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公开(公告)号:CN118598078A
公开(公告)日:2024-09-06
申请号:CN202410801064.5
申请日:2024-06-20
申请人: 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
摘要: 本发明涉及一种超高纯电子级氘气纯化除水及二氧化碳的工艺方法,包括以下步骤:S1、抽空置换:将纯化系统进行抽真空,抽真空使纯化系统内部压力降至‑0.098Mpa以下,后置换气体介质为高纯氦气;S2、将氘气粗品气通入萃取塔,萃取塔设置塔板数为20~40,控制粗品气的进气流量为22~27L/min,控制萃取塔的操作压力为0.1~0.4Mpa,操作温度为‑50~‑20℃,塔底得到重组分萃取剂、重水和二氧化碳,塔顶混合气经冷凝后得到99.999%的氘气;S3、将萃取塔塔底的重组分排入精馏塔,精馏塔设置塔板数为15~30,控制精馏塔操作压力为常压,塔顶操作温度设置为25~40℃,塔釜操作温度为90~100℃,将萃取剂、重水和二氧化碳分离;S4、将精馏塔分离后得到的二氧化碳排空,萃取剂和重水进行回收再利用。