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公开(公告)号：CN102183679B
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201110062649.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明涉及对材料表面微纳结构进行物化特性的检测方法，具体涉及在大气环境下采用AFM-IMS或AFM-FAIMS联用技术，原位准同步检测微纳结构物化特性的方法。先在原子力显微镜上对被测样品进行扫描成像得到物理特性数据后，利用电晕放电，使样品的化学物质脱附并离化为带电离子，再利用微型机电接口装置以迁移电场或使用人工气流的方式将带电离子送入离子迁移谱仪或高场不对称波形离子迁移谱仪中进行分离检测，确定化学成分。本发明能够将样品的物理特性和化学成份直接对应起来分析，具有原位（准）同步定点分析微纳结构的功能，整个过程在大气环境下进行，对样品限制低，分析测试效率大为提高，操作方便灵活，体积成本较低，便于在材料分析测试领域中普及推广使用。
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公开(公告)号：CN101504426B
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200910116228.6
申请日：2009-02-23
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , B81C5/00
CPC classification number: G01P2015/082
Abstract: 本发明涉及梳齿电容式双轴加速度计，包括有基片，基片上有敏感质量块，所述敏感质量块上分别安装有固定梳齿，所述敏感质量块的每个周边与对应的固定梳齿之间还有可动梳齿，所述敏感质量块的四个边角处还分别连接有四个支撑架，所述四个支撑架沿敏感质量块中心对称，其另一端连接至基片上。本发明体积小，重量轻，可实现高灵敏度、高分辨率的二维加速度测量。
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公开(公告)号：CN101800150A
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN201010135135.0
申请日：2010-03-25
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种高场不对称波形离子迁移管及其制作方法，高场不对称波形离子迁移管包括基片、支撑梁、迁移区电极、检测电极、主屏蔽电极、辅助屏蔽电极、加热电阻和温度传感器。主屏蔽电极和辅助屏蔽电极降低了迁移区电场对检测电极的干扰，加热电阻和温度传感器直接集成于迁移管上，在不增加迁移管体积的前提下实现了迁移管温度的精确控制；制作方法采用丝网印刷浆料而后高温烧结的厚膜工艺，基片采用陶瓷材料，而不是易碎的硼硅玻璃材料，制作方法简单，工艺周期短，成本低，适合大批量生产。
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公开(公告)号：CN101504426A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200910116228.6
申请日：2009-02-23
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: G01P15/125 , B81B7/02 , B81C5/00
CPC classification number: G01P2015/082
Abstract: 本发明涉及梳齿电容式双轴加速度计，包括有基片，基片上有敏感质量块，所述敏感质量块上分别安装有固定梳齿，所述敏感质量块的每个周边与对应的固定梳齿之间还有可动梳齿，所述敏感质量块的四个边角处还分别连接有四个支撑架，所述四个支撑架沿敏感质量块中心对称，其另一端连接至基片上。本发明体积小，重量轻，可实现高灵敏度、高分辨率的二维加速度测量。
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公开(公告)号：CN118153441A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410329952.1
申请日：2024-03-22
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于深度强化学习对质谱仪优化设计的方法，包括：搭建仿真模型和仿真设计平台，通过运行仿真模型获取当前状态；搭建智能体的网络架构；通过智能体与深度强化学习的交互环境的交互，获取仿真优化数据；采用经验样本训练智能体，通过多轮训练学习，实现奖励最大化目标，智能体决策出仿真模型中各个设参数的最优参数策略；将最优参数策略部署到仿真模型中，通过分析仿真结果，实现对质谱仪的优化设计。本发明利用深度强化学习进行智能调谐时能够实时调整策略，自主学习以适应新的条件或目标；通过自动化学习和决策过程，在整个设计和优化过程中实现端到端，可以提高操作效率和准确性，减少人为干预。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115579277A
