-
公开(公告)号：CN119668048A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411903911.5
申请日：2024-12-23
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及电路制造技术领域，公开了一种光刻设备及其使用方法、气浴发生装置，该装置包括：气浴发生器，具有容纳空间和环形流道，气浴发生器的外壁设有至少一个通气组件，每个通气组件包括多个绕容纳空间的周向间隔设置的通孔，通孔被配置为能够令环形流道中的工作气体流经通孔以形成层流气流，沿第一方向，层流气流能够沿背离容纳空间的方向流动；供气装置，用于向气浴发生器内提供工作气体。工作时，开启供气装置以形成多股层流气流，使得外部的气体和颗粒污染物无法流至光刻设备的光学元件以及硅片附近的空间，从而实现了对污染性气体和颗粒的有效把控，有效提升了光刻良率，还保障了光学元件的使用寿命。
-
公开(公告)号：CN117314824A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202311054754.0
申请日：2023-08-21
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本申请公开了一种掩模板颗粒的检测方法、检测装置、电子设备及存储介质。该掩模板颗粒的检测方法包括：获取掩模板的多个原始局部图像；针对清洗后的掩模板进行图像获取，得到多个清洗后局部图像；分别对所有所述原始局部图像和所有所述清洗后局部图像执行拼接操作，得到整体原始图像和整体清洗图像；获取所述整体原始图像和所述整体清洗图像的差影图像；从所述差影图像的连通域中提取出掩模板颗粒的信息。本申请实施例提供的掩模板颗粒的检测方法，对掩模板颗粒的信息检测精度较高，检测时间耗时短，完全能够满足需要快速准确获取清洗前后掩模板颗粒状态的情况的需求。
-
公开(公告)号：CN116954032A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202310822085.0
申请日：2023-07-05
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种动态气体隔离装置及光刻设备，涉及光刻技术领域。动态气体隔离装置用于连接于光刻设备的第一工作腔室和第二工作腔室之间，其包括主管道、第一进气组件、第二进气组件以及温度控制组件。主管道两端分别连接第一工作腔室和第二工作腔室；第一进气组件和第二进气组件均连接于主管道；由进入到主管道内的第一清洁气体和第二清洁气体通过气体分子间的碰撞来抑制污染物在第一工作腔室和第二工作腔室间的流通；同时，通过温度控制组件对第二进气组件的进气温度进行控制，使得第一清洁气体与第二清洁气体进行混合冷却后再进入到第二腔室内，避免气体温度过高而导致衬底升温，进而防止产生套刻误差，保证了芯片的制造质量和可靠性。
-
公开(公告)号：CN116736641A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202210212241.7
申请日：2022-03-04
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及一种用于光刻设备的温度控制装置及方法，属于光刻设备技术领域，解决的技术问题是在实现对硅片表面温度变化有效控制的前提下、避免引入线缆带来的环境污染问题。本发明包括：动态气体隔离装置、气体温度控制装置和高纯气源；所述气体温度控制装置和高纯气源设置在光刻设备的光刻设备主基板的外侧；所述动态气体隔离装置上设置清洁气体流动管道；所述清洁气体流动管道一端连接气体温度控制装置，另一端连接光刻设备内部；所述气体温度控制装置与高纯气源连接，且能够对高纯气源中存储的高纯清洁气体进行温度控制，本发明通过低温的高纯清洁气体对硅片进行温度控制，同时减少了污染。
-
公开(公告)号：CN110879198B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN201911171642.7
申请日：2019-11-25
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 一种极紫外光辐照致光刻胶放气污染测试系统，该系统包括极紫外光源腔室、光收集腔室、污染样品测试腔室，其中：极紫外光源腔室，用于发出辐照光；光收集腔室，用于将极紫外光源腔室发出的辐照光线反射聚焦进入污染样品测试腔室内；污染样品测试腔室，用于在光收集腔室传入的辐照光线的作用下，实现光刻胶受到极紫外光辐照时放气污染特性对系统部件性能影响的测试。本发明提供的极紫外光辐照致光刻胶放气污染测试系统，结构简单，操作方便，不仅可以研究极紫外光刻胶放气特性还可用于光刻胶放气污染对系统部件性能的影响，从而可以更好的评估光刻胶的污染特性。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115200836A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210552293.9
