光刻胶的参数检测方法及装置

    公开(公告)号:CN106053355B

    公开(公告)日:2019-08-02

    申请号:CN201610311869.7

    申请日:2016-05-11

    IPC分类号: G01N21/27 G01B11/06

    摘要: 本发明公开了一种光刻胶的参数检测方法及装置,属于显示技术领域。所述装置包括:控制模块和与所述控制模块连接的检测模块,所述检测模块用于在所述控制模块的作用下采用光源照射阵列基板上的待测光刻胶;所述检测模块还用于在所述控制模块的控制下,采集所述光源照射所述待测光刻胶后产生的光谱信号,并将所述光谱信号传输至所述控制模块;所述控制模块用于将所述光谱信号转换为相应的电信号,并根据所述电信号检测所述待测光刻胶的指定参数,所述指定参数包括厚度和指定成分的含量中的至少一种。本发明解决了检测的参数较单一的问题,实现了丰富检测参数的效果,用于光刻胶的参数检测。

    一种光电检测装置、方法和光刻胶涂覆设备

    公开(公告)号:CN106198397A

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201610675863.8

    申请日:2016-08-16

    IPC分类号: G01N21/17 G03F7/16

    摘要: 本发明提供一种光电检测装置、方法和光刻胶涂覆设备,涉及显示器制造技术领域,用于解决对shell mura进行检测时费时费力且容易出现判断不准确的问题。该光电检测装置包括:光源,用于产生检测光束并将检测光束投射至透明基板;与光源相对固定且位于光源后方的接收处理器,用于接收由透明基板的上表面反射检测光束产生的第一反射光和由透明基板的下表面反射检测光束产生的第二反射光并获取测量光程差;其中,测量光程差为第一反射光的光程和第二反射光的光程的差值;接收处理器还用于判断测量光程差是否满足预设条件以及在测量光程差不符合预设条件时确认透明基板上具有水波纹。本发明用于shell mura的检测。

    一种光电检测装置、方法和光刻胶涂覆设备

    公开(公告)号:CN106198397B

    公开(公告)日:2020-01-03

    申请号:CN201610675863.8

    申请日:2016-08-16

    IPC分类号: G01N21/17 G03F7/16

    摘要: 本发明提供一种光电检测装置、方法和光刻胶涂覆设备,涉及显示器制造技术领域,用于解决对shell mura进行检测时费时费力且容易出现判断不准确的问题。该光电检测装置包括:光源,用于产生检测光束并将检测光束投射至透明基板;与光源相对固定且位于光源后方的接收处理器,用于接收由透明基板的上表面反射检测光束产生的第一反射光和由透明基板的下表面反射检测光束产生的第二反射光并获取测量光程差;其中,测量光程差为第一反射光的光程和第二反射光的光程的差值;接收处理器还用于判断测量光程差是否满足预设条件以及在测量光程差不符合预设条件时确认透明基板上具有水波纹。本发明用于shell mura的检测。

    光刻胶的参数检测方法及装置

    公开(公告)号:CN106053355A

    公开(公告)日:2016-10-26

    申请号:CN201610311869.7

    申请日:2016-05-11

    IPC分类号: G01N21/27 G01B11/06

    CPC分类号: G01N21/27 G01B11/0625

    摘要: 本发明公开了一种光刻胶的参数检测方法及装置,属于显示技术领域。所述装置包括:控制模块和与所述控制模块连接的检测模块,所述检测模块用于在所述控制模块的作用下采用光源照射阵列基板上的待测光刻胶;所述检测模块还用于在所述控制模块的控制下,采集所述光源照射所述待测光刻胶后产生的光谱信号,并将所述光谱信号传输至所述控制模块;所述控制模块用于将所述光谱信号转换为相应的电信号,并根据所述电信号检测所述待测光刻胶的指定参数,所述指定参数包括厚度和指定成分的含量中的至少一种。本发明解决了检测的参数较单一的问题,实现了丰富检测参数的效果,用于光刻胶的参数检测。