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公开(公告)号：CN115332434A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210734575.0
申请日：2022-06-27
申请人： 中国科学技术大学
IPC分类号： H01L41/187 , H01L41/20 , H01L41/37 , H01L41/47 , H01L27/20
摘要： 本发明提供了一种磁电复合材料，包括：交替设置的BaFe12O19铁磁相层和Pb(Zr,Ti)O3压电相层。本发明复合材料的磁电耦合响应还可通过电场或磁场进行双重调控。其中，BaFe12O19作为铁磁相，Pb(Zr,Ti)O3作为压电相。该复合材料磁电耦合响应随偏置磁场的变化呈蝴蝶曲线状，磁电耦合系数在偏置磁场降到零的过程中仍能保持稳定不变，具有大自偏置效应，且其磁电耦合系数最大值和最小值具有很好的时间稳定性，在存储器件上有较大的应用前景。同时，该复合材料在电场作用下，其铁电相极化状态的转变对复合材料铁磁相的磁性也存在着调控作用。
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公开(公告)号：CN111682045B
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202010582074.6
申请日：2020-06-23
申请人： 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号： H01L27/20 , H01L41/31 , H01L23/498 , H01L21/336 , G06V40/13
摘要： 本发明涉及一种超声波指纹识别传感器，包括硬质基板，设置于所述硬质基板上的柔性衬底，以及依次设置于柔性衬底上的接收电极层、压电膜层和发射电极层，还包括设置于所述硬质基板与所述柔性衬底之间的第一焊盘，所述第一焊盘用于将所述接收电极层与外部电路板绑定连接、以获得指纹图像。本发明还涉及一种显示模组和超声波指纹识别传感器的制作方法。
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公开(公告)号：CN109494297B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN201710819250.1
申请日：2017-09-12
申请人： 江西欧迈斯微电子有限公司
发明人： 汪羽
IPC分类号： H01L41/257 , H01L27/20 , G06V40/12
摘要： 本发明涉及一种压电层的极化方法和超声波生物识别装置的制备方法。该压电层的极化方法包括：将保护膜粘附在压电层远离基板的一侧上，并使每相邻两列压电层之间的间隙上均具有一个聚酰亚胺膜，且聚酰亚胺膜与压电层远离基板的一侧的边缘通过粘结层粘结固定，聚酰亚胺膜和压电层共同配合以完全遮盖电路层；将待极化件固定在导电托盘中，并使基板的第二表面朝向导电托盘和使电路层与导电托盘电连接；将导电托盘与地线连接，并在靠近压电层粘附有聚酰亚胺膜的一侧电晕放电以进行极化处理；将聚酰亚胺膜和粘结层从压电层上分离。该压电层的极化方法操作简单，且能够使压电层在基板上实现有效地极化。
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公开(公告)号：CN114377929A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202011115530.2
申请日：2020-10-19
申请人： 上海新微技术研发中心有限公司
摘要： 本申请提供一种换能器探头、制作方法及医用设备。所述换能器探头包括基底芯片、绝缘层、双压电层和导电组件。绝缘层覆盖在所述基底芯片的上表面。双压电层设置在所述绝缘层上表面，包括压力层、超声层和位于所述压力层和超声层中间并能够屏蔽超声层和压力层之间信号干扰的隔离层；所述超声层位于所述压力层的上方。导电组件包括用于电连接所述基底芯片与所述压力层的第一导电组件和用于电连接所述基底芯片与所述超声层的第二导电组件。本申请将具有压力探测的压力层和具有超声成像功能的超声层设置在一个换能器探头结构中，压力信号和超声信号同步独立检测，因此能够在进行压力探测的同时还可进行超声成像，拓展了产品的功能，拓宽了应用场景。
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公开(公告)号：CN112563405B
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202011406316.2
申请日：2020-12-02
申请人： 联合微电子中心有限责任公司
IPC分类号： H01L41/113 , H01L41/047 , H01L41/22 , H01L41/29 , H01L27/20 , G01L1/20 , G01L9/06
摘要： 公开了一种压力传感器单元以及多维压力传感器及其制造方法。该压力传感器单元包括：底电极；底电极引线，与底电极电连接；压电材料层；顶电极；顶电极引线，与顶电极电连接，其中，底电极、压电材料层和顶电极沿着压电材料层的敏感轴方向顺序堆叠，以用于感测敏感轴方向上的压力，并且其中，底电极引线和顶电极引线之一包括电阻分段和引线分段，电阻分段充当电阻式传感器，用于感测电阻分段的长度方向上的压力。
