一种梳齿电容式微机电加速度计结构

    公开(公告)号:CN110806498B

    公开(公告)日:2022-01-07

    申请号:CN201910998709.8

    申请日:2019-10-18

    IPC分类号: G01P15/125 G01P1/00

    摘要: 本发明公开一种梳齿电容式微机电加速度计结构。结构包括梳齿组、质量块、挠性梁、挠性梁支撑杆和梳齿支撑杆。质量块为“日”字型框体结构,梳齿组为变间隙的梳齿组,构成梳齿组的单根梳齿为交叠区齿宽渐变的5边形齿。梳齿组交叉分布在质量块框体的内外两侧组成差分电容,梳齿组的可动齿与质量块相连,然后通过质量块框体四个角上的4根挠性梁悬挂在结构最外两侧的挠性梁支撑杆两端,梳齿组的固定齿与梳齿支撑杆相连。5边形齿可以在保持齿间隙比的同时增加齿对数,有利于提高加速度计的灵敏度。交叉分布的梳齿组可弥补刻蚀工艺不均匀带来的电容差异,提高电容对称性;还可以补偿差分电容受环境温度变化的影响,提高加速度计刻度系数的稳定性。

    一种数字输出的无源阵列式MEMS传感器

    公开(公告)号:CN107651649B

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201610594788.2

    申请日:2016-07-26

    IPC分类号: B81B7/02 G01P15/00

    摘要: 本发明属于MEMS技术领域,涉及一种数字输出的无源阵列式MEMS传感器。所述的传感器包括硅微机械传感单元,所述的硅微机械传感单元包括重掺杂欧姆接触区(31、34)、硅悬臂梁(32)、硅接触块(33),硅悬臂梁(32)的一侧固定有硅接触块(33),硅悬臂梁(32)的一端和硅接触块(33)的一侧分别设置有重掺杂欧姆接触区,传感器的每个功能区内包括由硅微机械传感单元组成的陈列;传感器感受到外部环境变化后,每个功能区硅微机械传感单元阵列并行输出每个硅微机械传感单元中硅悬臂梁(32)与硅接触块(33)的接触状态。提出了一种数字输出的新型无源阵列式MEMS传感器,解决了MEMS传感器体积不易缩小、功耗难以降低的问题。

    一种数字输出的无源阵列式MEMS传感器

    公开(公告)号:CN107651649A

    公开(公告)日:2018-02-02

    申请号:CN201610594788.2

    申请日:2016-07-26

    IPC分类号: B81B7/02 G01P15/00

    摘要: 本发明属于MEMS技术领域,涉及一种数字输出的无源阵列式MEMS传感器。所述的传感器包括硅微机械传感单元,所述的硅微机械传感单元包括重掺杂欧姆接触区(31、34)、硅悬臂梁(32)、硅接触块(33),硅悬臂梁(32)的一侧固定有硅接触块(33),硅悬臂梁(32)的一端和硅接触块(33)的一侧分别设置有重掺杂欧姆接触区,传感器的每个功能区内包括由硅微机械传感单元组成的陈列;传感器感受到外部环境变化后,每个功能区硅微机械传感单元阵列并行输出每个硅微机械传感单元中硅悬臂梁(32)与硅接触块(33)的接触状态。提出了一种数字输出的新型无源阵列式MEMS传感器,解决了MEMS传感器体积不易缩小、功耗难以降低的问题。

    一种梳齿电容式微机电加速度计结构

    公开(公告)号:CN110806498A

    公开(公告)日:2020-02-18

    申请号:CN201910998709.8

    申请日:2019-10-18

    IPC分类号: G01P15/125 G01P1/00

    摘要: 本发明公开一种梳齿电容式微机电加速度计结构。结构包括梳齿组、质量块、挠性梁、挠性梁支撑杆和梳齿支撑杆。质量块为“日”字型框体结构,梳齿组为变间隙的梳齿组,构成梳齿组的单根梳齿为交叠区齿宽渐变的5边形齿。梳齿组交叉分布在质量块框体的内外两侧组成差分电容,梳齿组的可动齿与质量块相连,然后通过质量块框体四个角上的4根挠性梁悬挂在结构最外两侧的挠性梁支撑杆两端,梳齿组的固定齿与梳齿支撑杆相连。5边形齿可以在保持齿间隙比的同时增加齿对数,有利于提高加速度计的灵敏度。交叉分布的梳齿组可弥补刻蚀工艺不均匀带来的电容差异,提高电容对称性;还可以补偿差分电容受环境温度变化的影响,提高加速度计刻度系数的稳定性。