公开(公告)号：CN101506839B

公开(公告)日：2012-10-31

申请号：CN200780030442.9

申请日：2007-07-25

申请人： 于利奇研究中心有限公司

发明人： A·瑟斯特 ,  J·巴塞尔

IPC分类号： G06T5/00 ,  H01J37/26

CPC分类号： H01J37/222 ,  G06K9/03 ,  H01J37/26 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/223 ,  H01J2237/2617 ,  H01J2237/2823

摘要： 本发明涉及一种用于测量二维图像相似性的方法，其中至少一个图像包含附加信号，其位置依赖性或者对称特征至少可以估计出来。本发明涉及所述图像被分割成相互等同的子图像，使得至少一个子图像在附加信号的梯度方向上的范围小于此子图像在与此垂直的方向上的范围。所述子图像被单独比较并且组合所有比较的结果以便形成相似性的测量结果。因而，这使所述方法对于附加信号的变化并不敏感。所述方法尤其适合于确定在电子显微镜图像中的散焦和散光。这取决于实验测量的图像与以散焦和散光的特定值产生的模拟图像的相似性比较。

公开(公告)号：CN101506839A

公开(公告)日：2009-08-12

申请号：CN200780030442.9

申请日：2007-07-25

申请人： 于利奇研究中心有限公司

发明人： A·瑟斯特 ,  J·巴塞尔

IPC分类号： G06T5/00 ,  H01J37/26

CPC分类号： H01J37/222 ,  G06K9/03 ,  H01J37/26 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/223 ,  H01J2237/2617 ,  H01J2237/2823

摘要： 本发明涉及一种用于测量二维图像相似性的方法，其中至少一个图像包含附加信号，其位置依赖性或者对称特征至少可以估计出来。本发明涉及所述图像被分割成相互等同的子图像，使得至少一个子图像在附加信号的梯度方向上的范围小于此子图像在与此垂直的方向上的范围。所述子图像被单独比较并且组合所有比较的结果以便形成相似性的测量结果。因而，这使所述方法对于附加信号的变化并不敏感。所述方法尤其适合于确定在电子显微镜图像中的散焦和散光。这取决于实验测量的图像与以散焦和散光的特定值产生的模拟图像的相似性比较。