一种体心立方钽涂层的制备方法

    公开(公告)号:CN108103463B

    公开(公告)日:2022-01-14

    申请号:CN201611053723.3

    申请日:2016-11-25

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/14

    摘要: 本发明涉及材料科学领域,特别涉及一种体心立方钽涂层的制备方法。采用负辉光区磁控溅射方法,基片零件放置在阳极与阴极之间的负辉光区内,基片加热温度在200~400℃之间,使用的电源为直流电源或脉冲电源,靶材为纯钽,工作气体为Ar,溅射功率密度为3W/cm2~15W/cm2之间。本发明能够沉积体心立方晶格α‑Ta涂层,结合力和抗热震性能显著优于优秀的常规磁控溅射钽涂层。采用本发明制备的钽涂层厚度达到100μm左右时与基体结合良好,而采用常规磁控溅射方法制备的钽涂层厚度达到15μm时就出现剥落。采用本发明制备的厚度为100μm钽涂层抗热震性能比采用常规磁控溅射方法制备的厚度为10μm钽涂层层高7倍。

    一种体心立方钽涂层的制备方法

    公开(公告)号:CN108103463A

    公开(公告)日:2018-06-01

    申请号:CN201611053723.3

    申请日:2016-11-25

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/14

    摘要: 本发明涉及材料科学领域,特别涉及一种体心立方钽涂层的制备方法。采用负辉光区磁控溅射方法,基片零件放置在阳极与阴极之间的负辉光区内,基片加热温度在200~400℃之间,使用的电源为直流电源或脉冲电源,靶材为纯钽,工作气体为Ar,溅射功率密度为3W/cm2~15W/cm2之间。本发明能够沉积体心立方晶格α‑Ta涂层,结合力和抗热震性能显著优于优秀的常规磁控溅射钽涂层。采用本发明制备的钽涂层厚度达到100μm左右时与基体结合良好,而采用常规磁控溅射方法制备的钽涂层厚度达到15μm时就出现剥落。采用本发明制备的厚度为100μm钽涂层抗热震性能比采用常规磁控溅射方法制备的厚度为10μm钽涂层层高7倍。

    一种蓄热型多热源热泵机组

    公开(公告)号:CN103032995A

    公开(公告)日:2013-04-10

    申请号:CN201210589540.9

    申请日:2012-12-27

    申请人: 东北大学

    IPC分类号: F25B30/02 F25B30/06 F25B41/04

    摘要: 一种蓄热型多热源热泵机组,属于热泵供热空调技术领域。本发明实现了太阳能、环境空气热能、浅层土壤热能交替利用,且结构紧凑。本发明包括压缩机、用户侧换热器、贮液器、干燥过滤器、节流装置、土壤侧换热器、气液分离器及与土壤侧换热器并联的翅片管换热器;压缩机与用户侧换热器相连接,用户侧换热器经贮液器与干燥过滤器相连接,干燥过滤器与节流装置相连接,节流装置依次通过第三阀门、第一阀门与土壤侧换热器相连接,土壤侧换热器经气液分离器与压缩机相连接;在土壤侧换热器和第一阀门的串联支路的两端并联有翅片管换热器支路,翅片管换热器支路由单向阀、翅片管换热器及第二阀门组成,本发明设置有三种供热模式及一种蓄热模式。

    适用于寒冷地区的多热源热泵机组

    公开(公告)号:CN203024489U

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN201220734040.5

    申请日:2012-12-27

    申请人: 东北大学

    摘要: 适用于寒冷地区的多热源热泵机组,属于热泵供热空调技术领域。本实用新型实现了太阳能、环境空气热能、浅层土壤热能交替利用。本实用新型包括压缩机、用户侧换热器、贮液器、干燥过滤器、节流装置、土壤侧换热器、气液分离器及与土壤侧换热器并联的翅片管换热器;压缩机与用户侧换热器相连接,用户侧换热器经贮液器与干燥过滤器相连接,干燥过滤器与节流装置相连接,节流装置依次通过第三阀门、第一阀门与土壤侧换热器相连接,土壤侧换热器经气液分离器与压缩机相连接;在土壤侧换热器和第一阀门的串联支路的两端并联有翅片管换热器支路,翅片管换热器支路由单向阀、翅片管换热器及第二阀门组成,本实用新型设置有三种供热模式及一种蓄热模式。