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公开(公告)号：CN102163531B
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201110056731.4
申请日：2011-03-10
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS工艺的平板线型离子阱质量分析器及其制作方法，基于MEMS工艺的平板线型离子阱质量分析器包括基板、支撑梁、离子聚焦电极、前门电极、主射频电极、辅助射频电极、后门电极、离子出口推斥电极以及离子出口，集成的离子聚焦电极降低了离子损耗，提高了离子捕获效率，相比外置离子聚焦透镜，减少了装配精度带来的误差，制作方法采用MEMS工艺，提高了加工精度和成品率，易于批量生产。
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公开(公告)号：CN102682759A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210130528.1
申请日：2012-04-28
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: G10K11/172 , G10K11/168 , B32B3/12
Abstract: 本发明公开了一种具有共振吸声结构的多层吸声尖劈，包括尖劈本体和刚性基座，所述尖劈本体为三层式吸声结构，从顶端向下依次为阻抗匹配层，声耗散层和穿孔板；在所述穿孔板和刚性基座之间有一个空腔，所述穿孔板、空腔和刚性基座构成了共振吸声结构。本发明通过把尖劈截面积由小变大和多层吸声材料的特性阻抗由小到大梯度渐变这两种阻抗渐变的原理相结合，突破了吸声尖劈的总长度须为截止频率波长的四分之一的限制，在保证较低的截止频率的同时，可以显著地减少吸声尖劈的长度、空间体积和质量，节约建造消声室的成本；同时，该吸声尖劈具有共振吸声结构，可以显著地改善吸声尖劈的低频特性，且可根据不同的声源特性来设计，从而提高了设计的灵活性。
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公开(公告)号：CN102332259B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201110308493.1
申请日：2011-10-12
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: G10K11/172
Abstract: 本发明公开了一种自适应微穿孔板吸声器及其微孔实时调节方法，该吸声器包括微穿孔板，其上均布微孔；所述微穿孔板为压电薄膜微穿孔板，采用压电薄膜制成，上设连接压电薄膜电极的电路引线端，所述电路引线端与主动控制电路相联接，所述主动控制电路包括与电路引线端依次相联接的压电薄膜驱动电路、自适应控制器和噪声探测器；所述压电薄膜微穿孔板及其周边侧壁和后壁构成的空腔体为压电薄膜微穿孔板共振吸声结构。本发明利用压电薄膜的压电效应实时调整压电薄膜微穿孔板上微孔孔径大小，即可达到针对入射噪声声波特征实时优化微穿孔板共振吸声结构吸声系数，大幅扩展微穿孔板共振吸声结构的有效吸声频带的目的。
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公开(公告)号：CN102163531A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201110056731.4
申请日：2011-03-10
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS工艺的平板线型离子阱质量分析器及其制作方法，基于MEMS工艺的平板线型离子阱质量分析器包括基板、支撑梁、离子聚焦电极、前门电极、主射频电极、辅助射频电极、后门电极、离子出口推斥电极以及离子出口，集成的离子聚焦电极降低了离子损耗，提高了离子捕获效率，相比外置离子聚焦透镜，减少了装配精度带来的误差，制作方法采用MEMS工艺，提高了加工精度和成品率，易于批量生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102426832A
公开(公告)日：2012-04-25
申请号：CN201110216989.6
申请日：2011-07-29
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: G10K11/16 , G10K11/178 , G10K11/02
Abstract: 本发明公开了一种微纳结合的主被动混合吸声结构及其控制方法，其特征是在多孔吸声材料中均匀地填充纳米管，构成被动吸声结构，所述被动吸声结构的正面平面暴露在垂直入射的声波中，背面为椭圆面；在所述被动吸声结构的背面椭圆面上附着一层厚度为微米量级的压电薄膜构成混合式吸声结构的主动控制执行器件。本发明通过将主动噪声控制与改善后的吸声材料结合成特定的混合吸声结构，使得有效吸声频带大幅扩展，吸声结构体积明显减小，主动控制电压得到降低，控制效果更好。
