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公开(公告)号：CN110031691A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910333896.8
申请日：2019-04-24
申请人： 北京中科飞龙传感技术有限责任公司 , 中国科学院电子学研究所
摘要： 本发明提供了一种非接触式静电传感器组网系统，包括：至少一台检测设备、通信单元和主机设备；各台检测设备设置在监控范围内的各个节点上，所述检测设备得到的检测数据通过所述通信单元传输到所述主机设备上，所述主机设备的存储单元对检测数据进行实时存储，方便后续进行数据分析处理；其中，每台检测设备包括静电感应单元，用于检测所述检测设备所处环境带电物产生的静电场。本发明实现了体积小，功耗低，精度高，实用性强，自组网，大范围多点静电监测。
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公开(公告)号：CN108508284A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810255986.5
申请日：2018-03-26
申请人： 中国科学院电子学研究所 , 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
IPC分类号： G01R29/14
摘要： 本发明公开了一种基于扭转振动的互屏蔽式电场传感器，包括：基底；电场感应结构，该电场感应结构包含：至少一组固定电极和可动扭转电极，该固定电极与可动扭转电极均为感应电极，并且两者互为屏蔽电极，即在可动扭转电极扭转振动时，固定电极和可动扭转电极之间产生相对运动，两者相互屏蔽，同时在固定电极和可动扭转电极上产生感应电荷的变化；扭转弹性梁，与可动扭转电极相连；以及驱动结构，驱动可动扭转电极绕着扭转弹性梁发生扭转振动，使得固定电极与可动扭转电极产生相对位置变化。该电场传感器的结构简单且体积小，感应效率高，使用范围广泛，适用于普通机械加工和微加工技术制备，易于组装、集成、批量化和规模化生产。
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公开(公告)号：CN210037988U
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201920567134.X
申请日：2019-04-24
申请人： 北京中科飞龙传感技术有限责任公司 , 中国科学院电子学研究所
摘要： 本实用新型提供了一种非接触式静电传感器组网系统，包括：至少一台检测设备、通信单元和主机设备；各台检测设备设置在监控范围内的各个节点上，所述检测设备得到的检测数据通过所述通信单元传输到所述主机设备上，所述主机设备的存储单元对检测数据进行实时存储，方便后续进行数据分析处理；其中，每台检测设备包括静电感应单元，用于检测所述检测设备所处环境带电物产生的静电场；所述通信单元采用有线或者无线的通信方式。本实用新型实现了体积小，功耗低，精度高，实用性强，自组网，可大范围多点静电监测。
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公开(公告)号：CN114229788A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202010943851.5
申请日：2020-09-09
申请人： 中国科学院空天信息创新研究院 , 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
摘要： 一种微型电场传感器圆片级封装增敏降噪结构，该结构主要由三层圆片级导体硅和两层绝缘材料组成，包括：基底层，制作有凹槽与多个垂直互连结构，表面沉积有第一绝缘层，基底层通过第一绝缘层上的刻蚀窗口与接地垂直互连结构连接接地，降低耦合串扰噪声；器件层，刻蚀有传感结构、闭合密封环和屏蔽梁，接地屏蔽梁降低层内耦合噪声；封帽层，通过第二绝缘层与器件层实现绝缘，并通过第二绝缘层的镂空区域与传感结构之间形成微小间隙，以增强感应结构周围电场强度进而提高传感器灵敏度。本公开可实现电场传感器圆片级封装，具有增敏降噪的特点，且制造工艺简单。
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公开(公告)号：CN114113814A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111408937.9
申请日：2021-11-24
申请人： 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
IPC分类号： G01R29/12
摘要： 本发明公开了一种静电力调谐型MEMS电场传感器和控制方法，包括驱动电极、拾振电极、谐振结构、静电力敏感电极，静电力敏感电极与谐振结构相连，驱动电极用于与谐振结构之间形成驱动电容，拾振电极用于与谐振结构之间形成拾振电容，静电力敏感电极用于感应待测电场，引起谐振结构谐振频率的变化，拾振电极检测谐振结构谐振频率的变化，得到待测电场的检测结果。本申请通过在驱动电极上施加激励信号，引起谐振结构的谐振，静电力敏感电极在待测电场的静电力作用下，引起谐振结构的谐振频率的变化，拾振电极通过检测谐振频率的变化，实现对待测电场的测量，本传感器结构简单、易于制备、成本较低，有利于规模化网络化应用。
