-
公开(公告)号：CN116399495A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310441444.8
申请日：2023-04-23
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要： 本发明公开了一种变刚度悬臂梁传感器结构，变刚度悬臂梁传感器阵列及变刚度悬臂梁传感器结构的制作方法。变刚度悬臂梁传感器结构包括支撑结构和悬臂梁结构，所述悬臂梁结构设置于所述支撑结构上，所述悬臂梁结构包括沿远离所述支撑结构方向依次设置的感应部以及传递部，所述感应部的厚度小于所述传递部的厚度，所述感应部上设置有压敏电阻。本发明的变刚度悬臂梁传感器结构，通过变刚度结构设计‑传递部与感应部的不同厚度，提高相同外力作用下，压敏电阻所在区域的局部应力，从而提高悬臂梁传感器的灵敏度。
-
公开(公告)号：CN118329997A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410534103.X
申请日：2024-04-30
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： G01N27/327
摘要： 本发明公开了一种生化检测芯片及垂直流集成式生化检测装置，所述芯片包括衬底及依次层叠于衬底之上的沟道层、势垒层、帽层及电极，所述沟道层和势垒层的界面处形成有二维电子气，所述电极包括与二维电子气电连接的源极和漏极、及位于源极和漏极之间的栅极，所述栅极上设有电子标签，所述电子标签包括生长于栅极上方的ZnO纳米棒及修饰于ZnO纳米棒表面的生物受体。本发明中的生化检测芯片能够将生化信号转化为电学信号，具备便捷性高以及低成本优势；垂直流集成式生化检测装置将亲水性微筛与生化检测芯片进行集成，利用亲水性微筛对生理溶液中大尺寸带电颗粒杂质进行筛除，具备可现场检测、准确性高、耗时短、结构简单、能耗低等优势。
-
公开(公告)号：CN115856360A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211538548.2
申请日：2022-12-01
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： G01Q60/38
摘要： 本发明公开了一种微型变刚度悬臂梁结构、制备方法及传感器，本发明本发明微型变刚度悬臂梁的制备方法可实现变刚度悬臂梁结构的精确制备，可通过调节前后悬臂梁结构的尺寸来调节刚度，以调节完整悬臂梁结构的动态检测范围和灵敏度，可以有效解决现有技术中仅通过改变单级悬臂梁的尺寸无法实现光反射式传感器灵敏度与量程两项指标的双提升的问题。通过本发明中的微纳加工方式可实现变刚度微悬臂梁的微型化、按需可控制备，进一步拓宽了悬臂梁传感器的应用范围并为光反射式传感器微型化奠定坚实基础。本发明可通过改变现有变刚度悬臂梁结构，如在悬臂顶部制备针尖结构，进一步拓展应用范围。
-
公开(公告)号：CN118777395A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410779110.6
申请日：2024-06-17
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： G01N27/327
摘要： 本发明公开了一种双层微筛生化传感器，所述双层微筛生化传感器包括HEMT器件，所述HEMT器件的栅极区域上生长有金属氧化物纳米棒，金属氧化物纳米棒的表面修饰有第一聚合物及生物分子探针。本发明通过在HEMT器件的栅极区域生长金属氧化物纳米棒，并在金属氧化物纳米棒的表面修饰第一聚合物，构建双层微筛结构，有效降低了德拜屏蔽效应和大尺寸物质的非特异性吸附，提高了检测的特异性和信噪比。
-
公开(公告)号：CN115753537A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211526121.0
申请日：2022-11-30
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要： 本发明公开了一种烟尘传感器，包括：HEMT单元，包括栅极电极；扩展栅单元，包括支撑体、扩展栅和加热件，所述扩展栅和加热件形成于所述支撑体上，所述扩展栅与所述栅极电极之间分离设置，所述扩展栅提供一烟尘接触面并与所述栅极电极之间电性连接。本发明的烟尘传感器，HEMT单元与再生传感区域是分开的，HEMT单元保证了器件可以实时监测烟尘浓度，再生传感区域集成了加热件，既可以用作传感区域，又可以用于烟尘颗粒原位再生，分离式的结构使高温再生的过程不会对HEMT传感器产生影响，提高了传感器的寿命。
-
公开(公告)号：CN110534478A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201810510213.7
申请日：2018-05-24
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： H01L21/822 , H01L27/04
