一种薄膜晶体管及其制作方法、显示面板

    公开(公告)号:CN109712931A

    公开(公告)日:2019-05-03

    申请号:CN201910004119.9

    申请日:2019-01-03

    摘要: 本发明实施例提供一种薄膜晶体管及其制作方法、显示面板,涉及薄膜晶体管制造技术领域,能够解决现有技术中在制作源漏层时由于使用干法刻蚀工艺而引入大量杂质或瑕疵,从而导致产品良率较低的问题。所述薄膜晶体管包括:在第一绝缘层上形成平坦层;在平坦层上制作无机绝缘薄膜;在无机绝缘薄膜上涂覆光刻胶,进行曝光和显影,并采用干法刻蚀工艺刻蚀无机绝缘薄膜,以形成层间介质层图案;层间介质层图案包含有用于连接有源层图案的过孔和用于形成导电走线的线槽;剥离掉无机绝缘薄膜上的光刻胶;形成覆盖层间介质层图案的导电薄膜;采用研磨工艺研磨导电薄膜,以形成源极、漏极和导电走线。本发明用于显示装置。

    一种OLED显示屏的制造方法及OLED显示屏

    公开(公告)号:CN108400152B

    公开(公告)日:2022-06-10

    申请号:CN201810276647.5

    申请日:2018-03-30

    IPC分类号: H01L27/32 H01L51/56

    摘要: 本发明公开一种OLED显示屏的制造方法及OLED显示屏,涉及显示技术领域,改善OLED显示屏的画面显示质量。该OLED显示屏的制造方法包括:提供衬底基板;形成OLED器件;形成保护层;在待形成贯通孔的区域,形成贯穿保护层和OLED器件中的功能层的空洞;形成薄膜封装层,薄膜封装层覆盖空洞的侧壁。保护层保护OLED器件,防止形成空洞时OLED器件中的功能层受到水氧的入侵;薄膜封装层覆盖空洞的侧壁,防止功能层受到水氧的入侵,且后续形成贯通孔时,贯通孔不会暴露出OLED器件,因此,本发明可以防止因在OLED显示屏中形成贯通孔而造成OLED显示屏的画面显示质量较差。

    一种OLED显示屏的制造方法及OLED显示屏

    公开(公告)号:CN108400152A

    公开(公告)日:2018-08-14

    申请号:CN201810276647.5

    申请日:2018-03-30

    IPC分类号: H01L27/32 H01L51/56

    摘要: 本发明公开一种OLED显示屏的制造方法及OLED显示屏,涉及显示技术领域,改善OLED显示屏的画面显示质量。该OLED显示屏的制造方法包括:提供衬底基板;形成OLED器件;形成保护层;在待形成贯通孔的区域,形成贯穿保护层和OLED器件中的功能层的空洞;形成薄膜封装层,薄膜封装层覆盖空洞的侧壁。保护层保护OLED器件,防止形成空洞时OLED器件中的功能层受到水氧的入侵;薄膜封装层覆盖空洞的侧壁,防止功能层受到水氧的入侵,且后续形成贯通孔时,贯通孔不会暴露出OLED器件,因此,本发明可以防止因在OLED显示屏中形成贯通孔而造成OLED显示屏的画面显示质量较差。