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发明公开
LPCVD石英舟的清洗方法审中-实审

公开(公告)号：CN114192489A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202111505989.8

申请日：2021-12-10

申请人： 中节能太阳能科技(镇江)有限公司

发明人： 许礼 , 张中建 , 高荣刚 , 龚琴赟 , 其他发明人请求不公开姓名

IPC分类号： B08B3/08 , B08B3/10 , B08B3/04 , B08B13/00

摘要： 本发明公开了一种LPCVD石英舟的清洗方法，采用碱洗液对石英舟进行碱洗。对于TOPCon工艺流程中LPCVD非晶硅制备方法使用的石英舟，采用碱洗液对石英舟进行清洗，去除表面的非晶硅层，但碱洗液不会与石英舟本身的氧化硅反应，因此清洗过程、清洗程度容易控制，仅需控制充分碱洗去除非晶硅层和充分水洗去除碱洗液，不仅去除非晶硅层的效果好，还没有对石英舟本身刻蚀的风险，石英舟的使用寿命大幅提高；相比于酸洗液，碱洗液的用料成本低，无酸洗产生的氟排放和废水处理成本。