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公开(公告)号：CN102332259A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110308493.1
申请日：2011-10-12
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: G10K11/172
Abstract: 本发明公开了一种自适应微穿孔板吸声器及其微孔实时调节方法，该吸声器包括微穿孔板，其上均布微孔；所述微穿孔板为压电薄膜微穿孔板，采用压电薄膜制成，上设连接压电薄膜电极的电路引线端，所述电路引线端与主动控制电路相联接，所述主动控制电路包括与电路引线端依次相联接的压电薄膜驱动电路、自适应控制器和噪声探测器；所述压电薄膜微穿孔板及其周边侧壁和后壁构成的空腔体为压电薄膜微穿孔板共振吸声结构。本发明利用压电薄膜的压电效应实时调整压电薄膜微穿孔板上微孔孔径大小，即可达到针对入射噪声声波特征实时优化微穿孔板共振吸声结构吸声系数，大幅扩展微穿孔板共振吸声结构的有效吸声频带的目的。
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公开(公告)号：CN102682759B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN201210130528.1
申请日：2012-04-28
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: G10K11/172 , G10K11/168 , B32B3/12
Abstract: 本发明公开了一种具有共振吸声结构的多层吸声尖劈，包括尖劈本体和刚性基座，所述尖劈本体为三层式吸声无骨架结构，从顶端纵向向下依次为阻抗匹配层，声耗散层和穿孔板；在所述穿孔板和刚性基座之间有一个空腔，所述穿孔板、空腔和刚性基座构成了共振吸声结构。本发明通过把尖劈截面积由小变大和多层吸声材料的特性阻抗由小到大梯度渐变这两种阻抗渐变的原理相结合，突破了吸声尖劈的总长度须为截止频率波长的四分之一的限制，在保证较低的截止频率的同时，可以显著地减少吸声尖劈的长度、空间体积和质量，节约建造消声室的成本；同时，该吸声尖劈具有共振吸声结构，可以显著地改善吸声尖劈的低频特性，且可根据不同的声源特性来设计，从而提高了设计的灵活性。
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公开(公告)号：CN103387206A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201310301581.8
申请日：2013-07-18
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明涉及吸声材料的制作。具体涉及一种柔性超微孔宽频带微穿孔板的制作方法。其制作过程是先采用微机械加工方法制作由硅、陶瓷、金属、玻璃或有机玻璃材料构成的圆柱阵列模板，圆柱的直径为10微米-500微米，高度10微米-500微米，其分布密度为104-1010个/平方米；然后将液态的聚合物材料使用旋涂或浇铸工艺沉积在圆柱阵列模板的底板上，使圆柱的上端面外露，所述聚合物材料是聚氨酯、聚酰亚胺或硅胶等；再对沉积在圆柱阵列模板表面的聚合物材料进行固化处理；最后脱去圆柱阵列模板，得到柔性微穿孔板成品。本发明加工速度快，成本低，结构紧凑，体积小；孔径的一致性好，具有较宽的吸声频带；而且易于变形，能够满足不同形状设备的降噪需求。
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公开(公告)号：CN202268160U
公开(公告)日：2012-06-06
申请号：CN201120386196.4
申请日：2011-10-12
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: G10K11/172
Abstract: 本实用新型公开了一种自适应微穿孔板吸声器，该吸声器包括微穿孔板，其上均布微孔；所述微穿孔板为压电薄膜微穿孔板，采用压电薄膜制成，上设连接压电薄膜电极的电路引线端，所述电路引线端与主动控制电路相联接，所述主动控制电路包括与电路引线端依次相联接的压电薄膜驱动电路、自适应控制器和噪声探测器；所述压电薄膜微穿孔板及其周边侧壁和后壁构成的空腔体为压电薄膜微穿孔板共振吸声结构。本实用新型利用压电薄膜的压电效应实时调整压电薄膜微穿孔板上微孔孔径大小，即可达到针对入射噪声声波特征实时优化微穿孔板共振吸声结构吸声系数，大幅扩展微穿孔板共振吸声结构的有效吸声频带的目的。
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