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202211186602.1
申请日：2022-09-27
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于叠层结构的质谱仪，包括进样装置、电离装置、质量分析器、检测器和真空腔体。所述真空腔体由两层基板堆叠而成。所述进样装置或电离装置或所述质量分析器或所述检测器的至少一个电极在所述基板上制作而成。本发明解决了离子光学器件的异质异构、集成度低的问题，并将真空腔体与离子光学器件进行融合，解决了现有真空腔体的结构复杂、冗余设计、笨重庞大等问题。本发明所述的质谱仪结构简单，消除了冗余设计，极大减小了仪器的体积和重量，有利于仪器的小型化，便于大批量平行制造，大大降低了制造成本。
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公开(公告)号：CN102183679A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201110062649.2
申请日：2011-03-16
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明涉及对材料表面微纳结构进行物化特性的检测方法，具体涉及在大气环境下采用AFM-IMS或AFM-FAIMS联用技术，原位准同步检测微纳结构物化特性的方法。先在原子力显微镜上对被测样品进行扫描成像得到物理特性数据后，利用电晕放电，使样品的化学物质脱附并离化为带电离子，再利用微型机电接口装置以迁移电场或使用人工气流的方式将带电离子送入离子迁移谱仪或高场不对称波形离子迁移谱仪中进行分离检测，确定化学成分。本发明能够将样品的物理特性和化学成份直接对应起来分析，具有原位（准）同步定点分析微纳结构的功能，整个过程在大气环境下进行，对样品限制低，分析测试效率大为提高，操作方便灵活，体积成本较低，便于在材料分析测试领域中普及推广使用。
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公开(公告)号：CN101915800A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010222909.3
申请日：2010-07-08
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: G01N27/70
Abstract: 本发明公开一种微型解吸附离子迁移谱仪。该离子迁移谱仪包括解吸附离子迁移管、电路系统和气路系统。解吸附离子迁移管由置有激励、电极和孔洞的三层由六条支撑梁支撑并形成两个矩形气流通道的基板组成，电路系统在解吸附离子迁移管内产生激励电场、分离电场、补偿电场和检测电场，气路系统为解吸附离子迁移管提供解吸附载气和分离载气。解吸附载气在激励电场的作用下成为解吸附气，解吸附气对凝聚态被测物质作用使其成为离子流，离子流在分离载气带动下进入分离电场和补偿电场并在其作用下分离，最后到达检测电场被检测。这种微型解吸附离子迁移谱仪满足了高场不对称波形离子迁移谱仪对凝聚态物质的现场检测的快速简洁、微型化和集成化的需求。
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公开(公告)号：CN102163531B
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201110056731.4
申请日：2011-03-10
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS工艺的平板线型离子阱质量分析器及其制作方法，基于MEMS工艺的平板线型离子阱质量分析器包括基板、支撑梁、离子聚焦电极、前门电极、主射频电极、辅助射频电极、后门电极、离子出口推斥电极以及离子出口，集成的离子聚焦电极降低了离子损耗，提高了离子捕获效率，相比外置离子聚焦透镜，减少了装配精度带来的误差，制作方法采用MEMS工艺，提高了加工精度和成品率，易于批量生产。
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公开(公告)号：CN101915800B
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201010222909.3
申请日：2010-07-08
Applicant: 中国科学院合肥物质科学研究院
IPC: G01N27/70
Abstract: 本发明公开一种微型解吸附离子迁移谱仪。该离子迁移谱仪包括解吸附离子迁移管、电路系统和气路系统。解吸附离子迁移管由置有激励、电极和孔洞的三层由六条支撑梁支撑并形成两个矩形气流通道的基板组成，电路系统在解吸附离子迁移管内产生激励电场、分离电场、补偿电场和检测电场，气路系统为解吸附离子迁移管提供解吸附载气和分离载气。解吸附载气在激励电场的作用下成为解吸附气，解吸附气对凝聚态被测物质作用使其成为离子流，离子流在分离载气带动下进入分离电场和补偿电场并在其作用下分离，最后到达检测电场被检测。这种微型解吸附离子迁移谱仪满足了高场不对称波形离子迁移谱仪对凝聚态物质的现场检测的快速简洁、微型化和集成化的需求。
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