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    用于自动校正像散的方法
    2.
    发明公开
    用于自动校正像散的方法 有权

    公开(公告)号：CN106062917A

    公开(公告)日：2016-10-26

    申请号：CN201580006977.7

    申请日：2015-06-17

    申请人： 智能病毒成像公司

    发明人： I-M·斯滔恩 ,  R·诺德斯特龙 ,  G·卡尔伯格

    IPC分类号： H01J37/153

    CPC分类号： H01J37/153 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/223

    摘要： 该方法用于透镜系统的自动像散校正。在透镜组的第一消像散器设置下，提供未被聚焦的第一图像(96)。计算装置计算相应的第一傅立叶光谱图像(312)。通过计算第一矢量(132)和第二矢量(134)，确定傅立叶光谱图像(128，130，312)的像素的分布和方向。将第一矢量(132)与第二矢量(134)相比较。将透镜系统从第一消像散器设置改变为第二消像散器设置以提供第二图像(98)。计算相应的傅立叶光谱图像(314)。通过计算第三矢量和第四矢量来确定第二傅立叶光谱图像(314)的像素的分布和方向。将第三矢量与第四矢量相比较。选择具有最低的矢量比率的图像。

    相关光学和带电粒子显微镜
    3.
    发明授权
    相关光学和带电粒子显微镜 有权

    公开(公告)号：CN104810230B

    公开(公告)日：2017-03-08

    申请号：CN201510040069.1

    申请日：2015-01-27

    申请人： FEI ,  公司

    发明人： B.布伊斯塞

    IPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/26

    CPC分类号： H01J37/226 ,  H01J37/20 ,  H01J37/228 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/223 ,  H01J2237/2602

    摘要： 相关光学和带电粒子显微镜。本发明涉及装配有TEM柱和光显微镜（10）的相关光和电子显微镜（CLEM），所述光显微镜安装在TEM的物镜的极靴（8A、8B）之间。为了扩大针对增强的灵敏度的接受立体角而使用截短的透镜。应注意的是这并不意味着透镜示出像散（其并不是圆筒形透镜）。本发明还教导在样本（1）处于第一方向上的情况下使用光显微镜来制作第一图像。由于两个方向312x，312y）上的透镜的不同NA，此图像将在一个方向上示出比在与之垂直的方向上更高的（衍射限制）分辨率。通过使样本旋转并制作第二图像，可以形成与在其中其示出低NA的方向上的图像中的任一个相比示出更好分辨率的组合图像。

    相关光学和带电粒子显微镜
    4.
    发明公开
    相关光学和带电粒子显微镜 有权

    公开(公告)号：CN104810230A

    公开(公告)日：2015-07-29

    申请号：CN201510040069.1

    申请日：2015-01-27

    申请人： FEI公司

    发明人： B.布伊斯塞

    IPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/26

    CPC分类号： H01J37/226 ,  H01J37/20 ,  H01J37/228 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/14 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/223 ,  H01J2237/2602

    摘要： 相关光学和带电粒子显微镜。本发明涉及装配有TEM柱和光显微镜（10）的相关光和电子显微镜（CLEM），所述光显微镜安装在TEM的物镜的极靴（8A、8B）之间。为了扩大针对增强的灵敏度的接受立体角而使用截短的透镜。应注意的是这并不意味着透镜示出像散（其并不是圆筒形透镜）。本发明还教导在样本（1）处于第一方向上的情况下使用光显微镜来制作第一图像。由于两个方向（312x，312y）上的透镜的不同NA，此图像将在一个方向上示出比在与之垂直的方向上更高的（衍射限制）分辨率。通过使样本旋转并制作第二图像，可以形成与在其中其示出低NA的方向上的图像中的任一个相比示出更好分辨率的组合图像。