一种PVT生长SiC单晶籽晶粘接盘及粘接方法

    公开(公告)号:CN111321469A

    公开(公告)日:2020-06-23

    申请号:CN202010262959.8

    申请日:2020-04-07

    IPC分类号: C30B29/36 C30B23/00

    摘要: 本发明涉及半导体材料SiC单晶生长领域,具体公开了一种PVT生长SiC单晶籽晶粘接盘及粘接方法,所述籽晶粘接盘包括籽晶和石墨圆板,籽晶粘接于石墨圆板上,所述石墨圆板直径不小于籽晶直径,石墨圆板上设置有数个等间距的凹坑,凹坑外缘与籽晶边缘相切,然后使用粘接剂将籽晶粘接在改造后的粘接盘上,本发明所涉及的籽晶粘接盘结构减小了籽晶粘接应力,使得PVT方法生长出的碳化硅单晶晶体缺陷密度降低,晶体更容易与粘接盘分离。所需结构无须过高成本,却改善了晶体材料的质量,而且可以减少企业的生产成本,使得碳化硅材料在半导体领域的应用中发挥更好更高效的作用。

    一种PVT生长SiC单晶籽晶粘接盘

    公开(公告)号:CN212103066U

    公开(公告)日:2020-12-08

    申请号:CN202020485292.3

    申请日:2020-04-07

    IPC分类号: C30B29/36 C30B23/00

    摘要: 本实用新型涉及半导体材料SiC单晶生长领域,具体公开了一种PVT生长SiC单晶籽晶粘接盘,所述籽晶粘接盘包括籽晶和石墨圆板,籽晶粘接于石墨圆板上,石墨圆板直径不小于籽晶直径,石墨圆板上设置有数个等间距的凹坑,凹坑外缘与籽晶边缘相切,本实用新型所涉及的籽晶粘接盘结构减小了籽晶粘接应力,使得PVT方法生长出的碳化硅单晶晶体缺陷密度降低,晶体更容易与粘接盘分离。所需结构无须过高成本,却改善了晶体材料的质量,而且可以减少企业的生产成本,使得碳化硅材料在半导体领域的应用中发挥更好更高效的作用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    下向水平分层干式充填采矿法

    公开(公告)号:CN103061767B

    公开(公告)日:2015-08-05

    申请号:CN201310016762.6

    申请日:2013-01-17

    IPC分类号: E21C41/16 E21F15/00 E21F16/00

    摘要: 本发明涉及一种采矿方法,该采矿法的回采顺序为从上向下翻层,每个回采层为2-2.2m,回采层底部用物料进行充填,回采过程中随采随充填,该充填层作为下一个回采层的顶板,工作面推进方向由顶板向底板推进;生产过程中回采工作面保持最大控顶距离3.2米,最小控顶距2.2米,在每个回采层设置一至两层钢筋混凝土隔水层,隔水层向一侧倾斜,在下一个分层将水排到水仓,经矿井排水系统排出井外。该方法改变了传统的采矿工艺,采用下向分层的充填采矿法,回采效率提高,做到随采随充填,使采矿及冶炼过程中产生的废物得到充分利用,减少了排放污染物对环境造成的污染,减少了占用土地资源,基本杜绝了冒顶事故发生。

    热还原挥发富集低品位锗精矿中锗的方法

    公开(公告)号:CN104805315A

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201510226950.0

    申请日:2015-05-07

    IPC分类号: C22B41/00 C22B5/16

    摘要: 热还原挥发富集低品位锗精矿中锗的方法,属于冶金技术领域中的锗提取方法,尤其是一种从低品位锗精矿中还原挥发富集回收锗的方法。热还原挥发富集低品位锗精矿中锗的方法,该方法采用次亚磷酸钠为还原剂,将低品位的锗精矿和次亚磷酸钠混匀,放入还原挥发炉内,隔绝空气后,采用微波加热的方式,在900-1100℃的条件下,进行还原挥发,低品位锗精矿中的锗以一氧化锗的形式挥发进入收尘布袋中,从而使锗与其它大量的不挥发杂质成分分离,收集挥发份后,得到高含锗的锗精矿,将高含量采用在盐酸溶液中用二氧化锰氧化,盐酸加热浸出,然后蒸馏分离来提取锗。本方法具有较高的锗回收率,较低的生产成本,较小的设备投入,避免了大量的废水废气废渣的排放及处理,可彻底解决湿法处理带来的废酸废水废渣难处理的问题,能大幅降低提锗过程对环境造成的污染。

