公开(公告)号：CN118866991A

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202410682633.9

申请日：2024-05-29

申请人： 中建材光电装备(太仓)有限公司 ,  中国建材集团有限公司 ,  中建材玻璃新材料研究院集团有限公司

发明人： 夏申江 ,  葛治亮 ,  张超群 ,  王贝 ,  王程 ,  成慧峰 ,  杨卫明

IPC分类号： H01L31/0216 ,  C23C14/06 ,  C23C14/18 ,  C23C14/35 ,  C23C14/54 ,  H01L31/032 ,  H01L31/18

摘要： 本发明涉及一种薄膜太阳能电池金属预制层、生产装置及使用方法，属于薄膜太阳能电池技术领域。该金属预制层包括设置于导电衬底的基板上的铜钠合金层，以及在铜钠合金层上设有依次交替设置两层或两层以上的铜镓合金层和金属铟层；这样交替层叠的膜结构使所对应生产装置中的磁控溅射靶材简单化，相对于铜铟镓三元合金靶材，铜镓二元合金靶制作简单，靶材中铜镓原子比容易稳定控制，通过磁控溅射技术溅射得到的铜镓膜层结构稳定、均匀性好，铟靶是纯金属靶，制备简单；另外将钠直接引入到铜靶中，钠含量可控，可以根据铜铟镓硒薄膜太阳能电池要求调节钠含量，在导电衬底基板上直接沉积铜钠合金层，更加有益于钠在后续铜铟镓预制层的硒化过程。