公开(公告)号：CN111788523B

公开(公告)日：2024-03-15

申请号：CN201980016078.3

申请日：2019-11-07

Applicant: 互应化学工业株式会社 ,  株式会社清和光学制作所

Inventor： 樋口伦也 ,  藤原勇佐 ,  桥本壮一 ,  荒井贵 ,  冈崎伊佐央 ,  柳贤悟

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/028 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  H05K3/28

Abstract: 本发明提供将感光性树脂组合物的涂膜曝光后进行显影而制造被膜时，被膜的形状可具有高分辨率的被膜的制造方法。被膜的制造方法包括由感光性树脂组合物形成涂膜，向涂膜照射光源发出的光而进行曝光，将曝光后的涂膜用碱性溶液进行显影。感光性树脂组合物含有含羧基树脂(A)、不饱和化合物(B)、光聚合引发剂(C)和环氧树脂(D)。对涂膜照射的光包含规定的波长的光。

公开(公告)号：CN111788523A

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN201980016078.3

申请日：2019-11-07

Applicant: 互应化学工业株式会社 ,  株式会社清和光学制作所

Inventor： 樋口伦也 ,  藤原勇佐 ,  桥本壮一 ,  荒井贵 ,  冈崎伊佐央 ,  柳贤悟

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/028 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  H05K3/28

Abstract: 本发明提供将感光性树脂组合物的涂膜曝光后进行显影而制造被膜时，被膜的形状可具有高分辨率的被膜的制造方法。被膜的制造方法包括由感光性树脂组合物形成涂膜，向涂膜照射光源发出的光而进行曝光，将曝光后的涂膜用碱性溶液进行显影。感光性树脂组合物含有含羧基树脂(A)、不饱和化合物(B)、光聚合引发剂(C)和环氧树脂(D)。对涂膜照射的光包含规定的波长的光。