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公开(公告)号：CN104181812A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201310188443.3
申请日：2013-05-20
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： G05B13/02 , H01L21/677
摘要： 本发明提供了一种晶片货架提示方法，装置和系统，将放置在晶片货架上的当前待处理的晶片组与实时派工系统中该加工区域的机台组的待处理晶片组进行匹配，判断当前待处理晶片组的下一道工序对应机台组是否是该加工区域中的机台组，以及当前待处理晶片组对应的加工处理顺序，不需要人工判断确定需要优先派工的待处理晶片组，提高了半导体生产效率，降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN102800563B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201110139479.3
申请日：2011-05-26
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
摘要： 本发明提供一种晶片投片方法，包括：获取当前可使用反应室的信息；将所有完成相同工艺步骤的可使用反应室进行分组，以得到对应该工艺步骤的至少一个反应室组；根据制程包括的工艺步骤及各工艺步骤对应的至少一个反应室组，获得所有可能的制程方案；计算各制程方案对应的反应室利用率；将待处理晶片按反应室利用率高的制程方案进行投片。本发明还提供一种晶片投片装置。采用本发明提供的晶片投片方法与晶片投片装置，可以提高反应室利用率。
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公开(公告)号：CN105843180A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201510021499.9
申请日：2015-01-15
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： Y02P90/02
摘要： 基于半导体加工设备生产配方的派货系统，具体涉及一种派货系统及方法。包括，信息获取模块，用于获取半导体加工设备内的生产配方；存储模块，用于存储生产配方以及生产配方所属的半导体加工设备信息；解析处理模块，用于解析生产配方，并进行匹配，建立一匹配列表；派货处理模块，判断设定半导体加工设备上是否存在与待处理晶圆批次的晶圆批次生产配方匹配的生产配方，并生成一判断结果，结合判断结果与匹配列表建立待处理晶圆批次的派货顺序进行派货。本发明可以实时准确的计算出晶圆批次对应的派货顺序，有效的减少设备的等待时间，大大提高设备利用率，缩短晶圆批次的生产周期，减少传输系统以及工程师的无效操作。
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公开(公告)号：CN105302078A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201410245482.7
申请日：2014-06-04
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： G05B19/418 , H01L21/67
摘要： 本发明涉及一种半导体制造工艺中炉管机台运行的控制系统及方法，所述方法包括步骤A：获取上游机台晶圆组的信息、炉管机台晶圆组的信息以及炉管机台信息；步骤B：根据步骤A中的所述信息计算所述上游机台晶圆组的炉管预批量处理值和所述炉管机台晶圆组的炉管预批量处理值；步骤C：根据所述预批量处理值，对所述上游机台和炉管机台进行排货和派货。本发明的优点在于：(1)设计者(Planner)和监控者(supervisor)可实时维护和监控机台以及Lots信息，保证数据的实时性和准确性。(2)上游的机台可以根据下游的炉管机台的实际需求，及时准确的生产，既保证了上游机台的利用率和产量，又满足了下游机台的需求。实现了整个上下游机台利用率的最大化。
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公开(公告)号：CN102800563A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201110139479.3
申请日：2011-05-26
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
摘要： 本发明提供一种晶片投片方法，包括：获取当前可使用反应室的信息；将所有完成相同工艺步骤的可使用反应室进行分组，以得到对应该工艺步骤的至少一个反应室组；根据制程包括的工艺步骤及各工艺步骤对应的至少一个反应室组，获得所有可能的制程方案；计算各制程方案对应的反应室利用率；将待处理晶片按反应室利用率高的制程方案进行投片。本发明还提供一种晶片投片装置。采用本发明提供的晶片投片方法与晶片投片装置，可以提高反应室利用率。
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公开(公告)号：CN105302078B
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201410245482.7
申请日：2014-06-04
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： G05B19/418 , H01L21/67
摘要： 本发明涉及一种半导体制造工艺中炉管机台运行的控制系统及方法，所述方法包括步骤A：获取上游机台晶圆组的信息、炉管机台晶圆组的信息以及炉管机台信息；步骤B：根据步骤A中的所述信息计算所述上游机台晶圆组的炉管预批量处理值和所述炉管机台晶圆组的炉管预批量处理值；步骤C：根据所述预批量处理值，对所述上游机台和炉管机台进行排货和派货。本发明的优点在于：(1)设计者(Planner)和监控者(supervisor)可实时维护和监控机台以及Lots信息，保证数据的实时性和准确性。(2)上游的机台可以根据下游的炉管机台的实际需求，及时准确的生产，既保证了上游机台的利用率和产量，又满足了下游机台的需求。实现了整个上下游机台利用率的最大化。
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公开(公告)号：CN104181812B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201310188443.3
申请日：2013-05-20
申请人： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC分类号： G05B13/02 , H01L21/677
摘要： 本发明提供了一种晶片货架提示方法，装置和系统，将放置在晶片货架上的当前待处理的晶片组与实时派工系统中该加工区域的机台组的待处理晶片组进行匹配，判断当前待处理晶片组的下一道工序对应机台组是否是该加工区域中的机台组，以及当前待处理晶片组对应的加工处理顺序，不需要人工判断确定需要优先派工的待处理晶片组，提高了半导体生产效率，降低了生产成本。
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