一种超导强磁场磁控溅射阴极的低温冷却系统

    公开(公告)号:CN104465283B

    公开(公告)日:2017-04-05

    申请号:CN201410766299.1

    申请日:2014-12-11

    Abstract: 一种超导强磁场磁控溅射阴极的低温冷却系统,由两个液氮存储杜瓦(1、5)、增压阀(2、6)、放气阀(3、7)、第一输液管道(4‑1)和第一输液杆(4‑2)、第二输液管道(8‑1)和第二输液杆(8‑2)、真空腔体(9)、磁体杜瓦上盖(10),以及磁体杜瓦底座(11)组成。超导磁体(12)、外磁轭(13)、内磁轭(14)和底磁轭(15)安装在由磁体杜瓦上盖(10)和磁体杜瓦底座(11)所包围的密闭空间中,磁体杜瓦上盖(10)与阴极靶材(16)固定在一起,之间留有部分真空间隙(17)。超导磁体(12)由液氮迫流冷却;两个液氮存储杜瓦(1、5)交替工作,实现超导磁体(12)和阴极靶材(16)的冷却。

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