申请日：2022-05-20
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本公开涉及一种归一化能量测试装置及光学测量系统，所述装置包括：可调节光阑，用于调节光源传播光束的尺寸；两块反射镜，用于将被截止传输的部分光束以相同的入射角反射到能量探测器上；所述两块反射镜沿所述可调节光阑的中间开口的轴向对称设置于所述可调节光阑开口的边沿；两个第一能量探测器，用于探测所述两块反射镜的反射光。所述系统搭载了所述归一化能量测试装置，还包括：光源腔室，用于产生辐射光源；光束处理腔室，用于将辐射光源产生的光束处理成测试所需的光束；第一插板阀，用于分隔所述光源腔室和所述光束处理腔室；光学测量腔室，用于测量待测光学元件的性能参数；第二插板阀，用于分隔所述光束处理腔室和所述光学测量腔室。
-
公开(公告)号：CN115165665A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210700122.6
申请日：2022-06-20
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01N7/14
Abstract: 本发明公开了一种可在线计量的材料放气精确测试装置及其方法，属于测量技术领域，以解决放气测试过程中存在的气体成分敏感和测量仪器灵敏度变化的问题。本发明的一种可在线计量的材料放气精确测试装置包括稳压室，设有第一真空抽气组件；测试室，设有第二真空抽气组件，所述第二抽气组件具有第一抽气通道和第二抽气通道；第一管路，所述稳压室和所述测试室通过所述第一管路连通，所述第一管路上设有分子流传感元件和第一阀门；第一真空计，设置在所述稳压室上；第二真空计，设置在所述测试室上；质谱仪，设置在所述测试室上。本发明可实现有效抽速、真空计和质谱仪的在线校准，保证材料放气测试的准确性。
-
公开(公告)号：CN114966804A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210438753.5
申请日：2022-04-25
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01T1/20
Abstract: 本发明公开了一种极紫外光用的闪烁体组件及应用、间接探测器系统，属于光学技术领域，以解决现有技术中闪烁体的覆盖层对极紫外光吸收较高而降低了极紫外光的转换效率的问题。发明的一种极紫外光用闪烁体组件，包括闪烁体和覆盖层；其中，覆盖层，设置在所述闪烁体入光一侧表面，所述覆盖层在可见光下的反射率大于或等于20％，在极紫外光照射下所述覆盖层的衰减深度大于或等于40nm。本发明将覆盖层对可见光的反射率大于20％。而对极紫外光照射下的衰减深度大于40nm，相比Al作为覆盖层可降低对极紫外光的吸收，进一步提高了闪烁体组件的转换效率。
-
公开(公告)号：CN113311890B
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202110426520.9
申请日：2021-04-20
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明涉及光刻技术领域，具体涉及一种极紫外光刻机物料传递及污染控制系统，该极紫外光刻机中，大气腔的第一通气管上设置有第一调节阀，载片腔的第二通气管上设置有第二调节阀，传输腔的第三通气管上设置有第三调节阀，工艺腔的第四通气管上设置有第四调节阀，极紫外光刻机的控制器能够控制真空泵组、载片腔与大气腔之间的大气物料阀、传输腔与载片腔之间的第一真空物料阀以及工艺腔与传输腔之间的第二真空物料阀开启或关闭，同时控制第一调节阀、第二调节阀、第三调节阀和第四调节阀的开度，使大气腔、载片腔、传输腔和工艺腔内的污染性气体分压依次减小，在保证物料传输的同时，能够严格控制污染性气体从环境向工艺腔的传输。
-
公开(公告)号：CN110376272B
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN201910507546.9
申请日：2019-06-12
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01N27/62
Abstract: 本发明涉及气体分压的在线测量装置及其在线测量方法，在线测量装置包括待测气源腔室，校准气源腔室，减压腔室，恒压腔室，真空计和质谱分析模块，其中第一进气阀门和减压腔室之间设有高压待测气体进样通道和中压待测气体进样通道，第一进气阀门和恒压腔室之间设有低压待测气体进样通道，第六进气阀门与减压腔室之间设有校准气体进样通道，减压腔室和恒压腔室之间设有气体流通通道，真空计用于测量上述四个腔室的真空度，质谱分析模块用于在线测量恒压腔室的气体；测量方法包括确定标样气体，洁净度检查，获取质谱计灵敏度，抽真空去除残余气体和气体分压的在线测量步骤。本发明的在线测量装置和方法，主要针对粗、低真空气体分析，根据待测气体压力而选择最优的进样通道，分压测量更加准确。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
83
records
(took 0.037 seconds)