摘要： 本发明公开了一种传感器件，所述传感器件包括：传感部，包括第一半导体衬底、第一电极层和第二电极层，所述第一电极层和所述第二电极层设置于所述第一半导体衬底上，所述第一电极层和所述第二电极层之间具有间隔；检测部，独立于所述传感部，所述检测部包括第二衬底以及设置于所述第二衬底上的检测电极层；电连接部，连接所述检测电极层并通过所述间隔与所述第一半导体衬底连接。本发明还公开了一种传感器件器的制作方法。本发明的传感器件，设置检测部，通过电连接部将第一半导体衬底与检测电极层连接起来，通过检测部去检测样本，可以有效保护传感器件不被检测样本污染、降解，从而大大提高传感器件的可靠性，延长使用寿命，提高传感器件的抗干扰能力。
-
公开(公告)号：CN118746288A
公开(公告)日：2024-10-08
申请号：CN202410915808.6
申请日：2024-07-09
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： G01C19/72
摘要： 本申请公开了一种惯性传感器用混合集成光学芯片，包括第一芯片，包括SiO2基底以及集成在SiO2基底上的激光器、探测器和耦合器，激光器和探测器分别与耦合器的一个传输波导区域连接，其余传输波导区域延伸至第一端形成波导直耦点；第二芯片，包括LiNbO3基底以及集成在LiNbO3基底上的多个相位调制器，每一相位调制器的一端与一波导直耦点连接，另一端延伸至第三端形成光纤直耦点。本申请将LiNbO3材料仅用于相位调制器，而将耦合器功能用价格相对低廉的SiO2方案来实现，具有价格低廉的技术优势，实现了光源、探测器、耦合器以及相位调制器四个器件的全集成，大为降低目前光纤陀螺的尺寸，提升可靠性和环境适应性。
-
公开(公告)号：CN118706102A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410900952.2
申请日：2024-07-05
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要： 本申请公开了一种基于复合拍频的惯性传感器及转速信号的检测方法，惯性传感器的光路组件包括光纤谐振腔；三个激光器，主光源出射基准光束，第一从光源将第一光束注入光纤谐振腔形成第一方向谐振信号，第二从光源将第二光束注入光纤谐振腔形成第二方向谐振信号；四个光电探测器分别输出第一拍频信号、第二拍频信号、第一频差信号、第二频差信号；电路组件基于上述信号控制三个激光器的工作频率，以及输出转速信号。本申请实现光拍频+光强的双重检测，基于光拍频信号输出转速信号，有效屏蔽了强度噪声的影响，充分结合光强检测的高动态、快响应特性以及拍频检测的低噪声、高精度特征，实现了高精度和高动态的效果。
-
公开(公告)号：CN117029799A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310839093.6
申请日：2023-07-10
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： G01C19/72
摘要： 本发明公开了一种干涉式光学陀螺系统，包括宽谱混沌光源、耦合单元、调制单元、干涉单元和探测单元，耦合单元连接宽谱混沌光源、调制单元和探测单元，调制单元连接干涉单元；宽谱混沌光源用于发射相干长度可调控的混沌光束；耦合单元用于将混沌光束传输至调制单元并接收经干涉单元作用后由调制单元传输的干涉光；调制单元用于对混沌光束进行起偏、分束和调制并传输干涉单元作用后的干涉光至耦合单元；干涉单元用于使经调制单元调制后的混沌光束在干涉单元的作用下发生干涉；探测单元用于探测经耦合单元传输的干涉光。本发明的干涉式光学陀螺系统具有高功率、高带宽、低成本、高可靠，能实现光源相干长度的调节，满足不同精度要求。
-
公开(公告)号：CN116858209A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202310839096.X
申请日：2023-07-10
申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
IPC分类号： G01C19/72
摘要： 本发明公开了一种基于谐振腔实时温度检测控制的光学陀螺系统，包括：光源模块，调制模块，谐振腔，锁频模块，驱动控制模块和温控模块；光源模块发出的光束在调制模块中分成两路，锁频模块将第一路光束信息反馈至光源模块以控制光源模块发出光束的中心频率，并将该频率锁定在谐振腔的谐振频率上；温控模块根据第二路光束信息控制谐振腔的温度，且驱动控制模块根据第二路光束信息控制调制模块实现对光源模块发出的光束的频率移动。本发明的光学陀螺系统，解决了现有谐振式光学陀螺系统因谐振腔激发两种偏振态，导致温度变化时影响光学陀螺长期工作稳定性的问题。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
11 条记录 (耗时 0.049 秒)