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公开(公告)号：CN112563405A
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN202011406316.2
申请日：2020-12-02
申请人： 联合微电子中心有限责任公司
IPC分类号： H01L41/113 , H01L41/047 , H01L41/22 , H01L41/29 , H01L27/20 , G01L1/20 , G01L9/06
摘要： 公开了一种压力传感器单元以及多维压力传感器及其制造方法。该压力传感器单元包括：底电极；底电极引线，与底电极电连接；压电材料层；顶电极；顶电极引线，与顶电极电连接，其中，底电极、压电材料层和顶电极沿着压电材料层的敏感轴方向顺序堆叠，以用于感测敏感轴方向上的压力，并且其中，底电极引线和顶电极引线之一包括电阻分段和引线分段，电阻分段充当电阻式传感器，用于感测电阻分段的长度方向上的压力。
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公开(公告)号：CN112271247A
公开(公告)日：2021-01-26
申请号：CN202011159656.X
申请日：2020-10-26
申请人： 中国科学院微电子研究所
IPC分类号： H01L41/113 , H01L41/18 , H01L41/27 , H01L29/786 , H01L27/20 , G01L1/00 , G01L9/00 , B82Y30/00 , B82Y40/00
摘要： 一种基于薄膜晶体管的压力传感器及其制备方法，该基于薄膜晶体管的压力传感器包括薄膜晶体管；底电极，设置在薄膜晶体管背板凹槽上；种子层，设置在底电极上；氧化锌纳米线层，设置在种子层上；支撑层，设置在氧化锌纳米线层上；以及顶电极，设置在支撑层上。本发明实现了基于a‑IGZO‑TFT(非晶态的铟镓锌氧化物薄膜晶体管)和ZnO NWs(氧化锌纳米线)的压力传感器实现的制作，其工艺比较简单，可以推广到制作多种薄膜晶体管与ZnO NWs的压力传感器。
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公开(公告)号：CN109786422B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201910064348.X
申请日：2019-01-23
申请人： 西安交通大学
摘要： 本发明提供了一种压电激振受拉式硅微谐振压力传感器芯片及其制备方法，压力传感器芯片主要包括密封玻璃盖、谐振器层、压力敏感膜层、应力隔离垫、压电激励元件和电阻拾振元件，采用压力敏感膜片和谐振器复合结构，为二次敏感模式，谐振器层包括谐振梁和扭转梁，相邻的两根谐振梁一端的延伸部连接至同一悬置扭转梁，另一端与质量块连接，质量块中部设置有耦合梁，谐振器通过连接点与锚点连接，应力隔离垫上设有导压孔，压力由导压孔传递到矩形压力敏感膜片引起其变形，该变形通过锚点放大，传递到谐振器层，谐振梁和耦合梁外表面上分别布置有压电激励元件和电阻拾振元件，压电激励元件和电阻拾振元件分别通过导线与外部电路连接。
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公开(公告)号：CN111682045A
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN202010582074.6
申请日：2020-06-23
申请人： 京东方科技集团股份有限公司
IPC分类号： H01L27/20 , H01L41/31 , H01L23/498 , H01L21/336 , G06K9/00
摘要： 本发明涉及一种超声波指纹识别传感器，包括硬质基板，设置于所述硬质基板上的柔性衬底，以及依次设置于柔性衬底上的接收电极层、压电膜层和发射电极层，还包括设置于所述硬质基板与所述柔性衬底之间的第一焊盘，所述第一焊盘用于将所述接收电极层与外部电路板绑定连接、以获得指纹图像。本发明还涉及一种显示模组和超声波指纹识别传感器的制作方法。
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公开(公告)号：CN107394036B
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201710305709.6
申请日：2017-05-03
申请人： 新加坡商世界先进积体电路私人有限公司
发明人： 亚维克·纳斯·查特基 , 拉盖·库马 , 杰米·夫卡司 , 马特斯·汤马士·马拉克
IPC分类号： H01L41/047 , H01L27/20 , B06B1/06 , G01H11/08
摘要： 本发明涉及pMUT及pMUT换能器阵列的电极配置，根据本文所述例示性具体实施例所提供的是各具有第一电极的压致微机械超音波换能器(pMUT)，该第一电极包括第一电极部与第二电极部。该第二电极部可与该第一电极部分别操作。第二电极与该第一电极隔开并且在该第一电极与该第二电极间界定空间。压电材料设置于该空间中。还提供的是pMUT的阵列，其中个别pMUT具有可与阵列诸列操作性联结的第一电极部、以及可与阵列诸行操作性联结的第二电极部。
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