公开(公告)号：CN110323196A

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201910383172.4

申请日：2019-05-09

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  成都京东方光电科技有限公司

发明人： 周刚 ,  常新园 ,  唐菲 ,  赵晓东 ,  赵梓汝 ,  何亚玲 ,  禹昇熺

IPC分类号： H01L23/485 ,  H01L21/60

摘要： 本发明公开了一种显示基板及其制备方法、显示装置。显示基板，包括扇形区域，所述扇形区域内设置有多条信号走线，在所述扇形区域，所述显示基板包括基底，所述信号走线设置在所述基底上，所述信号走线在沿所述扇形区域的宽度方向上呈凹凸不平状。本发明实施例的显示基板，将信号走线设置为在沿扇形区域的宽度方向上呈凹凸不平状，从而，可以在不改变信号走线长度以及信号走线之间间距的情况下，使得扇形区域的宽度减小，有利于实现显示基板的窄边框设计。

公开(公告)号：CN110323196B

公开(公告)日：2021-11-16

申请号：CN201910383172.4

申请日：2019-05-09

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  成都京东方光电科技有限公司

发明人： 周刚 ,  常新园 ,  唐菲 ,  赵晓东 ,  赵梓汝 ,  何亚玲 ,  禹昇熺

IPC分类号： H01L23/485 ,  H01L21/60

摘要： 本发明公开了一种显示基板及其制备方法、显示装置。显示基板，包括扇形区域，所述扇形区域内设置有多条信号走线，在所述扇形区域，所述显示基板包括基底，所述信号走线设置在所述基底上，所述信号走线在沿所述扇形区域的宽度方向上呈凹凸不平状。本发明实施例的显示基板，将信号走线设置为在沿扇形区域的宽度方向上呈凹凸不平状，从而，可以在不改变信号走线长度以及信号走线之间间距的情况下，使得扇形区域的宽度减小，有利于实现显示基板的窄边框设计。

公开(公告)号：CN111308850A

公开(公告)日：2020-06-19

申请号：CN202010108392.9

申请日：2020-02-21

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  成都京东方光电科技有限公司

发明人： 常新园 ,  何亚玲 ,  代科 ,  莫再隆

IPC分类号： G03F1/00 ,  G02F1/1362 ,  H01L21/28 ,  H01L21/336 ,  H01L29/417 ,  H01L29/786

摘要： 本申请公开了一种掩膜板、TFT的制备方法、TFT及阵列基板，方法包括依次形成有源层、第一栅绝缘层、第一栅极层、第二栅绝缘层、第二栅极层及平坦化的层间绝缘层；在层间绝缘层上形成光刻胶，对第一区域位置的光刻胶半曝光，对第二区域位置的光刻胶全曝光，并去除被曝光的光刻胶；在第一区域位置刻蚀层间绝缘层预定深度形成线槽，在第二区域位置刻蚀延伸至有源层的过孔；在所述层间绝缘层上形成第一金属薄膜，研磨所述第一金属薄膜至暴露所述层间绝缘层。本方案中在形成过第一金属薄膜后，通过研磨的方式形成源漏极图案，克服了干法刻蚀的缺陷，提高了产品良率，此外，源漏极图案精度高，可以降低串扰。