公开(公告)号：CN107651649A

公开(公告)日：2018-02-02

申请号：CN201610594788.2

申请日：2016-07-26

申请人： 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所

发明人： 王帅民 ,  肖鹏 ,  王小斌 ,  余才佳 ,  任伶

IPC分类号： B81B7/02 ,  G01P15/00

摘要： 本发明属于MEMS技术领域，涉及一种数字输出的无源阵列式MEMS传感器。所述的传感器包括硅微机械传感单元，所述的硅微机械传感单元包括重掺杂欧姆接触区(31、34)、硅悬臂梁(32)、硅接触块(33)，硅悬臂梁(32)的一侧固定有硅接触块(33)，硅悬臂梁(32)的一端和硅接触块(33)的一侧分别设置有重掺杂欧姆接触区，传感器的每个功能区内包括由硅微机械传感单元组成的陈列；传感器感受到外部环境变化后，每个功能区硅微机械传感单元阵列并行输出每个硅微机械传感单元中硅悬臂梁(32)与硅接触块(33)的接触状态。提出了一种数字输出的新型无源阵列式MEMS传感器，解决了MEMS传感器体积不易缩小、功耗难以降低的问题。

公开(公告)号：CN107651649B

公开(公告)日：2019-10-18

申请号：CN201610594788.2

申请日：2016-07-26

申请人： 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所

发明人： 王帅民 ,  肖鹏 ,  王小斌 ,  余才佳 ,  任伶

IPC分类号： B81B7/02 ,  G01P15/00

摘要： 本发明属于MEMS技术领域，涉及一种数字输出的无源阵列式MEMS传感器。所述的传感器包括硅微机械传感单元，所述的硅微机械传感单元包括重掺杂欧姆接触区(31、34)、硅悬臂梁(32)、硅接触块(33)，硅悬臂梁(32)的一侧固定有硅接触块(33)，硅悬臂梁(32)的一端和硅接触块(33)的一侧分别设置有重掺杂欧姆接触区，传感器的每个功能区内包括由硅微机械传感单元组成的陈列；传感器感受到外部环境变化后，每个功能区硅微机械传感单元阵列并行输出每个硅微机械传感单元中硅悬臂梁(32)与硅接触块(33)的接触状态。提出了一种数字输出的新型无源阵列式MEMS传感器，解决了MEMS传感器体积不易缩小、功耗难以降低的问题。

公开(公告)号：CN211234439U

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：CN201921763931.1

申请日：2019-10-18

申请人： 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所

发明人： 易华祥 ,  陈旭辉 ,  孟冰 ,  肖鹏 ,  冯志民 ,  余才佳

IPC分类号： G01C21/16

摘要： 本实用新型公开一种基于单轴MEMS陀螺的高压开关姿态传感器，其特征在于信号处理电路板(1)安装在上盖部件(3)上，上盖部件(3)侧壁有出线端口(6)，电线和信号线缆均通过出线端口(6)与信号处理电路板连接，信号处理电路板输入端设有隔离电路，陀螺电路板(2)安装在底板部件(4)上，单轴MEMS陀螺(5)安装在陀螺电路板(2)上。信号处理电路板(1)和陀螺电路板(2)之间进行电信号连接，上盖部件(3)和底板部件(4)紧固安装。上盖部件(3)、底板部件(4)和出线端口(6)之间填充防水绝缘材料(7)。本实用新型采用单轴MEMS陀螺作为核心部件测量转角运动，产品组成简单，功耗小，可靠性高。