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公开(公告)号：CN114113813A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111408915.2
申请日：2021-11-24
申请人： 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
IPC分类号： G01R29/12
摘要： 本发明公开了一种自适应型MEMS电场传感器及其结构，包括可动接地电极、至少一个拾振参考电极、至少一个感应电极、至少一个驱动电极；所述拾振参考电极与可动接地电极之间形成电容，用于检测可动接地电极的振动情况；可动接地电极与感应电极相对部分，形成感应电极的屏蔽电极，感应电极用于感应外部电场；在驱动电极上施加激励信号，使可动接地电极处于谐振状态，检测拾振参考电极、感应电极的输出，以感应电极输出的解调感应电压除以拾振参考电极输出的解调参考电压，得到外部电场检测结果。通过自动调整激励信号及对输出进行修正，能够根据环境及结构参数变化进行自适应调整，实现对传感器输出漂移的补偿，极大提高MEMS传感器的测量准确性。
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公开(公告)号：CN117452050B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202311459741.1
申请日：2023-11-03
申请人： 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
摘要： 本申请涉及一种硬压板电压监测装置、系统及方法，属于电网硬压板状态检测领域，其包括电磁屏蔽壳体，电磁屏蔽壳体内部为空腔，空腔内设置有测量电路板，电磁屏蔽壳体开设有测量孔，测量孔内穿设有硬压板出口的线缆，测量电路板用于根据硬压板出口的线缆产生的电场测量硬压板的电压。解决了人工接入硬压板所在电路测量电压引发的电路事故，本申请具提高测量硬压板电压安全性的效果。
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公开(公告)号：CN117405981B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202311377634.4
申请日：2023-10-23
申请人： 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
IPC分类号： G01R29/12
摘要： 本发明提供了一种低温漂谐振式电场传感器及其调控方法，属于电场传感器领域，该传感器包括：感应电极1、振动结构2、驱动电极3、反馈电极4、位置检测元件5和电路板6；其中，感应电极1、振动结构2和位置检测元件5固定在所述电路板6上；驱动电极3和反馈电极4布置在振动结构2上；感应电极1用于产生感应电荷；驱动电极3用于在施加电信号时产生机械应力或应变，驱动振动结构2振动；反馈电极4用于在产生机械应力或应变时，产生电信号，反应振动结构2的振动参数。本发明中的传感器可自动工作在谐振频率处、自动调整驱动电压，补偿环境引起的谐振频率变化、驱动力和振动幅度变化，使灵敏度保持相对稳定，减少灵敏度的漂移。
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公开(公告)号：CN117517798A
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202311497046.4
申请日：2023-11-10
申请人： 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
摘要： 本申请涉及一种单站雷电定位与预警装置，其包括防雨外壳，内部设有屏蔽底板；磁场感应线圈，固定于屏蔽底板上并与屏蔽底板垂直设置；快天线感应电极，安装在磁场感应线圈的顶部；电场感应电极；电路处理模块，固定在屏蔽底板的底部，包括通过第一屏蔽线与磁场感应线圈连接的磁场电路处理模块、通过第二屏蔽线与快天线感应电极连接的快天线处理模块、通过第三屏蔽线与电场感应电极连接的电场处理模块以及核心处理模块，电场处理模块包括MEMS电场敏感器件及其驱动电路，核心处理模块上连接有供电与数据电缆。本申请具有仅需一个设备即可实现单站闪电定位、电场强度测量以及雷电预警，便于安装，降低安装和使用成本的效果。
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公开(公告)号：CN117452050A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311459741.1
申请日：2023-11-03
申请人： 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
摘要： 本申请涉及一种硬压板电压监测装置、系统及方法，属于电网硬压板状态检测领域，其包括电磁屏蔽壳体，电磁屏蔽壳体内部为空腔，空腔内设置有测量电路板，电磁屏蔽壳体开设有测量孔，测量孔内穿设有硬压板出口的线缆，测量电路板用于根据硬压板出口的线缆产生的电场测量硬压板的电压。解决了人工接入硬压板所在电路测量电压引发的电路事故，本申请具提高测量硬压板电压安全性的效果。
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