生器与真空泵技术组合成一种新真空抽气系统，工作过程中耗能低，不需要其他工作介质。
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公开(公告)号：CN108131274B
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201711130898.4
申请日：2017-11-15
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
摘要： 本发明公开了一种真空抽气系统，包括有等离子体腔室、等离子驱动源、真空泵和多段连接管道，真空泵的进气管与被抽工件之间通过真空管道连接，且真空管道上设置等离子体腔室，等离子体腔室内在等离子体驱动源的激励作用下产生等离子体，其产生的等离子体裂解真空管道内的大分子物质,并通过真空泵抽出形成抑制返油的真空抽气系统，等离子驱动源为微波发生器或射频电源或微波发生器与射频电源的组合，等离子体腔室与微波发生器之间通过波导管连接，与射频电源之间通过驱动电路连接，与微波发生器和射频电源的组合之间通过二者的组合连接。本发明利用等离子体发生器与真空泵技术组合成一种新真空抽气系统，工作过程中耗能低，不需要其他工作介质。
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公开(公告)号：CN114859399A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210797213.6
申请日：2022-07-08
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
摘要： 本发明公开了一种用于X射线球面弯曲晶体谱仪波长标定的装置和方法，装置包括真空腔室以及设于真空腔室内的双晶体、探测器、铍窗和X射线源，X射线源包括钛‑X射线源和镉‑X射线源，X射线源设于双晶体和铍窗之间；双晶体设于真空腔室的底部，真空腔室的一侧连通有第一腔室，探测器设于第一腔室远离真空腔室的一侧，探测器与双晶体相对设置；真空腔室上设有用于配置高压回路的高压馈通；真空腔室上设有运动机构，X射线源与运动机构连接，运动机构用于控制X射线源的移动，以使X射线源的中心与双晶体的中心位于同一水平高度。本发明将X射线源设置在真空腔室内，在保证标定源静态的同时，能够避免标定谱线强度过弱。
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公开(公告)号：CN218497160U
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202222675945.6
申请日：2022-10-10
申请人： 中国科学院合肥物质科学研究院
摘要： 本实用新型公开了一种用于X射线球面弯曲晶体谱仪波长标定的装置，装置包括真空腔室以及设于真空腔室内的双晶体、探测器、铍窗和X射线源，X射线源包括钛‑X射线源和镉‑X射线源，X射线源设于双晶体和铍窗之间；双晶体设于真空腔室的底部，真空腔室的一侧连通有第一腔室，探测器设于第一腔室远离真空腔室的一侧，探测器与双晶体相对设置；真空腔室上设有用于配置高压回路的高压馈通；真空腔室上设有运动机构，X射线源与运动机构连接，运动机构用于控制X射线源的移动，以使X射线源的中心与双晶体的中心位于同一水平高度。本实用新型将X射线源设置在真空腔室内，在保证标定源静态的同时，能够避免标定谱线强度过弱。
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