公开(公告)号：CN110534478A

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201810510213.7

申请日：2018-05-24

申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

发明人： 杨帅 ,  李加东 ,  苗斌 ,  丁祥桢 ,  古乐 ,  顾智琦 ,  王瑾 ,  吴东岷

IPC分类号： H01L21/822 ,  H01L27/04

摘要： 本发明公开了一种传感器件，所述传感器件包括：传感部，包括第一半导体衬底、第一电极层和第二电极层，所述第一电极层和所述第二电极层设置于所述第一半导体衬底上，所述第一电极层和所述第二电极层之间具有间隔；检测部，独立于所述传感部，所述检测部包括第二衬底以及设置于所述第二衬底上的检测电极层；电连接部，连接所述检测电极层并通过所述间隔与所述第一半导体衬底连接。本发明还公开了一种传感器件器的制作方法。本发明的传感器件，设置检测部，通过电连接部将第一半导体衬底与检测电极层连接起来，通过检测部去检测样本，可以有效保护传感器件不被检测样本污染、降解，从而大大提高传感器件的可靠性，延长使用寿命，提高传感器件的抗干扰能力。