    湿法从铬-锗合金废料中回收锗

    公开(公告)号:CN101186973A

    公开(公告)日:2008-05-28

    申请号:CN200610048817.1

    申请日:2006-11-15

    摘要: 湿法从铬-锗合金废料中回收锗。本发明针对铬-锗合金中含有多种金属杂质,和铬-锗相互包裹及切割过程中,由于使用了有机溶剂而掺有大量的有机物质的废锗粉料,提供了一种回收锗的方法,用NaOH-H2O2溶解体系来破坏废料中的有机物,使其在NaOH中皂化,利用H2O2来氧化物料中裸露的锗金属使其变成离子进入溶液,然后利用盐酸中和过量的碱并蒸馏出溶出的锗,再用盐酸-MnO2体系中的盐酸与铬及部分金属杂质反应进入溶液,另一部分不与盐酸反应的金属杂质则被MnO2与盐酸反应生成的氯气氧化进入溶液,被这些杂质包裹的锗被释放出来与氯气反应,形成Ge4+离子,经二次蒸馏,Ge4+离子与氯离子结合形成四氯化锗逸出,从而与其他杂质分离。用本方法回收锗,回收率可达99%以上。

    一种有机锗废液中锗的回收方法

    公开(公告)号:CN101871047B

    公开(公告)日:2011-12-14

    申请号:CN201010191424.2

    申请日:2010-06-04

    IPC分类号: C22B7/00 C22B41/00

    CPC分类号: Y02P10/234

    摘要: 本发明是一种有机锗废液中锗的回收方法。在有机锗废液中按质量比加入MgCl2和CaO,MgCl2∶Ge=20~40∶1,CaO∶Ge=30~50∶1,用NaOH溶液调整pH值=11~12,进行锗的沉淀,沉淀锗经600~700℃灼烧获得含质量百分比Ge 3.0~4.5%的锗精矿,锗精矿经氯化蒸馏回收锗。本发明的有机锗废液中锗的回收方法,即采用氯化镁-氧化钙沉淀回收锗,减少了氯化镁的用量,降低了回收锗的生产成本,锗的回收率>90%,有效的回收了锗。此方法每年可处理有机锗废液100m3,回收锗金属1吨余,创利税150万。取得了较好的经济效益;为从有机锗废液中回收锗建立了有效的工艺流程。

    湿法从锗废料中回收锗

    公开(公告)号:CN101186974A

    公开(公告)日:2008-05-28

    申请号:CN200610048818.6

    申请日:2006-11-15

    CPC分类号: Y02P10/234

    摘要: 湿法从锗废料中回收锗。本发明针对锗单晶或红外光学镜片在加工过程中,由于使用了清洁剂、抛光剂、润滑剂、冷却剂等物质,因而掺有大量的有机物质的废锗粉料,提供了一种回收锗的方法,包括先用氢氧化钠皂化有机物,在碱性条件下再用过氧化氢氧化从有机物包裹中裸露出来的锗,使其变成锗酸根离子进入溶液,蒸发浓缩掉溶液中多余的水分后,然后再用盐酸中和过量的氢氧化钠,使锗变成Ge4+,再用盐酸蒸馏溶液中的Ge4+,使锗以GeCl4的形式逸出,经冷凝接收后,按常规的工艺对GeCl4进行精馏水解而得到高纯二氧化锗,再经氢气还原和区域熔炼,制得高纯金属锗。用本方法回收锗,直收率能稳定在95%-98.5%,最高可达99%以上,回收率可达99.5%以上。