公开(公告)号：CN117845324A

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202311594825.6

申请日：2023-11-27

Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

Inventor： 黎大兵 ,  聂子凯 ,  吕顺鹏 ,  贲建伟 ,  张山丽 ,  孙晓娟 ,  蒋科

IPC: C30B25/12 ,  C30B25/08 ,  C30B25/16 ,  C23C16/458 ,  C23C16/52

Abstract: 本发明提供了一种MOCVD用托盘组件、反应腔、晶圆温度调控方法。本发明通过设置多个加热件，每个加热件可独立加热以控制托盘本体沿半径方向具有不同的温度分布，通过控制托盘本体的转速，进而使得晶圆在凹槽内朝沿靠近或远离托盘本体中心轴线方向移动，当晶圆在凹槽内移动到托盘本体不同半径处的位置，该半径位置的托盘本体处于设定的温度，此时该位置的托盘本体与晶圆进行热交换，由于晶圆质量小，该半径位置托盘本体已经处于设定温度，当晶圆移动到凹槽其它位置处，同样与该半径位置的托盘本体与晶圆进行热交换，因此可快速改变晶圆温度；本发明的托盘组件结构简单，操作方便，兼容目前主流MOCVD设备，具备广阔的应用前景。

公开(公告)号：CN117364060A

公开(公告)日：2024-01-09

申请号：CN202311316209.4

申请日：2023-10-11

Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

Inventor： 黎大兵 ,  聂子凯 ,  贲建伟 ,  孙晓娟 ,  蒋科 ,  吕顺鹏 ,  张山丽

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/34

Abstract: 本发明提供了一种MOCVD反应腔、生长AlGaN薄膜的方法。本发明的MOCVD反应腔，包括气体喷淋头、托盘、电压源；电压源的分别与气体喷淋头、托盘电连接，通过电压源控制气体喷淋头、托盘之间的电压；在生长AlGaN薄膜过程中，利用电压源在气体喷淋头、托盘之间产生强电场，这个电场穿过晶圆从而改变AlGaN薄膜表面电极性，使Al原子更不容易被N原子吸附，进而提升Al原子迁移率。本发明可以在不大幅改变生长条件情况下快速改变AlGaN的生长模式，使AlGaN薄膜的表面更平整，位错密度更低，晶体质量更高；本发明的MOCVD反应腔，结构简单，操作方便，具有低成本高性能的优点，具备广阔的应用前景。

公开(公告)号：CN218458354U

公开(公告)日：2023-02-10

申请号：CN202221069398.0

申请日：2022-05-06

Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

Inventor： 孙晓娟 ,  贲建伟 ,  聂子凯 ,  蒋科 ,  黎大兵

IPC: A61L2/10 ,  A61L2/24 ,  F21V33/00

Abstract: 本实用新型提供了一种UV‑LED后备箱消毒照明装置，包括具有UV‑LED灯珠的照明组件、后备箱和后备箱门，所述具有UV‑LED灯珠的照明组件固定在后备箱侧壁内侧和后备箱门内侧，所述后备箱包括固定底座和固定背板，所述固定背板固定安装在固定底座上；所述后备箱门的一端活动连接在固定背板上，另一端与固定底座相围合设置；所述后备箱和后备箱门关闭呈长方形柱体；本实用新型实现车辆后备箱内全方位、无死角的消毒，方便快捷又安全的方式，同时还可以设计UV‑LED灯珠与车辆后备箱门的开关监测装置联动，通过车辆设备控制系统以及人工智能算法，使UV‑LED灯在需要消毒的时候开启，提高效率。