固体粉末包埋热渗装置及方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117403178A

    公开(公告)日:2024-01-16

    申请号:CN202311618841.4

    申请日:2023-11-30

    IPC分类号: C23C10/48

    摘要: 本发明公开了一种固体粉末包埋热渗装置及方法,包括基座,所述基座包括底板,以及固定于所述底板上方的平台,所述平台的横截面积小于底板,沿所述平台外环的底板上表面设有密封槽,所述装置还包括贯穿所述基座的第一管道与第二管道,所述第一管道伸出所述平台上表面的高度大于第二管道;还包括支撑架与坩埚,所述支撑架位于所述平台上,所述坩埚由所述支撑架支撑;还包括马弗罐,所述马弗罐的开口朝下,开口端嵌入所述底板的密封槽内,形成炉膛。本发明提供的固体粉末包埋热渗装置及方法解决了制备高温防护涂层过程中渗剂容易被氧化的问题,不仅使制得的渗层深度符合要求,渗层质量好,还使渗剂能多次循环使用,降低了加工成本。